CN216095223U - 一种还原炉钟罩清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种还原炉钟罩清洗装置，涉及还原炉钟罩清洗设备技术领域，主要目的是提供一种既能够节约用水量，还能够减少废水量的一种还原炉钟罩清洗装置。本实用新型的主要技术方案为：一种还原炉钟罩清洗装置，包括：清洗部件，供水管道的两端连接于供水箱和输送管道的一端，碱液管道的两端分别连接于碱液箱和输送管道，输送管道的另一端连接于清洗器；回收部件，回收主管道的两端分别连接于清洗器和废水箱，回收水管道的两端分别连接于回收主管道和回收水箱，弱碱管道的两端分别连接于回收主管道和弱碱水箱，第二碱液管道的两端分别连接于回收主管道和碱液箱，稀释管道的两端分别连接于弱碱水箱和碱液箱。本实用新型主要用于清洗钟罩。

Description

一种还原炉钟罩清洗装置

技术领域

本实用新型涉及还原炉钟罩清洗设备技术领域，尤其涉及一种还原炉钟罩清洗装置。

背景技术

在多晶硅生产中，三氯氢硅与氢气在一定温度及压力下，在还原炉内进行沉积反应，生产高纯多晶硅，由于多晶硅棒的热辐射使得钟罩内壁温度较高，每一轮沉积反应后，在还原炉钟罩内壁粘附着物料及硅粉，在下一炉生产时会影响还原炉钟罩的反射效率及产品质量，所以需要对还原炉钟罩内壁进行清洗。

现有技术中，使用高压柱塞泵提供高压水溶液通过喷头对钟罩内壁进行清洗，先用行车将还原炉钟罩吊装至清洗钟罩的清洗平台上，通过视镜管线向钟罩内通入氮气，按下操作柱上的启动按钮，按照设定好的程序进行分步清洗。首先用脱盐水对钟罩进行水洗，冲洗掉钟罩内壁大部份硅粉，含硅粉的废水回到废水箱里；然后用10％浓度的碱溶液对钟罩进行碱洗，碱液与吸附在钟罩内壁上的硅粉进行反应生成硅酸钠，含硅酸钠的碱液回到碱液箱循环使用，到一定周期后进行更换，废碱液送至三废车间进行处理；接着再用脱盐水对钟罩进行一次水洗，冲洗掉残留在钟罩内壁的碱液，冲洗水回到废水箱里；最后进行热风的烘干，除去钟罩内壁的水分。清洗结束后，钟罩吊至工作台上检查钟罩内壁的清洗效果，内壁干净无异物，无水渍，将还原炉钟罩安装进行下一轮的多晶硅生长反应清洗干净后的还原炉钟罩，保证了钟罩内壁热量的反射率，对稳定还原炉的生产及节约电能非常重要。

但是，现有技术中存在以下缺点：

第一，耗水量大，每一个生产周期的还原炉钟罩都要进行清洗，每次清洗的第一和最后一次水洗都要消耗掉脱盐水，以常规清洗为例，两次水洗需要30分钟，大约消耗脱盐水约3.6吨。每周更换掉循环使用的碱液，用脱盐水与30％浓度碱液按2:1配比成10％浓度的清洗碱液，又消耗了脱盐水；

第二，废水处理量大，第一次水洗和最后一次水洗的废水，送三废车间中和处理，最后外送高盐废水至园区废水处理站处理，较多的废水增加了处理费用。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供一种还原炉钟罩清洗装置，主要目的是提供一种既能够节约用水量，还能够减少废水量的一种还原炉钟罩清洗装置。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型实施例提供了一种还原炉钟罩清洗装置，该装置包括：

清洗部件，所述清洗部件包括清洗器、供水箱、供水管道、输送管道、碱液箱、第一碱液管道和第二碱液管道，所述供水管道的两端分别连接于所述供水箱和所述输送管道的一端，所述碱液管道的两端分别连接于所述碱液箱和所述输送管道的一端，所述输送管道的另一端连接于所述清洗器；

回收部件，所述回收部件包括回收主管道、回收水箱、回收水管道、废水箱、弱碱水箱、弱碱管道和稀释管道，所述回收主管道的两端分别连接于所述清洗器和所述废水箱，所述回收水管道的两端分别连接于所述回收主管道和所述回收水箱，所述弱碱管道的两端分别连接于所述回收主管道和所述弱碱水箱，所述第二碱液管道的两端分别连接于所述回收主管道和所述碱液箱，所述稀释管道的两端分别连接于所述弱碱水箱和所述碱液箱。

进一步的，所述清洗部件还包括增压泵和柱塞泵，所述增压泵设置在所述输送管道上，并且位于靠近所述供水管道的一端，所述柱塞泵设置在所述输送管道上，并且位于靠近所述清洗器的一端。

进一步的，排液部件，所述排液部件包括废水处理管道、废水处理车间和回收水处理管道，所述废水处理管道的一端分别连接于所述碱液箱和所述废水箱，另一端连接于所述废水处理车间，所述回收水处理管道的一端连接于回收水箱。

进一步的，第一控制阀，所述第一控制阀设置在所述供水管道、所述输送管道和所述第一碱液管道上。

进一步的，第二控制阀，所述第二控制阀设置在所述第二碱液管道、所述回收主管道、所述回收水管道和所述弱碱管道上。

进一步的，第三控制阀，所述第三控制阀分别设置在所述废水处理管道和所述回收水处理管道上。

进一步的，定时器，所述定时器电连接于每个所述第二控制阀。

进一步的，液位检测部件，所述液位检测部件分别设置在所述碱液箱和所述废水箱上，所述液位检测部件电连接于每个所述第三控制阀。

进一步的，所述液位检测部件包括管体、浮球和接触器，所述管体设置在所述碱液箱和/或所述废水箱的外部，所述管体与所述碱液箱和/或所述废水箱连通，所述浮球设置在所述管体内，所述接触器设置在所述管体的上部。

与现有技术相比，本实用新型具有如下技术效果：

本实用新型实施例提供的技术方案中，清洗部件的作用是对还原炉钟罩进行清洗，清洗部件包括清洗器、供水箱、供水管道、输送管道、碱液箱、第一碱液管道和第二碱液管道，供水管道的两端分别连接于供水箱和输送管道的一端，碱液管道的两端分别连接于碱液箱和输送管道的一端，输送管道的另一端连接于清洗器；回收部件的作用是对水和碱液进行回收，回收部件包括回收主管道、回收水箱、回收水管道、废水箱、弱碱水箱、弱碱管道和稀释管道，回收主管道的两端分别连接于清洗器和废水箱，回收水管道的两端分别连接于回收主管道和回收水箱，弱碱管道的两端分别连接于回收主管道和弱碱水箱，第二碱液管道的两端分别连接于回收主管道和碱液箱，稀释管道的两端分别连接于弱碱水箱和碱液箱，相对于现有技术，使用高压柱塞泵提供高压水溶液通过喷头对钟罩内壁进行清洗，先用行车将还原炉钟罩吊装至清洗钟罩的清洗平台上，通过视镜管线向钟罩内通入氮气，按下操作柱上的启动按钮，按照设定好的程序进行分步清洗。首先用脱盐水对钟罩进行水洗，冲洗掉钟罩内壁大部份硅粉，含硅粉的废水回到废水箱里；然后用10％浓度的碱溶液对钟罩进行碱洗，碱液与吸附在钟罩内壁上的硅粉进行反应生成硅酸钠，含硅酸钠的碱液回到碱液箱循环使用，到一定周期后进行更换，废碱液送至三废车间进行处理，不仅耗水量大并且废水处理量大，本技术方案中，通过增加回收水箱和弱碱水箱，第一次水洗时，供水箱内的脱盐水通过供水管道和输送管道进入清洗器，对还原炉钟罩进行清洗，废水通过回收主管道进入废水箱中，然后进行碱洗，碱液箱内的碱液通过第一碱液管道和输送管道进入清洗器，对还原炉钟罩进行清洗，碱液通过回收主管道和第二碱液管道回到碱液箱循环使用，第二次水洗时，脱盐水通过供水管道和输送管道进入清洗器，对还原炉钟罩进行清洗，前3至5分钟的冲洗水中含有一定的弱碱性，将含有弱碱性的废水通过回收主管道和弱碱管道进入弱碱水箱中，后续的冲洗水通过回收主管道和回收水管道进入回收水箱中，然后通过热风进行烘干，需要更换碱液时，先将碱液箱中的碱液排出，然后在碱液箱中添加原碱，然后使用弱碱水箱中的水对原碱进行稀释，使碱液箱中的碱液达到需求浓度，而回收水箱中的水可以运送至虚幻水池或者其他生产用水点进行回收再次利用，不仅能够节约用水量，还能够减少废水量，从而降低废水处理的成本，从而达到降低企业的生产成本的技术效果。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种还原炉钟罩清洗装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种排液部件的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

如图1和图2所示，本实用新型实施例提供了一种还原炉钟罩清洗装置，该装置包括：

清洗部件，清洗部件包括清洗器11、供水箱12、供水管道13、输送管道14、碱液箱15、第一碱液管道16和第二碱液管道17，供水管道13的两端分别连接于供水箱12和输送管道14的一端，碱液管道的两端分别连接于碱液箱15和输送管道14的一端，输送管道14的另一端连接于清洗器11；

回收部件，回收部件包括回收主管道21、回收水箱22、回收水管道23、废水箱24、弱碱水箱25、弱碱管道26和稀释管道27，回收主管道21的两端分别连接于清洗器11和废水箱24，回收水管道23的两端分别连接于回收主管道21和回收水箱22，弱碱管道26的两端分别连接于回收主管道21和弱碱水箱25，第二碱液管道17的两端分别连接于回收主管道21和碱液箱15，稀释管道27的两端分别连接于弱碱水箱25和碱液箱15。

本实用新型实施例提供的技术方案中，清洗部件的作用是对还原炉钟罩进行清洗，清洗部件包括清洗器11、供水箱12、供水管道13、输送管道14、碱液箱15、第一碱液管道16和第二碱液管道17，供水管道13的两端分别连接于供水箱12和输送管道14的一端，碱液管道的两端分别连接于碱液箱15和输送管道14的一端，输送管道14的另一端连接于清洗器11；回收部件的作用是对水和碱液进行回收，回收部件包括回收主管道21、回收水箱22、回收水管道23、废水箱24、弱碱水箱25、弱碱管道26和稀释管道27，回收主管道21的两端分别连接于清洗器11和废水箱24，回收水管道23的两端分别连接于回收主管道21和回收水箱22，弱碱管道26的两端分别连接于回收主管道21和弱碱水箱25，第二碱液管道17的两端分别连接于回收主管道21和碱液箱15，稀释管道27的两端分别连接于弱碱水箱25和碱液箱15，相对于现有技术，使用高压柱塞泵32提供高压水溶液通过喷头对钟罩内壁进行清洗，先用行车将还原炉钟罩吊装至清洗钟罩的清洗平台上，通过视镜管线向钟罩内通入氮气，按下操作柱上的启动按钮，按照设定好的程序进行分步清洗。首先用脱盐水对钟罩进行水洗，冲洗掉钟罩内壁大部份硅粉，含硅粉的废水回到废水箱24里；然后用10％浓度的碱溶液对钟罩进行碱洗，碱液与吸附在钟罩内壁上的硅粉进行反应生成硅酸钠，含硅酸钠的碱液回到碱液箱15循环使用，到一定周期后进行更换，废碱液送至三废车间进行处理，不仅耗水量大并且废水处理量大，本技术方案中，通过增加回收水箱22和弱碱水箱25，第一次水洗时，供水箱12内的脱盐水通过供水管道13和输送管道14进入清洗器11，对还原炉钟罩进行清洗，废水通过回收主管道21进入废水箱24中，然后进行碱洗，碱液箱15内的碱液通过第一碱液管道16和输送管道14进入清洗器11，对还原炉钟罩进行清洗，碱液通过回收主管道21和第二碱液管道17回到碱液箱15循环使用，第二次水洗时，脱盐水通过供水管道13和输送管道14进入清洗器11，对还原炉钟罩进行清洗，前3至5分钟的冲洗水中含有一定的弱碱性，将含有弱碱性的废水通过回收主管道21和弱碱管道26进入弱碱水箱25中，后续的冲洗水通过回收主管道21和回收水管道23进入回收水箱22中，然后通过热风进行烘干，需要更换碱液时，先将碱液箱15中的碱液排出，然后在碱液箱15中添加原碱，然后使用弱碱水箱25中的水对原碱进行稀释，使碱液箱15中的碱液达到需求浓度，而回收水箱22中的水可以运送至虚幻水池或者其他生产用水点进行回收再次利用，不仅能够节约用水量，还能够减少废水量，从而降低废水处理的成本，从而达到降低企业的生产成本的技术效果。

上述清洗部件的作用是对还原炉钟罩进行清洗，清洗部件包括清洗器11、供水箱12、供水管道13、输送管道14、碱液箱15、第一碱液管道16和第二碱液管道17，供水管道13的两端分别连接于供水箱12和输送管道14的一端，碱液管道的两端分别连接于碱液箱15和输送管道14的一端，输送管道14的另一端连接于清洗器11，清洗器11采用现有的还原炉钟罩清洗设备，只要能够对还原炉钟罩进行清洗即可，供水箱12上安装供水管道13，供水管道13与输送管道14相连接，脱盐水能够从供水管道13和输送管道14进入到清洗器11中，在供水管道13上设置第一控制阀5，能够控制供水管道13的开启或者关闭，第一碱液管道16的一端与碱液箱15进行连接，另一端与输送管道14进行连接，碱液能够从第一碱液管道16和输送管道14进入到清洗器11中，对钟罩进行清洗，然后再通过回收主管道21和第二碱液管道17回到碱液箱15中，在第一碱液管道16上设置第二控制阀6，能够控制第一碱液管道16的开启或者关闭；回收部件的作用是对水和碱液进行回收，回收部件包括回收主管道21、回收水箱22、回收水管道23、废水箱24、弱碱水箱25、弱碱管道26和稀释管道27，回收主管道21的两端分别连接于清洗器11和废水箱24，回收水管道23的两端分别连接于回收主管道21和回收水箱22，弱碱管道26的两端分别连接于回收主管道21和弱碱水箱25，第二碱液管道17的两端分别连接于回收主管道21和碱液箱15，稀释管道27的两端分别连接于弱碱水箱25和碱液箱15，回收水管道23、弱碱管道26和第二碱液管道17都连接于回收主管道21，从清洗器11排出的第一次清洗的废水通过回收主管道21进入废水箱24中，从清洗器11排出的碱液通过回收主管道21和第二碱液管道17进入碱液箱15中，第二次清洗时，前三分钟产生的冲洗水通过回收主管道21和弱碱管道26进入弱碱水箱25，后续的冲洗水通过不同的液体能够通过回收主管道21进入不同的回收主管道21和回收水管道23进入回收水箱22，并且，在回收主管道21、回收水管道23、弱碱管道26和第二碱液管道17上均设置第二控制阀6，能够控制回收主管道21、回收水管道23、弱碱管道26和第二碱液管道17的开启或者关闭，需要说明的是，位于回收主管道21的第二控制阀6设置在靠近废水箱24的位置，使得废水能够进入废水箱24中，可选的，增加了定时器，定时器电连接于每个第二控制阀6，定时器能够预先设定开启或者关闭的时间，前3至5分钟的冲洗水中含有一定的弱碱性，将含有弱碱性的废水通过回收主管道21和弱碱管道26进入弱碱水箱25中，后续的冲洗水通过回收主管道21和回收水管道23进入回收水箱22中，本技术方案中，通过增加回收水箱22和弱碱水箱25，第一次水洗时，供水箱12内的脱盐水通过供水管道13和输送管道14进入清洗器11，对还原炉钟罩进行清洗，废水通过回收主管道21进入废水箱24中，然后进行碱洗，碱液箱15内的碱液通过第一碱液管道16和输送管道14进入清洗器11，对还原炉钟罩进行清洗，碱液通过回收主管道21和第二碱液管道17回到碱液箱15循环使用，第二次水洗时，脱盐水通过供水管道13和输送管道14进入清洗器11，对还原炉钟罩进行清洗，前3至5分钟的冲洗水中含有一定的弱碱性，将含有弱碱性的废水通过回收主管道21和弱碱管道26进入弱碱水箱25中，后续的冲洗水通过回收主管道21和回收水管道23进入回收水箱22中，然后通过热风进行烘干，需要更换碱液时，先将碱液箱15中的碱液排出，然后在碱液箱15中添加原碱，然后使用弱碱水箱25中的水对原碱进行稀释，使碱液箱15中的碱液达到需求浓度，而回收水箱22中的水可以运送至虚幻水池或者其他生产用水点进行回收再次利用，不仅能够节约用水量，还能够减少废水量，从而降低废水处理的成本，从而达到降低企业的生产成本的技术效果。

进一步的，清洗部件还包括增压泵31和柱塞泵32，增压泵31设置在输送管道14上，并且位于靠近供水管道13的一端，柱塞泵32设置在输送管道14上，并且位于靠近清洗器11的一端。本实施例中，进一步限定了清洗部件，增压泵31的作用是提高输送管道14内的液体的流动速度，脱盐水或者碱液通过增压泵31快速输送至柱塞泵32，柱塞泵32通过柱塞的往复运动对脱盐水或者碱液进行加压，然后将脱盐水或者碱液喷入清洗器11，使得脱盐水或者碱液对钟罩进行清洗，从而达到提高脱盐水或者碱液的压力的作用。

进一步的，排液部件，排液部件包括废水处理管道41、废水处理车间42和回收水处理管道43，废水处理管道41的一端分别连接于碱液箱15和废水箱24，另一端连接于废水处理车间42，回收水处理管道43的一端连接于回收水箱22。本实施例中，增加了排液部件，废水处理管道41的一端分别连接于碱液箱15和废水箱24，另一端连接于废水处理车间42，当碱液箱15和废水箱24内的液体装满时，通过废水处理管道41将碱液箱15和废水箱24内的液体输送到废水处理车间42进行中和处理，回收水箱22与回收水处理管道43进行连接，并且，回收水处理管道43的另一端与循环水池或者其他的生产用水点进行连接，能够将回收水箱22内的水进行回收再次利用，从而达到提高水的利用效率的技术效果；可选的，增加了第三控制阀8，第三控制阀8分别设置在废水处理管道41和回收水处理管道43上，使得第三控制阀8能够控制废水处理管道41和回收水处理管道43的开启或者关闭，可选的，增加了液位检测部件，液位检测部件分别设置在碱液箱15和废水箱24上，液位检测部件电连接于每个第三控制阀8，第三控制阀8采用现有的电磁阀，当液位检测部件检测到碱液箱15或者废水箱24的水位到达预设水位时，第三控制阀8开启，将碱液箱15或者废水箱24内的液体排出，从而达到自动排出碱液箱15或废水箱24内的液体的技术效果，可选的，液位检测部件包括管体71、浮球72和接触器73，管体71设置在碱液箱15和/或废水箱24的外部，管体71与碱液箱15和/或废水箱24连通，浮球72设置在管体71内，接触器73设置在管体71的上部，管体71采用耐腐蚀材料制成，或者是在管体71的内壁上涂抹耐腐蚀涂层，浮球72设置在管体71内，当液体进入碱液箱15和/或废水箱24时，浮球72在浮力的作用下上浮，当浮球72与接触器73接触时，接触器73通过电线控制第三控制阀8开启，从而达到自动控制的技术效果。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种还原炉钟罩清洗装置，其特征在于，包括：

清洗部件，所述清洗部件包括清洗器、供水箱、供水管道、输送管道、碱液箱、第一碱液管道和第二碱液管道，所述供水管道的两端分别连接于所述供水箱和所述输送管道的一端，所述碱液管道的两端分别连接于所述碱液箱和所述输送管道的一端，所述输送管道的另一端连接于所述清洗器；

回收部件，所述回收部件包括回收主管道、回收水箱、回收水管道、废水箱、弱碱水箱、弱碱管道和稀释管道，所述回收主管道的两端分别连接于所述清洗器和所述废水箱，所述回收水管道的两端分别连接于所述回收主管道和所述回收水箱，所述弱碱管道的两端分别连接于所述回收主管道和所述弱碱水箱，所述第二碱液管道的两端分别连接于所述回收主管道和所述碱液箱，所述稀释管道的两端分别连接于所述弱碱水箱和所述碱液箱。

2.根据权利要求1所述的一种还原炉钟罩清洗装置，其特征在于，

所述清洗部件还包括增压泵和柱塞泵，所述增压泵设置在所述输送管道上，并且位于靠近所述供水管道的一端，所述柱塞泵设置在所述输送管道上，并且位于靠近所述清洗器的一端。

3.根据权利要求1所述的一种还原炉钟罩清洗装置，其特征在于，还包括：

排液部件，所述排液部件包括废水处理管道、废水处理车间和回收水处理管道，所述废水处理管道的一端分别连接于所述碱液箱和所述废水箱，另一端连接于所述废水处理车间，所述回收水处理管道的一端连接于回收水箱。

4.根据权利要求1所述的一种还原炉钟罩清洗装置，其特征在于，还包括：

第一控制阀，所述第一控制阀设置在所述供水管道、所述输送管道和所述第一碱液管道上。

5.根据权利要求3所述的一种还原炉钟罩清洗装置，其特征在于，还包括：

第二控制阀，所述第二控制阀设置在所述第二碱液管道、所述回收主管道、所述回收水管道和所述弱碱管道上。

6.根据权利要求3所述的一种还原炉钟罩清洗装置，其特征在于，还包括：

第三控制阀，所述第三控制阀分别设置在所述废水处理管道和所述回收水处理管道上。

7.根据权利要求5所述的一种还原炉钟罩清洗装置，其特征在于，还包括：

定时器，所述定时器电连接于每个所述第二控制阀。

8.根据权利要求6所述的一种还原炉钟罩清洗装置，其特征在于，还包括：

液位检测部件，所述液位检测部件分别设置在所述碱液箱和所述废水箱上，所述液位检测部件电连接于每个所述第三控制阀。

9.根据权利要求8所述的一种还原炉钟罩清洗装置，其特征在于，

所述液位检测部件包括管体、浮球和接触器，所述管体设置在所述碱液箱和/或所述废水箱的外部，所述管体与所述碱液箱和/或所述废水箱连通，所述浮球设置在所述管体内，所述接触器设置在所述管体的上部。

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