CN216213363U - 一种取料放置工装 - Google Patents

Abstract

一种取料放置工装，包括放置架，放置架的正上方设有转移机构，转移机构设有夹持机构，放置架用于多个晶圆盘的放置，转移机构用于带动夹持机构沿其运动方向进行运动，以通过夹持机构对晶圆盘进行转移，放置架包括长板条，长板条沿其长度方向呈等间隔阵列地设有固定凹形件，固定凹形件均向上延伸地设有连接板，连接板的上端均设有底衬弧板，底衬弧板的内壁均成形有限位弧槽。本实用新型在进行晶圆盘加工时，能对晶圆盘进行整齐的摆放，在摆放时能尽可能地避免对晶圆盘的外壁造成划伤，同时在转移时能自动地进行晶圆盘的夹持以及自动且高精度地进行晶圆盘的转移摆放操作，具有较强的实用性。

Description

一种取料放置工装

技术领域

本实用新型涉及芯片加工设备相关技术领域，尤其涉及一种取料放置工装。

背景技术

芯片在制备时是通过光刻机在晶圆盘的表面上镭射出多个电子元件，而其中的晶圆盘为芯片制备的基础材料，其在制备时常采用直拉法制得，而后通过晶圆盘的加工以及涂胶等步骤加工成为可雕刻出芯片的基础材料。

而现有的当在进行晶圆盘的加工时，缺少必备的中转部件，从而在对晶圆盘进行打磨、涂料以及化学抛光操作造成一定的影响，且现有的放置装置在晶圆盘放置后常对晶圆盘造成划伤的现象，同时也不方便进行晶圆盘的自动摆放操作。

实用新型内容

本实用新型提供一种取料放置工装，以解决上述现有技术的不足，在进行晶圆盘加工时，能对晶圆盘进行整齐的摆放，在摆放时能尽可能地避免对晶圆盘的外壁造成划伤，同时在转移时能自动地进行晶圆盘的夹持以及自动且高精度地进行晶圆盘的转移摆放操作，具有较强的实用性。

为了实现本实用新型的目的，拟采用以下技术：

一种取料放置工装，包括放置架，放置架的正上方设有转移机构，转移机构设有夹持机构，放置架用于多个晶圆盘的放置，转移机构用于带动夹持机构沿其运动方向进行运动，以通过夹持机构对晶圆盘进行转移；

放置架包括长板条，长板条沿其长度方向呈等间隔阵列地设有固定凹形件，固定凹形件均向上延伸地设有连接板，连接板的上端均设有底衬弧板，底衬弧板的内壁均成形有限位弧槽。

进一步地，长板条的两侧成形有装配凹槽，固定凹形件的内壁均设有内伸板，内伸板均穿于装配凹槽内。

进一步地，转移机构包括四根支撑柱，支撑柱的上端安装有固定座，固定座的内侧端安装有转移底板，转移底板成形有运动孔，转移底板的两端均安装有转移轴承座，转移轴承座之间设有多根转移导杆，其中一个转移轴承座安装有转移电机，转移电机的输出轴连接有转移丝杆，转移丝杆设有转移座，转移座的下端穿于运动孔。

进一步地，夹持机构包括安装于转移座下端的凹形件，凹形件内铰接有一对夹持板，凹形件的一侧安装有驱动轴承座，驱动轴承座安装有驱动电机，驱动电机的输出轴连接有驱动轮，驱动轮套设有驱动带，驱动带的另一端设有从动轮，从动轮内穿有夹持丝杆，夹持丝杆设有一对夹持轴承座，夹持轴承座均安装于凹形件，夹持丝杆两端的螺纹旋向相反，夹持丝杆的两端均设有夹持丝套，夹持丝套均设有连接凸板，连接凸板均铰接于夹持板。

进一步地，夹持板的下端内壁均成形有夹持弧槽，夹持弧槽内设有防滑橡胶垫。

上述技术方案的优点在于：

本实用新型在进行晶圆盘加工时，能对晶圆盘进行整齐的摆放，在摆放时能尽可能地避免对晶圆盘的外壁造成划伤，同时在转移时能自动地进行晶圆盘的夹持以及自动且高精度地进行晶圆盘的转移摆放操作，具有较强的实用性。

附图说明

图1示出了其中一种实施例的立体结构图一。

图2示出了其中一种实施例的立体结构图二。

图3示出了A处放大图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

术语“平行”、“垂直”等并不表示要求部件绝对平行或垂直，而是可以稍微倾斜。如“平行”仅仅是指其方向相对“垂直”而言更加平行，并不是表示该结构一定要完全平行，而是可以稍微倾斜。

此外，“大致”、“基本”等用语旨在说明相关内容并不是要求绝对的精确，而是可以有一定的偏差。例如：“大致等于”并不仅仅表示绝对的等于，由于实际生产、操作过程中，难以做到绝对的“相等”，一般都存在一定的偏差。因此，除了绝对相等之外，“大致等于”还包括上述的存在一定偏差的情况。以此为例，其他情况下，除非有特别说明，“大致”、“基本”等用语均为与上述类似的含义。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-图3所示，一种取料放置工装，包括放置架1，放置架1的正上方设有转移机构2，转移机构2设有夹持机构3，放置架1用于多个晶圆盘的放置，转移机构2用于带动夹持机构3沿其运动方向进行运动，以通过夹持机构3对晶圆盘进行转移。

该工装通过放置架1、转移机构2以及夹持机构3方便进行晶圆盘的转移以及放置操作。其中，放置架1能进行多个晶圆盘的放置，在放置时能对晶圆盘进行定位，避免晶圆盘之间的相互接触而对晶圆盘造成划伤现象，同时在放置时通过对晶圆盘进行定位，提高了晶圆盘放置时的稳定性，转移机构2能够带动夹持机构3进行运动，从而带动被夹持机构3夹持的晶圆盘向放置架1运动，且在转移时能够确保转移时的转移的精度和转移的自动化程度。夹持机构3方便对晶圆盘进行夹持，且夹持稳定，从而为晶圆盘的转移提供了条件。在操作中，先通过夹持机构3对晶圆盘进行夹持，夹持完成后，在转移机构2的带动下将晶圆盘转移至放置架1对应的位置处。

放置架1包括长板条10，长板条10沿其长度方向呈等间隔阵列地设有固定凹形件11，固定凹形件11均向上延伸地设有连接板12，连接板12的上端均设有底衬弧板13，底衬弧板13的内壁均成形有限位弧槽130，长板条10的两侧成形有装配凹槽100，固定凹形件11的内壁均设有内伸板110，内伸板110均穿于装配凹槽100内。其中，底衬弧板13的设置能对晶圆盘的下端进行定位，同时，能对相邻的两个晶圆盘进行隔开，而限位弧槽130的设置能对晶圆盘进行定位，通过定位避免晶圆盘在放置时对晶圆盘掉落或者倾斜，进而避免对晶圆盘的外壁造成划伤，其中底衬弧板13采用塑料制成，而固定凹形件11的设置方便对底衬弧板13的位置进行调节，从而方便根据实际使用情况对底衬弧板13的数量以及之间的间距进行调节，从而扩大了适用范围，同时其中的装配凹槽100和内伸板110对固定凹形件11的固定起着限位支撑的作用。

转移机构2包括四根支撑柱20，支撑柱20的上端安装有固定座21，固定座21的内侧端安装有转移底板22，转移底板22成形有运动孔220，转移底板22的两端均安装有转移轴承座23，转移轴承座23之间设有多根转移导杆24，其中一个转移轴承座23安装有转移电机25，转移电机25的输出轴连接有转移丝杆26，转移丝杆26设有转移座27，转移座27的下端穿于运动孔220。该机构在对晶圆盘进行转移时，在转移电机25的带动下转移丝杆26进行转动，转移丝杆26在转动的过程中将带动转移座27沿着转移导杆24的轴向进行运动，而转移座27在运动时将对夹持机构3的位置进行了调节，这种转移方式稳定性强，且操作精度高，方便操作。

夹持机构3包括安装于转移座27下端的凹形件30，凹形件30内铰接有一对夹持板31，凹形件30的一侧安装有驱动轴承座32，驱动轴承座32安装有驱动电机33，驱动电机33的输出轴连接有驱动轮，驱动轮套设有驱动带35，驱动带35的另一端设有从动轮34，从动轮34内穿有夹持丝杆37，夹持丝杆37设有一对夹持轴承座36，夹持轴承座36均安装于凹形件30，夹持丝杆37两端的螺纹旋向相反，夹持丝杆37的两端均设有夹持丝套38，夹持丝套38均设有连接凸板39，连接凸板39均铰接于夹持板31。夹持板31的下端内壁均成形有夹持弧槽310，夹持弧槽310内设有防滑橡胶垫。该机构在对晶圆盘进行夹持时，通过驱动电机33带动驱动轮进行转动，驱动轮在转动的过程中将通过驱动带35带动从动轮34进行转动，从动轮34的转动将带动夹持丝杆37进行转动，夹持丝杆37在转动的过程中将使得夹持丝套38之间的间距减小，夹持丝套38之间的间距减小时将带动夹持板31绕着铰接处向内转动，并最终通过夹持板31的下端对晶圆盘的外壁完成夹持为止，而其中夹持弧槽310的设置在夹持时对晶圆盘进行定位，从而提高了晶圆盘夹持的稳定性，同时通过增大夹持面，避免在夹持时接触面积较小从而对晶圆盘的外壁造成夹伤，而防滑橡胶垫的设置能进一步地提高夹持的稳定性，同时也能避免在夹持时对晶圆盘的外壁造成夹伤。为了进一步地提高夹持时对晶圆盘的定位效果，可在夹持弧槽310内壁成形夹持凹槽。同时这种夹持方式方便自动控制，同时由于采用丝杆驱动的方式，因此夹持后稳定性较强。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并不用于限制本实用新型，显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (5)

1.一种取料放置工装，其特征在于，包括放置架（1），放置架（1）的正上方设有转移机构（2），转移机构（2）设有夹持机构（3），放置架（1）用于多个晶圆盘的放置，转移机构（2）用于带动夹持机构（3）沿其运动方向进行运动，以通过夹持机构（3）对晶圆盘进行转移；

放置架（1）包括长板条（10），长板条（10）沿其长度方向呈等间隔阵列地设有固定凹形件（11），固定凹形件（11）均向上延伸地设有连接板（12），连接板（12）的上端均设有底衬弧板（13），底衬弧板（13）的内壁均成形有限位弧槽（130）。

2.根据权利要求1所述的取料放置工装，其特征在于，长板条（10）的两侧成形有装配凹槽（100），固定凹形件（11）的内壁均设有内伸板（110），内伸板（110）均穿于装配凹槽（100）内。

3.根据权利要求1所述的取料放置工装，其特征在于，转移机构（2）包括四根支撑柱（20），支撑柱（20）的上端安装有固定座（21），固定座（21）的内侧端安装有转移底板（22），转移底板（22）成形有运动孔（220），转移底板（22）的两端均安装有转移轴承座（23），转移轴承座（23）之间设有多根转移导杆（24），其中一个转移轴承座（23）安装有转移电机（25），转移电机（25）的输出轴连接有转移丝杆（26），转移丝杆（26）设有转移座（27），转移座（27）的下端穿于运动孔（220）。

4.根据权利要求3所述的取料放置工装，其特征在于，夹持机构（3）包括安装于转移座（27）下端的凹形件（30），凹形件（30）内铰接有一对夹持板（31），凹形件（30）的一侧安装有驱动轴承座（32），驱动轴承座（32）安装有驱动电机（33），驱动电机（33）的输出轴连接有驱动轮，驱动轮套设有驱动带（35），驱动带（35）的另一端设有从动轮（34），从动轮（34）内穿有夹持丝杆（37），夹持丝杆（37）设有一对夹持轴承座（36），夹持轴承座（36）均安装于凹形件（30），夹持丝杆（37）两端的螺纹旋向相反，夹持丝杆（37）的两端均设有夹持丝套（38），夹持丝套（38）均设有连接凸板（39），连接凸板（39）均铰接于夹持板（31）。

5.根据权利要求4所述的取料放置工装，其特征在于，夹持板（31）的下端内壁均成形有夹持弧槽（310），夹持弧槽（310）内设有防滑橡胶垫。

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