CN216250680U - 硅片异常气孔检测机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及精密硅材加工技术领域，具体涉及硅片异常气孔检测机，包括基座，所述基座的上方设置有可转动的吸盘，所述吸盘的顶面开设有吸附硅材的吸孔并沿径向设置有多个相互嵌套的封闭式凸起，通过所述吸孔间歇性地向所述硅材施加吸力来观测其表面是否有硅块脱落达到检测异常气孔的目的。本实用新型中，相较于传统的检测方式，该检测机设定了统一的吸附检测标准，即便对于孔洞的位置各不相同的硅材，也能通过在吸盘上覆盖薄膜予以适应性调整吸附的位置，适应性较强，满足多种类别硅材的检测需求。

Description

硅片异常气孔检测机

技术领域

本实用新型涉及精密硅材加工技术领域，具体涉及硅片异常气孔检测机。

背景技术

硅材在加工过程时，需要对硅材进行异常气孔检测，这个检测一般共两次，在硅材原料到达后，逐一检测，然后对硅材进行CNC加工，在加工完成后再对其进行一次检测，以确保后续的加工不会出现异常状态，保障产品成型后的质量。

目前尚没有专用测试仪器对硅材上的异常气孔进行检测，人工检测不仅质量参差不齐，而且耗费人力、效率较低，此外，由于硅材在CNC加工后，不同类别的硅材其表面所开设的孔洞位置也各有不同，这就为机器进行统一的异常气孔检测带来了困难。

实用新型内容

为了克服上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供硅片异常气孔检测机，通过设计这一符合检测需求的新式检测机提供统一的检测标准，提高检测速度以及检测质量，降低人力耗费和生产成本。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

硅片异常气孔检测机，包括基座，所述基座的上方设置有可转动的吸盘，所述吸盘的顶面开设有吸附硅材的吸孔并沿径向设置有多个相互嵌套的封闭式凸起，通过所述吸孔间歇性地向所述硅材施加吸力来观测其表面是否有硅块脱落达到检测异常气孔的目的。

进一步在于，所述基座内部设置有输出端朝上的主轴马达，所述主轴马达的输出端与所述吸盘连接，所述基座的顶面对应所述吸盘的位置开设有环形缺口。

进一步在于，所述基座的外部设置有吸盘启动杆和脚踏刹车，二者通过单向转动组件与所述主轴马达的输出端相连并能控制其进行相应的转动。

进一步在于，所述基座的下端外挂有真空马达，所述真空马达的输出端通过软管与所述吸盘的内腔相连，所述吸孔与所述吸盘的内腔连通。

进一步在于，所述封闭式凸起呈环形凸起，其主要作用是在所述硅材与所述吸盘的顶面之间形成封闭的负压腔。

进一步在于，当所述硅材表面开设的孔洞与所述吸孔的位置错位时，通过在所述吸盘的表面覆盖一层薄膜并在对应所述孔洞的位置割开缺口，从而针对性地进行吸附检测。

本实用新型的有益效果：

1、相较于传统的检测方式，该检测机设定了统一的吸附检测标准，即便对于孔洞的位置各不相同的硅材，也能通过在吸盘上覆盖薄膜予以适应性调整吸附的位置，适应性较强，满足多种类别硅材的检测需求。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的侧面结构示意图；

图3是本实用新型中吸盘的结构示意图。

图中：1、基座；2、真空马达；3、主轴马达；31、吸盘启动杆；32、脚踏刹车；4、吸盘；41、吸孔；42、封闭式凸起；5、薄膜。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1和图2所示为本实用新型中一种硅片异常气孔检测机的整体结构示意图，传统使用人工检测时，没有专用的辅助工具，检测效率较低，更重要的是没有统一的标准，容易将存在异常气孔问题的硅材下放至后续工序，影响后续加工，增加生产成本，基于对上述问题的考量，本领域技术人员经过长期的摸索以及试验，创设性地研发出本款专用于检测硅材是否存在异常气孔的检测机，相较于传统的检测方式，该检测机设定了统一的吸附检测标准，即便对于孔洞的位置各不相同的硅材，也能通过在吸盘4上覆盖薄膜5予以适应性调整吸附的位置，适应性较强，满足多种类别硅材的检测需求。

如图1所示，硅片异常气孔检测机，包括基座1，基座1的上方设置有可转动的吸盘4，如图3所示，吸盘4的顶面开设有吸附硅材的吸孔41并沿径向设置有多个相互嵌套的封闭式凸起42，多个封闭式凸起42将硅材顶起并与吸盘4 的顶面形成负压腔，以增加硅材与吸盘4之间的吸附力，使用时，吸孔41间歇性地向硅材施加吸力来观测其表面是否有硅块脱落达到检测异常气孔的目的，而硅材与吸盘4之间存在的间隙也方便观测是否存在硅块脱落，此外，当处于吸附状态时，吸盘4高速转动也能将脱落的硅块快速甩掉，便于工作人员做出判断。

如图1和图2所示，基座1内部设置有输出端朝上的主轴马达3，主轴马达 3的输出端伸出基座1的顶面并与吸盘4的底面固连，基座1的顶面对应吸盘4 的位置还开设有环形缺口，掉落的硅块掉入环形缺口内，便于后续收集清理。

如图2所示，基座1的外部设置有吸盘启动杆31和脚踏刹车32，二者通过单向转动组件与主轴马达3的输出端相连并能控制其进行相应的转动，关闭主轴马达3的电源后，可以通过顺时针或逆时针摇动吸盘启动杆31使吸盘4缓慢转动，观察是否存在硅块掉落现象，而当吸盘4转动较快时，可通过脚踏刹车 32制动，使吸盘4停止转动。

如图2所示，基座1的下端外挂有真空马达2，真空马达2的输出端通过软管与吸盘4的内腔相连，吸孔41与吸盘4的内腔连通，除使用真空马达2外，还可使用真空泵对其进行替换，目的在于使吸盘4产生吸力，使硅材可以牢靠地被吸附于吸盘4顶面。

如图3所示，封闭式凸起42在本实施例中呈环形凸起，其主要作用是在硅材与吸盘4的顶面之间形成封闭的负压腔，除环形凸起外，还可采用方形凸起、多边形凸起等多种样式，特征在于这些凸起均为封闭式，且尺寸不一，相互嵌套，根据吸盘4上吸孔41的位置不同，封闭式凸起42的形状可在满足形成负压腔的基础上，根据需要灵活调整。

如图1和图2所示，当硅材表面开设的孔洞与吸孔41的位置错位时，通过在吸盘4的表面覆盖一层薄膜5并在对应孔洞的位置割开缺口，从而针对性地进行吸附检测，即在薄膜5与吸盘4的顶面形成一整个负压腔，然后根据需要检测的硅材所开设的孔洞位置不同，在薄膜5上开设相应的缺口，使缺口与孔洞位置相对，从而对硅材的其他位置有针对性地进行异常气孔检测。

通过两次异常气孔检测，可提早检验出哪些硅材存在异常气孔现象，降低后续返工或报废的几率，减少加工成本，对整个硅材的加工流程起到承上启下的重要作用。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅仅是对本实用新型所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离实用新型或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.硅片异常气孔检测机，其特征在于，包括基座(1)，所述基座(1)的上方设置有可转动的吸盘(4)，所述吸盘(4)的顶面开设有吸附硅材的吸孔(41)并沿径向设置有多个相互嵌套的封闭式凸起(42)，通过所述吸孔(41)间歇性地向所述硅材施加吸力来观测其表面是否有硅块脱落达到检测异常气孔的目的。

2.根据权利要求1所述的硅片异常气孔检测机,其特征在于，所述基座(1)内部设置有输出端朝上的主轴马达(3)，所述主轴马达(3)的输出端与所述吸盘(4)连接，所述基座(1)的顶面对应所述吸盘(4)的位置开设有环形缺口。

3.根据权利要求2所述的硅片异常气孔检测机,其特征在于，所述基座(1)的外部设置有吸盘启动杆(31)和脚踏刹车(32)，二者通过单向转动组件与所述主轴马达(3)的输出端相连并能控制其进行相应的转动。

4.根据权利要求1所述的硅片异常气孔检测机,其特征在于，所述基座(1)的下端外挂有真空马达(2)，所述真空马达(2)的输出端通过软管与所述吸盘(4)的内腔相连，所述吸孔(41)与所述吸盘(4)的内腔连通。

5.根据权利要求1所述的硅片异常气孔检测机,其特征在于，所述封闭式凸起(42)呈环形凸起，其主要作用是在所述硅材与所述吸盘(4)的顶面之间形成封闭的负压腔。

6.根据权利要求1所述的硅片异常气孔检测机,其特征在于，当所述硅材表面开设的孔洞与所述吸孔(41)的位置错位时，通过在所述吸盘(4)的表面覆盖一层薄膜(5)并在对应所述孔洞的位置割开缺口，从而针对性地进行吸附检测。

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