CN216179485U - 用于抛光机的行星轮的装载装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于抛光机的行星轮的装载装置，抛光机的行星轮具有多个通孔，装载装置包括：底盘；主板，主板与底盘相连且位于底盘的上方；挂杆，挂杆与底盘间隔开，挂杆与主板相连且沿水平方向延伸，挂杆的外周壁设有多个环形凹槽，多个环形凹槽在挂杆的长度方向上间隔开排布，环形凹槽适于与行星轮的通孔的外边沿卡接配合；柔性件，柔性件与底盘可拆卸地相连，柔性件位于相邻的两个行星轮之间以止挡防撞。根据本实用新型的用于抛光机的行星轮的装载装置，通过设置挂杆和柔性件，每个行星轮可利用自身重力垂放，且在上下方向上存在至少两个固定点位，不易变形，同时可避免相邻的两个行星轮之间发生碰撞，有利于降低行星轮损伤的风险。

Description

用于抛光机的行星轮的装载装置

技术领域

本实用新型涉及抛光设备领域，尤其是涉及一种用于抛光机的行星轮的装载装置。

背景技术

抛光机的行星轮具有昂贵、易损、易变形的特征，而相关技术中，在停机不使用时，行星轮固定挂载到抛光机旁，人员走动，工具移动，均容易造成碰撞，安全隐患大，因此，在抛光机停机时，如何实现对行星轮的存放是本领域技术人员亟需解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型在于提出一种用于抛光机的行星轮的装载装置，通过设置挂杆和柔性件，每个行星轮可利用自身重力垂放，且在上下方向上存在至少两个固定点位，不易变形，同时可避免相邻的两个行星轮之间发生碰撞，有利于降低行星轮损伤的风险。

根据本实用新型实施例的用于抛光机的行星轮的装载装置，所述行星轮具有多个通孔，所述装载装置包括：底盘；主板，所述主板与所述底盘相连且位于所述底盘的上方；挂杆，所述挂杆与所述底盘在上下方向上间隔开，所述挂杆与所述主板相连且沿水平方向延伸，所述挂杆的外周壁设有多个环形凹槽，多个所述环形凹槽在所述挂杆的长度方向上间隔开排布，所述环形凹槽适于与所述行星轮的所述通孔的外边沿卡接配合；柔性件，所述柔性件与所述底盘可拆卸地相连，所述柔性件位于相邻的两个所述行星轮之间以止挡防撞。

根据本实用新型实施例的用于抛光机的行星轮的装载装置，可先将行星轮的通孔的外边沿卡入位于内侧的环形凹槽，然后在底盘上安装柔性件以对该行星轮进行限位，接着将另一个行星轮卡入相邻的环形凹槽，柔性件位于相邻的两个行星轮之间以止挡防撞，由此，每个行星轮可利用自身重力垂放，且在上下方向上存在至少两个固定点位，不易变形，同时多个行星轮可以逐片叠放，可避免相邻的两个行星轮之间发生碰撞，有利于降低行星轮损伤的风险，节约生产成本。

在本实用新型的一些实施例中，所述环形凹槽包括：直槽段，所述直槽段与所述行星轮的所述通孔的外边沿卡接配合；倒角段，所述倒角段与所述直槽段相连且位于所述直槽段的径向外侧，所述倒角段具有两个相对设置的导向面，在朝向彼此的方向上，两个导向面朝向靠近所述挂杆的中心轴线的方向延伸。

在本实用新型的一些实施例中，所述倒角段的径向深度为H1，所述直槽段的径向深度为H2，H1、H2满足：2≤H1/H2≤9。

在本实用新型的一些实施例中，所述挂杆为两个，两个所述挂杆在所述主板的宽度方向上间隔开排布，两个所述挂杆与所述行星轮的两个所述通孔一一对应配合。

在本实用新型的一些实施例中，所述装载装置还包括：安装座，所述安装座与所述主板相连，在上下方向上，所述安装座位于所述底盘和所述挂杆之间，所述安装座设有安装槽，所述柔性件与所述安装槽卡接配合。

在本实用新型的一些实施例中，所述安装槽为多组且在所述挂杆的长度方向上间隔开排布，每组所述安装槽包括间隔开设置的两个安装槽，两个所述安装槽与相应的所述柔性件的长度方向上的两端分别一一对应卡接。

在本实用新型的一些实施例中，所述装载装置还包括：侧板，所述侧板设于所述主板的长度方向上的一侧且与所述底盘相连，所述侧板设有存放架，所述存放架用于存放所述柔性件。

在本实用新型的一些实施例中，所述存放架包括多个挂钩组，多个挂钩组在上下方向上间隔开排布，多个挂钩组与多个所述柔性件一一对应配合，每个所述挂钩组包括多个挂钩，多个所述挂钩在所述挂杆的长度方向上间隔开排布。

在本实用新型的一些实施例中，所述装载装置还包括：集液盒，所述底盘具有导流孔，所述导流孔在所述底盘的厚度方向上贯穿所述底盘，所述集液盒可拆卸地设于所述底盘的底部，所述集液盒与所述导流孔在上下方向上对应设置。

在本实用新型的一些实施例中，所述底盘具有斜面部和平面部，所述平面部位于所述斜面部的背离所述主板的一侧，在远离所述主板的方向上，所述斜面部向下倾斜延伸，所述导流孔形成在所述平面部上。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是根据本实用新型一个实施例的用于抛光机的行星轮的装载装置的立体示意图；

图2是图1的主视图；

图3是图2的俯视示意图；

图4是图3中A处的放大示意图；

图5是图2的侧视图；

图6是根据本实用新型另一个实施例的挂杆的结构示意图；

图7是根据本实用新型一个实施例的装载装置与行星轮的装配示意图。

附图标记：

装载装置100；

底盘10；斜面部11；平面部12；导流孔13；

主板20；

挂杆30；环形凹槽31；直槽段32；倒角段33；导向面311；

柔性件40；

安装座50；安装槽51；

侧板60；

存放架70；挂钩71；存放板72；

集液盒80；

手推部90；

行星轮200；通孔201。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的可应用于性和/或其他材料的使用。

下面参考附图1-7描述根据本实用新型实施例的用于抛光机的行星轮200的装载装置100。

参照图1和图7所示，根据本实用新型实施例的用于抛光机的行星轮200的装载装置100，行星轮200具有多个通孔201，装载装置100可以包括：底盘10、主板20、挂杆30和柔性件40。例如，抛光机可以为双面抛光机。

参照图1所示，主板20可以形成为平板状，主板20与底盘10相连且位于底盘10的上方，例如，主板20与底盘10之间可以通过焊接、螺纹连接或卡接等方式相连。

参照图1所示，挂杆30与底盘10在上下方向上间隔开，挂杆30与主板20相连且沿水平方向延伸，挂杆30的外周壁设有多个环形凹槽31，多个环形凹槽31在挂杆30的长度方向上间隔开排布，其中，多个指的是两个及两个以上，环形凹槽31适于与行星轮200的通孔201的外边沿卡接配合(参照图7)，柔性件40与底盘10可拆卸地相连，柔性件40位于相邻的两个行星轮200之间以止挡防撞。可选地，在一些示例中，柔性件40可以为橡胶棒或硅胶棒。

需要说明的是，目前单晶硅片是集成电路必要的生产要素，尤其12寸大硅片缺口很大。我国在大硅片的研究还在初步阶段，做好大硅片的生产，高效稳定的设备和使用方便的工具是必不可少的。双面抛光机是对硅片表面平坦化的设备。行星轮是双面抛光机的附属零件，在加工过程中主要负责装载硅片的功能，其与硅片直接接触，具有昂贵，易损，易变形的特征，因此在停机不使用时，怎么安全摆放成为一个值得思考的问题。

相关技术中，在停机不使用时，行星轮固定挂载到抛光机旁，人员走动，工具移动，均容易造成碰撞，安全隐患大，而在本申请中，通过设置用于抛光机的行星轮200的装载装置100，在停机不使用时，可先将行星轮200的通孔201的外边沿卡入挂杆30的位于内侧的环形凹槽31，然后在底盘10上安装柔性件40以对该行星轮200进行限位，接着将另一个行星轮200卡入相邻的环形凹槽31，柔性件40位于相邻的两个行星轮200之间以止挡防撞，由此，每个行星轮200可利用自身重力垂放，且在上下方向上存在至少两个固定点位，不易变形，且多个行星轮200可以逐片叠放，可避免相邻的两个行星轮200之间发生碰撞，有利于降低行星轮200损伤的风险，节约生产成本。

例如，在一些实施例中，参照图1和图3所示，挂杆30的外周壁设有五个环形凹槽31，五个环形凹槽31在挂杆30的长度方向上间隔开排布，每个环形凹槽31适于与相应行星轮200的通孔201的外边沿卡接配合，柔性件40与底盘10可拆卸地相连，柔性件40的设置数量也为五个，五个柔性件40位于相邻的两个行星轮200之间以止挡防撞。由此，一个挂杆30上可以挂五个行星轮200，可承载的行星轮200的数量多，且工人的操作方便。

可选地，在一些示例中，参照图1-图3所示，主板20的前后两侧均设有挂杆30，每个挂杆30的外周壁设有五个环形凹槽31，柔性件40的数量为十个，由此，装载装置100可以装载十个行星轮200，进一步增加了行星轮200的装载数量。需要说明的是，行星轮200的价格昂贵，一套的价格在10万元以上，而车间里一般需要多套，因而通过使用根据本实用新型实施例的装载装置100，可大大节省非生产损耗所产生的成本支出。

在本实用新型的一些实施例中，参照图3和图4所示，环形凹槽31包括：直槽段32和倒角段33，直槽段32与行星轮200的通孔201的外边沿卡接配合，倒角段33与直槽段32相连且位于直槽段32的径向外侧，倒角段33具有两个相对设置的导向面311，在朝向彼此的方向上，两个导向面311朝向靠近挂杆30的中心轴线的方向延伸。

可以理解的是，在安装时，行星轮200的通孔201的外周沿先与对应的挂杆30的倒角段33接触，倒角段33的导向作用可便于行星轮200的放入和取出，直槽段32与行星轮200的薄壁结构配合以实现对行星轮200的可靠固定，由此，既方便行星轮200的放入和取出，又可以实现对行星轮200的可靠定位，便于行星轮200利自身重力垂放，操作方便。

在本实用新型的一些实施例中，参照图3所示，倒角段33的径向深度为H1，直槽段32的径向深度为H2，H1、H2满足：2≤H1/H2≤9。换言之，H1/H2可以取2-9中的任一值。例如，H1/H2可以为2、2.5、3、3.5、4、4.5、5、5.5、6、6.5、7、7.5、8、8.5或9等。由此，一方面可以避免H1/H2过小，有利于保证导角段的导向效果，另一方面可以避免H1/H2过大，有利于保证对行星轮200的可靠定位，避免行星轮200在环形凹槽31内自由移动。

例如，如图3所示，直槽段32形成为环形凹槽31，倒角段33与直槽段32相连，倒角段33具有两个相对设置的导向面311，每个导向面311形成为圆台面，在朝向彼此的方向上，两个导向面311朝向靠近挂杆30的中心轴线的方向倾斜延伸，倒角段33的径向深度为H1，直槽段32的径向深度为H2，H1/H2等于9；

又如，参照图6所示，直槽段32形成为环形凹槽31，倒角段33与直槽段32相连，倒角段33具有两个相对设置的导向面311，每个导向面311的横截面具有两个轴对称设置的导向弧，导向弧形成为半径为R的半圆弧，倒角段33的径向深度为H1，直槽段32的径向深度为H2，倒角段33的径向深度H1与R相等，H1/H2可取1.5-3.5中的任一值。

可选地，在一些示例中，参照图6和图7所示，行星轮200的壁厚为0.6mm-0.8mm，直槽段32的宽度L为0.8mm-1.2mm，例如，行星轮200的壁厚为0.7mm，直槽段32的宽度L为1mm。由此，可保证行星轮200与直槽段32配合的可靠性，且便于行星轮200的安装和取出。

在本实用新型的一些实施例中，参照图7所示，挂杆30为两个，两个挂杆30在主板20的宽度方向(参照图2中的左右方向)上间隔开排布，两个挂杆30与行星轮200的两个通孔201一一对应配合。例如，主板20的一侧设有两个挂杆30，两个挂杆30在左右方向上排布且分别沿前后方向延伸，行星轮200上具有两个适于与该两个挂杆30一一对应配合的通孔201。由此，通过两个通孔201与两个挂杆30一一对应配合，有利于增大装载装置100与两个挂杆30之间配合的可靠性，进一步便于行星轮200利自身重力垂放，有利于减少行星轮200之间因碰撞而损坏。

在本实用新型的一些实施例中，参照图1所示，装载装置100还包括：安装座50，安装座50与主板20相连，在上下方向上，安装座50位于底盘10和挂杆30之间，安装座50设有安装槽51，柔性件40与安装槽51卡接配合。例如，参照图1所示，安装座50位于底盘10的上方且与底盘10间隔开，每个安装槽51形成为弧形凹槽，柔性件40为橡胶棒，当柔性件40安装至安装槽51时，柔性件40的两端与相应的安装槽51卡接配合。由此，结构简单，便于柔性件40的安装和拆卸。

在本实用新型的一些实施例中，参照图1所示，安装槽51为多组且在挂杆30的长度方向上间隔开排布，每组安装槽51包括间隔开设置的两个安装槽51，两个安装槽51与相应的柔性件40的长度方向上的两端分别一一对应卡接。例如，如图1所示，安装槽51为五组且挂左右方向上间隔开排布，每组安装槽51包括间隔开设置的两个安装槽51，在柔性件40安装到位时，两个安装槽51与相应的柔性件40的长度方向上的两端分别一一对应卡接，，柔性件40的中部悬空(参照图7)，相邻的两个柔性件40间隔开，行星轮200的底部位于相邻的两个柔性件40之间。由此，可实现对多个柔性件40的可靠定位，且通过控制相邻的两组安装槽51之间的间距以及柔性件40的尺寸，就可以控制相邻的两个柔性件40之间的间距，有利于实现对行星轮200的可靠定位。

在本实用新型的一些实施例中，装载装置100还包括：侧板60，侧板60设于主板20的长度方向上的一侧且与底盘10相连，侧板60设有存放架70，存放架70用于存放柔性件40。可以理解的是，通过设置存放架70，当柔性件40不用于限位行星轮200时，柔性件40可以放置在存放架70上，从而可以实现对柔性件40的可靠存放，有利于防止柔性件40丢失。

在本实用新型的一些实施例中，存放架70包括多个挂钩组，多个挂钩组在上下方向上间隔开排布，多个挂钩组与多个柔性件40一一对应配合，每个挂钩组包括多个挂钩71，多个挂钩71在挂杆30的长度方向上间隔开排布。可以理解的是，通过使得存放架70包括多个挂钩组，从而可以使得存放架70适于存放多个柔性件40，且每个挂钩组包括多个挂钩71，挂钩组可实现对柔性件40的可靠存放，且柔性件40在相应挂钩组上的取放方便，有利于提高工人的装载效率。

例如，存放架70包括十个挂钩组，十个挂钩组在上下方向上间隔开排布，十个挂钩组与十个柔性件40一一对应配合，每个挂钩组包括两个挂钩71，两个挂钩71在前后方向上间隔开且平行设置。可以理解的是，存放架70上可以存放十个柔性件40，且每个挂钩组包括两个挂钩71，结构简单，既可实现对相应的柔性件40的可靠存放，又可以降低制造成本。

在一个具体示例中，如图1所示，存放架70包括两个在前后方向上间隔开排布的存放板72，每个存放板72上形成有十个在上下方向上间隔开排布的挂钩71，在前后方向上相对应的两个挂钩71形成一个挂钩组。

在本实用新型的一些实施例中，参照图7所示，装载装置100还包括：集液盒80，底盘10具有导流孔13(参照图1所示)，导流孔13在底盘10的厚度方向上贯穿底盘10，集液盒80可拆卸地设于底盘10的底部，集液盒80与导流孔13在上下方向上对应设置。

需要说明的是，相关技术中，在行星轮从抛光机上取下之后，行星轮上带有液体，当行星轮竖向放置时，行星轮上的液体会向下滴落，污染无尘车间的地面，影响无尘车间的清洁度，存在安全隐患。而在本申请中，通过在底盘10上设置导流孔13，集液盒80可拆卸地设在底盘10的底部以与导流孔13连通，从而集液盒80可以收集自行星轮200上滴落的液体，有利于保证无尘车间的洁净度，且有利于减少安全隐患。

例如，参照图7所示，集液盒80与底盘10通过螺纹连接，例如，集液盒80的开口处设有外螺纹，底盘10上设有内螺纹，集液盒80和底盘10之间通过外螺纹和内螺纹相连，由此，可提高集液盒80与底盘10之间连接的可靠性，且拆卸方便。

在本实用新型的一些实施例中，参照图1所示，底盘10具有斜面部11和平面部12，平面部12位于斜面部11的背离主板20的一侧，在远离主板20的方向上，斜面部11向下倾斜延伸，导流孔13形成在平面部12上。可以理解的是，平面部12形成为底盘10上的低洼处，自行星轮200上滴落的液体可顺着斜面部11流向平面部12，接着通过导流孔13流向集液盒80，从而通过斜面部11的导流作用，有利于避免液体在底盘10上集聚，有利于减少安全隐患，且方便工人对底盘10进行清洁。

可选地，在一些示例中，参照图1所示，底盘10的下方还设有滚轮，可选地，滚轮可以为四个，由此，工人在将行星轮200摆放结束后，通过滚轮的转动，可将装载装置100推动到指定位置。在一个示例中，每个滚轮还对应设有刹车片，工人可通过刹车片控制滚轮锁定或者解锁，从而当用户将装载装置100推动到指定位置时，可通过刹车片控制滚轮锁定，有利于防止装载装置100自由移动，从而可减少安全隐患。进一步地，侧板60上还设有手推部90，工人可通过手推部90将装载装置100推动到指定位置。

根据本实用新型实施例的用于抛光机的行星轮200的装载装置100的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种用于抛光机的行星轮的装载装置，所述行星轮具有多个通孔，其特征在于，所述装载装置包括：

底盘；

主板，所述主板与所述底盘相连且位于所述底盘的上方；

挂杆，所述挂杆与所述底盘在上下方向上间隔开，所述挂杆与所述主板相连且沿水平方向延伸，所述挂杆的外周壁设有多个环形凹槽，多个所述环形凹槽在所述挂杆的长度方向上间隔开排布，所述环形凹槽适于与所述行星轮的所述通孔的外边沿卡接配合；

柔性件，所述柔性件与所述底盘可拆卸地相连，所述柔性件位于相邻的两个所述行星轮之间以止挡防撞。

2.根据权利要求1所述的用于抛光机的行星轮的装载装置，其特征在于，所述环形凹槽包括：

直槽段，所述直槽段与所述行星轮的所述通孔的外边沿卡接配合；

倒角段，所述倒角段与所述直槽段相连且位于所述直槽段的径向外侧，所述倒角段具有两个相对设置的导向面，在朝向彼此的方向上，两个导向面朝向靠近所述挂杆的中心轴线的方向延伸。

3.根据权利要求2所述的用于抛光机的行星轮的装载装置，其特征在于，所述倒角段的径向深度为H1，所述直槽段的径向深度为H2，H1、H2满足：2≤H1/H2≤9。

4.根据权利要求1所述的用于抛光机的行星轮的装载装置，其特征在于，所述挂杆为两个，两个所述挂杆在所述主板的宽度方向上间隔开排布，两个所述挂杆与所述行星轮的两个所述通孔一一对应配合。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的用于抛光机的行星轮的装载装置，其特征在于，还包括：

安装座，所述安装座与所述主板相连，在上下方向上，所述安装座位于所述底盘和所述挂杆之间，所述安装座设有安装槽，所述柔性件与所述安装槽卡接配合。

6.根据权利要求5所述的用于抛光机的行星轮的装载装置，其特征在于，所述安装槽为多组且在所述挂杆的长度方向上间隔开排布，每组所述安装槽包括间隔开设置的两个安装槽，两个所述安装槽与相应的所述柔性件的长度方向上的两端分别一一对应卡接。

7.根据权利要求1所述的用于抛光机的行星轮的装载装置，其特征在于，还包括：

侧板，所述侧板设于所述主板的长度方向上的一侧且与所述底盘相连，所述侧板设有存放架，所述存放架用于存放所述柔性件。

8.根据权利要求7所述的用于抛光机的行星轮的装载装置，其特征在于，所述存放架包括多个挂钩组，多个挂钩组在上下方向上间隔开排布，多个挂钩组与多个所述柔性件一一对应配合，每个所述挂钩组包括多个挂钩，多个所述挂钩在所述挂杆的长度方向上间隔开排布。

9.根据权利要求1所述的用于抛光机的行星轮的装载装置，其特征在于，还包括：

集液盒，所述底盘具有导流孔，所述导流孔在所述底盘的厚度方向上贯穿所述底盘，所述集液盒可拆卸地设于所述底盘的底部，所述集液盒与所述导流孔在上下方向上对应设置。

10.根据权利要求9所述的用于抛光机的行星轮的装载装置，其特征在于，所述底盘具有斜面部和平面部，所述平面部位于所述斜面部的背离所述主板的一侧，在远离所述主板的方向上，所述斜面部向下倾斜延伸，所述导流孔形成在所述平面部上。

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