CN216207434U - 用于具有fp腔的mems滤光片的测试夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，该用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具包括：本体，本体位于单光仪光路内，本体具有通光孔；待测样品放置台，待测样品放置台位于本体的第一侧上，具有FP腔的MEMS滤光片置于待测样品放置台上时与通光孔位于同一光路内；样品挡片组件，样品挡片组件位于本体的第一侧上，通过调整样品挡片组件与待测样品放置台之间的位置关系以调整具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向的倾斜角度；电气连接组件，电气连接组件位于本体的第一侧上，电气连接组件与具有FP腔的MEMS滤光片电连接。应用本实用新型的技术方案，能够解决现有技术中滤光片位姿自由度不足导致无法实现MEMS滤光片在不同角度下通光测试的技术问题。

Description

用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具

技术领域

本实用新型涉及滤光片检测工装技术领域，尤其涉及一种用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具。

背景技术

目前，现有技术中并没有为大孔径MEMS滤光片设计的专用夹具。现有滤光片夹具一般使用常规光机件。当应用于MEMS滤光片测试场景时，主要存在以下不足：1、现有夹具上没有电气连接接口。MEMS滤光片工作时，需要用直流电驱动微机电系统，以改变滤光片上FP腔的厚度，达到改变滤光波长的目的。而进行测试操作时，供电导线通常只能通过焊接的方式连接至MEMS滤光片，而传统滤光片夹具一般没有电气接口，外部直流电源的输出线只能通过鳄鱼夹等部件再连接至MEMS滤光片上焊接的供电导线。这样的接线方式，一是供电线并无固定机构，容易发生触碰、短路的情况，二是供电线很可能会牵动MEMS滤光片发生意外移动，影响测试进行。2、现有夹具无法为滤光片制造足够的位姿自由度。现有夹具往往只能调整垂直于光照方向的高度和水平位置，无法为MEMS滤光片调整俯仰自由度。无法测试MEMS滤光片在不同角度下的通光情况。3、现有夹具不易改变照射通光孔径。现有夹具一般具备固定孔径通光孔，不易改变，而在光路上加装手动可调光阑又会占用有限的测试光路空间，为测试工作引入不必要的复杂度和不确定性。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

本实用新型提供了一种用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，该用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具包括：本体，本体位于单光仪光路内，本体具有通光孔；待测样品放置台，待测样品放置台位于本体的第一侧上，具有FP腔的MEMS滤光片置于待测样品放置台上时与通光孔位于同一光路内；样品挡片组件，样品挡片组件位于本体的第一侧上，通过调整样品挡片组件与待测样品放置台之间的位置关系以调整具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向的倾斜角度；电气连接组件，电气连接组件位于本体的第一侧上，电气连接组件与具有FP腔的MEMS滤光片电连接。

进一步地，样品挡片组件包括：连接件，连接件与本体固定连接；挡片，挡片可移动地设置在连接件上，具有FP腔的MEMS滤光片位于待测样品放置台与挡片之间；紧固件，通过紧固件固定挡片在连接件上的位置。

进一步地，待测样品放置台与挡片之间的距离大于或等于具有FP腔的MEMS滤光片的厚度。

进一步地，连接件的数量为多个，紧固件的数量为多个，连接件的数量与紧固件的数量相同，多个紧固件与多个连接件一一对应设置。

进一步地，挡片为π型挡片，π型挡片具有一个横梁和两个竖梁，两个竖梁相间隔平行设置且分别与横梁连接，横梁与连接件可移动地连接，并通过紧固件固定横梁在连接件上的位置。

进一步地，用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具还包括孔径调制片放置台和孔径调制片，孔径调制片放置台位于本体的一侧上，孔径调制片放置台、孔径调制片与通光孔位于同一光路内。

进一步地，孔径调制片放置台位于本体的第一侧上，孔径调制片放置台位于本体与待测样品放置台之间，孔径调制片位于孔径调制片放置台上，孔径调制片位于孔径调制片放置台与待测样品放置台之间。

进一步地，孔径调制片放置台位于本体的第二侧上，孔径调制片位于孔径调制片放置台与本体之间。

进一步地，电气连接组件包括双路电连接器和两个导线夹，双路电连接器通过两个导线夹与具有FP腔的MEMS滤光片电连接。

进一步地，双路电连接器在本体的内部与两个导线夹电气连接。

应用本实用新型的技术方案，提供了一种用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，该测试夹具通过样品挡片组件和待测样品放置台的设置实现对具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向的倾斜角度的调整，通过电气连接组件实现了对具有FP腔的MEMS滤光片的供电，本实用新型的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具结构简单，可操作性强，实现了对具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向的倾斜角度的调整，便于对具有FP腔的MEMS滤光片进行光学性能测试。该装置与现有技术相比，其能够解决现有技术中滤光片位姿自由度不足导致无法实现MEMS滤光片在不同角度下通光测试的技术问题。

附图说明

所包括的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本实用新型的实施例，并与文字描述一起来阐释本实用新型的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出了根据本实用新型的具体实施例提供的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具的正视图；

图2示出了沿图1中AA'线的剖面示意图；

图3示出了根据本实用新型的具体实施例提供的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具安装具有FP腔的MEMS滤光片后的正视图；

图4示出了沿图3中AA'线的剖面示意图；

图5示出了根据本实用新型的具体实施例提供的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具安装具有FP腔的MEMS滤光片后的使用示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

10、本体；10a、通光孔；20、待测样品放置台；30、样品挡片组件；31、连接件；32、挡片；33、紧固件；40、电气连接组件；41、双路电连接器；42、导线夹；50、孔径调制片放置台；60、孔径调制片。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

如图1所示，根据本实用新型的具体实施例提供了一种用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，该用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具包括：本体10、待测样品放置台20、样品挡片组件30和电气连接组件40。本体10位于单光仪光路内，本体10具有通光孔10a；待测样品放置台20位于本体10的第一侧上，具有FP腔的MEMS滤光片置于待测样品放置台20上时与通光孔10a位于同一光路内；样品挡片组件30位于本体10的第一侧上，通过调整样品挡片组件30与待测样品放置台20之间的位置关系以调整具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向的倾斜角度；电气连接组件40位于本体10的第一侧上，电气连接组件40与具有FP腔的MEMS滤光片电连接。

应用此种配置方式，提供了一种用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，该测试夹具通过样品挡片组件30和待测样品放置台20的设置实现对具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向的倾斜角度的调整，通过电气连接组件40实现了对具有FP腔的MEMS滤光片的供电，本实用新型的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具结构简单，可操作性强，实现了对具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向的倾斜角度的调整，便于对具有FP腔的MEMS滤光片进行光学性能测试。该装置与现有技术相比，其能够解决现有技术中滤光片位姿自由度不足导致无法实现MEMS滤光片在不同角度下通光测试的技术问题。

进一步地，在本实用新型中，样品挡片组件30包括挡片32、连接件31和紧固件33，连接件31与本体10固定连接，挡片32可移动地设置在连接件31上，具有FP腔的MEMS滤光片位于待测样品放置台20与挡片32之间，通过紧固件33固定挡片32在连接件31上的位置。

在本实用新型中，样品挡片组件30设置为包括挡片32、连接件31和紧固件33，连接件31与本体10固定连接，挡片32可移动地设置在连接件31上，具有FP腔的MEMS滤光片位于待测样品放置台20与挡片32之间，通过移动挡片32在连接件31上的位置可实现挡片32对具有FP腔的MEMS滤光片不同程度的压制和支撑，使得具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向倾斜不同角度，以实现具有FP腔的MEMS滤光片在不同倾斜角度下的性能测试。

在本实用新型的一个具体实施例中，如图4所示，当挡片32与待测样品放置台20之间的距离仅为具有FP腔的MEMS滤光片的厚度时，具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向的倾角为零；当挡片32沿连接件31朝向远离本体10的方向移动时，挡片32与待测样品放置台20之间的距离逐步大于具有FP腔的MEMS滤光片的厚度，挡片32对具有FP腔的MEMS滤光片的压制作用逐步减轻，具有FP腔的MEMS滤光片靠近连接件31的一端朝向挡片32方向倾斜，此时具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向具有一定的倾斜角度。

此外，在本实用新型中，为了进一步稳固挡片32与连接件31之间的连接，可设置连接件31的数量为多个，紧固件33的数量同样为多个，连接件31的数量与紧固件33的数量相同。挡片32通过多个紧固件33一一对应地固定在多个连接件31上，可提高挡片32与连接件31之间的连接稳定性。

作为本实用新型的一个具体实施例，如图1所示，考虑到提高挡片32与连接件31之间的连接稳定性的同时减少生产成本和制备工艺，可设置连接件31的数量和紧固件33的数量均为两个。进一步地，为了便于紧固件33与连接件31之间的固定，可选择连接件31为螺柱，紧固件33为螺母。

进一步地，在本实用新型中，如图1所示，为了实现挡片32对具有FP腔的MEMS滤光片的有效压制和支撑，可设置挡片32为π型挡片，π型挡片具有一个横梁和两个竖梁，两个竖梁相间隔平行设置且分别与横梁连接，横梁与连接件31可移动地连接，并通过紧固件33固定横梁在连接件31上的位置。

在本实用新型中，设置π型挡片可提高挡片32与具有FP腔的MEMS滤光片的接触面积，为具有FP腔的MEMS滤光片提供稳定的支撑，避免具有FP腔的MEMS滤光片在测试过程中发生移动，甚至从待测样品放置台20上脱落。同时，π型挡片两个竖梁的设置更便于具有FP腔的MEMS滤光片感应从通光孔10a透过的光。作为本实用新型的一个具体实施例，如图1所示，可设置横梁通过两个紧固件33分别固定在两个连接件31上。

进一步地，在本实用新型中，如图2所示，为了实现对通光孔10a径的调整，可设置用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具还包括孔径调制片放置台50，孔径调制片放置台50用于放置孔径调制片60；孔径调制片放置台50位于本体10的一侧上，孔径调制片放置台50、孔径调制片60与通光孔10a位于同一光路内。

作为本实用新型的一个具体实施例，如图5所示，可设置孔径调制片放置台50位于本体10的第一侧上，孔径调制片放置台50位于本体10与待测样品放置台20之间，孔径调制片60位于孔径调制片放置台50上，孔径调制片60位于孔径调制片放置台50与待测样品放置台20之间，通过更换孔径调制片60的规格可实现不同孔径的通光，进而适用于不同通光需求的具有FP腔的MEMS滤光片的测试。该设置能够在有限空间的条件下满足对通光孔径的快速调整需求。

在该具体实施例中，孔径调制片放置台50、孔径调制片60与通光孔10a位于同一光路内，可通过测量光的发射模块和接收模块分别实现测量光源的发射和经具有FP腔的MEMS滤光片后的测量光的接收，测量光的接收模块可直接设置在光谱仪上。

作为本实用新型的另一个具体实施例，可设置孔径调制片放置台50位于本体10的第二侧上，第二侧为本体10背向待测样品放置台20的一侧，孔径调制片60位于孔径调制片放置台50与本体10之间，孔径调制片放置台50、孔径调制片60与通光孔10a同样位于同一光路内，上述位置设置同样可以实现不同孔径的通光。

此外，在本实用新型中，如图3和图4所示，为了实现对具有FP腔的MEMS滤光片的供电，电气连接组件40可配置为包括双路电连接器41和两个导线夹42，双路电连接器41通过两个导线夹42实现与具有FP腔的MEMS滤光片的电连接以对具有FP腔的MEMS滤光片供电。通过导线夹42固定连接的方式能够减少供电线在安装使用过程中发生碰触和短路的情况，同时避免了因供电线的移动而牵动MEMS滤光片发生意外移动的现象。

作为本实用新型的一个具体实施例，双路电连接器41可在本体10的内部与两个导线夹42实现电气连接，从而减少在测试夹具外表面的裸露电路，进而减少对电路的磨损，避免发生漏电。

为了对本实用新型有进一步地了解，下面结合图1至图5对本实用新型的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具进行详细说明。

如图1至图5所示，根据本实用新型的具体实施例提供了一种用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，该用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具包括本体10、待测样品放置台20、样品挡片组件30、电气连接组件40、孔径调制片放置台50和孔径调制片60，其中，

本体10位于单光仪光路内，本体10具有通光孔10a。

待测样品放置台20位于本体10的第一侧上，具有FP腔的MEMS滤光片置于待测样品放置台20上时与通光孔10a位于同一光路内。

样品挡片组件30位于本体10的第一侧上，通过调整样品挡片组件30与待测样品放置台20之间的位置关系以调整具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向的倾斜角度。

具体地，样品挡片组件30包括挡片32、连接件31和紧固件33，连接件31与本体10固定连接，挡片32可移动地设置在连接件31上，具有FP腔的MEMS滤光片位于待测样品放置台20与挡片32之间，通过紧固件33固定挡片32在连接件31上的位置。当挡片32与待测样品放置台20之间的距离仅为具有FP腔的MEMS滤光片的厚度时，具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向的倾角为零；当挡片32沿连接件31朝向远离本体10的方向移动时，挡片32与待测样品放置台20之间的距离逐步大于具有FP腔的MEMS滤光片的厚度，挡片32对具有FP腔的MEMS滤光片的压制作用逐步减轻，具有FP腔的MEMS滤光片靠近连接件31的一端朝向挡片32方向倾斜。连接件31的数量为多个，紧固件33的数量同样为多个，连接件31的数量与紧固件33的数量相同。挡片32通过多个紧固件33一一对应地固定在多个连接件31上。挡片32为π型挡片，π型挡片具有一个横梁和两个竖梁，两个竖梁相间隔平行设置且分别与横梁连接，横梁与连接件31可移动地连接，并通过紧固件33固定横梁在连接件31上的位置。

孔径调制片放置台50位于本体10的一侧上，孔径调制片放置台50、孔径调制片60与通光孔10a位于同一光路内。

具体地，孔径调制片放置台50位于本体10的第一侧上，孔径调制片放置台50位于本体10与待测样品放置台20之间，孔径调制片60位于孔径调制片放置台50上，孔径调制片60位于孔径调制片放置台50与待测样品放置台20之间；或者，孔径调制片放置台50位于本体10的第二侧上，第二侧为本体10背向待测样品放置台20的一侧，孔径调制片60位于孔径调制片放置台50与本体10之间。

电气连接组件40位于本体10的第一侧上，电气连接组件40与具有FP腔的MEMS滤光片电连接。

具体地，电气连接组件40可配置为包括双路电连接器41和两个导线夹42，双路电连接器41通过两个导线夹42实现与具有FP腔的MEMS滤光片的电连接以对具有FP腔的MEMS滤光片供电。双路电连接器41可在本体10的内部与两个导线夹42实现电气连接。

综上所述，本实用新型提供了一种用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，该测试夹具通过样品挡片组件和待测样品放置台的设置实现对具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向的倾斜角度的调整，通过电气连接组件实现了对具有FP腔的MEMS滤光片的供电，本实用新型的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具结构简单，可操作性强，实现了对具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向的倾斜角度的调整，便于对具有FP腔的MEMS滤光片进行光学性能测试。该装置与现有技术相比，其能够解决现有技术中滤光片位姿自由度不足导致无法实现MEMS滤光片在不同角度下通光测试的技术问题。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具包括：

本体(10)，所述本体(10)位于单光仪光路内，所述本体(10)具有通光孔(10a)；

待测样品放置台(20)，所述待测样品放置台(20)位于所述本体(10)的第一侧上，具有FP腔的MEMS滤光片置于所述待测样品放置台(20)上时与所述通光孔(10a)位于同一光路内；

样品挡片组件(30)，所述样品挡片组件(30)位于所述本体(10)的第一侧上，通过调整所述样品挡片组件(30)与所述待测样品放置台(20)之间的位置关系以调整具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向的倾斜角度；

电气连接组件(40)，所述电气连接组件(40)位于所述本体(10)的第一侧上，所述电气连接组件(40)与具有FP腔的MEMS滤光片电连接。

2.根据权利要求1所述的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述样品挡片组件(30)包括：

连接件(31)，所述连接件(31)与所述本体(10)固定连接；

挡片(32)，所述挡片(32)可移动地设置在所述连接件(31)上，具有FP腔的MEMS滤光片位于所述待测样品放置台(20)与所述挡片(32)之间；

紧固件(33)，通过所述紧固件(33)固定所述挡片(32)在所述连接件(31)上的位置。

3.根据权利要求2所述的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述待测样品放置台(20)与所述挡片(32)之间的距离大于或等于具有FP腔的MEMS滤光片的厚度。

4.根据权利要求2所述的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述连接件(31)的数量为多个，所述紧固件(33)的数量为多个，所述连接件(31)的数量与所述紧固件(33)的数量相同，多个所述紧固件(33)与多个所述连接件(31)一一对应设置。

5.根据权利要求2所述的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述挡片(32)为π型挡片，所述π型挡片具有一个横梁和两个竖梁，两个所述竖梁相间隔平行设置且分别与所述横梁连接，所述横梁与所述连接件(31)可移动地连接，并通过所述紧固件(33)固定所述横梁在所述连接件(31)上的位置。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具还包括孔径调制片放置台(50)，所述孔径调制片放置台(50)用于放置孔径调制片(60)；所述孔径调制片放置台(50)位于所述本体(10)的一侧上，所述孔径调制片放置台(50)、所述孔径调制片(60)与所述通光孔(10a)位于同一光路内。

7.根据权利要求6所述的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述孔径调制片放置台(50)位于所述本体(10)的第一侧上，所述孔径调制片放置台(50)位于所述本体(10)与所述待测样品放置台(20)之间，所述孔径调制片(60)位于所述孔径调制片放置台(50)上，所述孔径调制片(60)位于所述孔径调制片放置台(50)与所述待测样品放置台(20)之间。

8.根据权利要求6所述的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述孔径调制片放置台(50)位于所述本体(10)的第二侧上，所述孔径调制片(60)位于所述孔径调制片放置台(50)与所述本体(10)之间。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述电气连接组件(40)包括双路电连接器(41)和两个导线夹(42)，所述双路电连接器(41)通过两个所述导线夹(42)与具有FP腔的MEMS滤光片电连接。

10.根据权利要求9所述的用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，其特征在于，所述双路电连接器(41)在所述本体(10)的内部与两个所述导线夹(42)电气连接。

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