CN216011676U - 一种精密amoled蒸发源坩埚烤箱设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备，属于坩埚烤箱设备技术领域，其包括烤箱本体，所述烤箱本体的左侧面通过销轴设置有转动壳，所述转动壳设置在烤箱本体的背面，所述转动壳的背面卡接有冷却风扇，所述烤箱本体的正面设置有低温泵，所述烤箱本体的左侧面设置有导管。该精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备，通过设置发热体、加热壳、隔热层、冷却风机和低温泵，当该烤箱抽真空后，使得空气中的水分不易附着在坩埚内部，控制发热体和低温泵工作，坩埚表面杂质蒸发时产生的蒸气在低温泵的作用下从加热壳和内壳内抽出，该烤箱设备可对坩埚表面的水分和杂质进行清理，使得坩埚生产出产品的质量不易因水分和杂质而造成影响。

Description

一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备

技术领域

本实用新型属于坩埚烤箱设备技术领域，具体为一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备。

背景技术

AMOLED蒸镀设备是必要的制程主设备，但蒸镀源更是一个关键点，蒸发源中有机材料或金属材料皆放置于坩埚内，再介由升温加热方式，使其蒸镀材料从坩埚内液化后再气化附着于AMOLED制程玻珤产品，坩埚在使用时外界的水气和杂质可能附着在其内部，使得坩埚的洁净度可能会受到污染，坩埚加工出产品的质量可能受到影响，因此需要一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备来解决上述问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提供了一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备，解决了埚在使用时外界的水气和杂质可能附着在其内部，使得坩埚的洁净度可能会受到污染，坩埚加工出产品的质量可能受到影响的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备，包括烤箱本体，所述烤箱本体的左侧面通过销轴设置有转动壳，所述转动壳设置在烤箱本体的背面，所述转动壳的背面卡接有冷却风扇，所述烤箱本体的正面设置有低温泵，所述烤箱本体的左侧面设置有导管，所述导管左侧的一端与干式真空泵的右侧面固定连接。

所述烤箱本体的内壁设置有两个载板，所述载板的上表面与支撑板的下表面固定连接，两个支撑板的左右两侧面固定连接有同一个隔热层，所述隔热层内设置有加热壳，所述加热壳内壁的左右两侧面均固定连接有若干个发热体。

所述加热壳内壁的下表面设置有台车，所述台车的上表面设置有若干个坩埚，所述加热壳的右侧面通过合页与转动板的右侧面铰接，所述转动板的正面与加热壳的背面卡接，所述加热壳的正面设置有前风门，所述转动板的背面设置有后风门。

作为本实用新型的进一步方案：所述烤箱本体的下表面设置有支撑腿，所述支撑腿的下表面固定连接有防滑垫。

作为本实用新型的进一步方案：所述烤箱本体包括外壳和内壳，所述外壳和内壳之间设置有水冷腔。

作为本实用新型的进一步方案：所述外壳的左侧面与导管的右端固定连接，所述外壳的左侧面通过销轴与转动壳的左侧面铰接，所述外壳的下表面与两个支撑腿的上表面固定连接，所述内壳的内壁与两个载板的下表面固定连接。

作为本实用新型的进一步方案：所述前风门、冷却风扇、后风门和低温泵处于同一轴线，所述低温泵卡接在外壳的正面。

作为本实用新型的进一步方案：所述载板的截面形状设置为L形，所述支撑板的截面形状设置为L形。

作为本实用新型的进一步方案：所述前风门和后风门的截面形状均设置为圆形，所述隔热层和加热壳的截面形状均设置为矩形。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

1、该精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备，通过设置发热体、加热壳、隔热层、冷却风机和低温泵，当坩埚放置在加热壳内，且转动板和转动壳均关闭后，控制干式真空泵工作，干式真空泵可通过导管对该烤箱进行抽真空，使得空气中的水分不易附着在坩埚内部，当该烤箱抽真空后，控制发热体工作，发热体在工作时产生的热量对坩埚进行加热，坩埚表面的杂质在超高真空的环境下被蒸发，控制低温泵工作，杂质蒸发时产生的蒸气在低温泵的作用下从加热壳和内壳内抽出，该烤箱设备可对坩埚表面的水分和杂质进行清理，使得坩埚生产出产品的质量不易因水分和杂质而造成影响。

2、该精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备，通过设置冷却风扇和水冷腔，当工作人员向水冷腔内通入冷却水，然后控制冷却风扇工作，冷却风扇可加快内壳内空气的流速，使得内壳的热量可流动到内壳的内壁进而在冷却水的作用下快速的消除，使得该烤箱的温度可快速的降低，使得工作人员可快速的对加热壳内的坩埚进行拿取使用。

3、该精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备，通过设置隔热层，使得隔热层可对发热体产生的热量进行阻挡，使得发热体工作时产生的热量不易通过加热壳的正面和背面散失，保证了发热体发出热量对坩埚正常的加热效率。

附图说明

图1为本实用新型立体的结构示意图；

图2为本实用新型烤箱立体的剖面结构示意图；

图3为本实用新型加热壳后视立体的结构示意图；

图4为本实用新型加热壳立体的结构示意图；

图中：1烤箱本体、101外壳、102水冷腔、103内壳、2转动壳、3冷却风扇、4低温泵、5加热壳、6合页、7转动板、8后风门、9前风门、10支撑腿、11防滑垫、12导管、13干式真空泵、14载板、15支撑板、16隔热层、17发热体、18台车、19坩埚。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

如图1-4所示，本实用新型提供一种技术方案：一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备，包括烤箱本体1，烤箱本体1的左侧面通过销轴设置有转动壳2，转动壳2设置在烤箱本体1的背面，转动壳2的背面卡接有冷却风扇3，烤箱本体1的正面设置有低温泵4，烤箱本体1的左侧面设置有导管12，通过设置导管12，导管12可将干式真空泵13与外壳101固定在一起，导管12左侧的一端与干式真空泵13的右侧面固定连接，通过设置干式真空泵13，使得干式真空泵13可通过导管12对该烤箱进行抽真空。

烤箱本体1的内壁设置有两个载板14，通过设置载板14，使得载板14可通过支撑板15对加热壳5进行固定，载板14的上表面与支撑板15的下表面固定连接，两个支撑板15的左右两侧面固定连接有同一个隔热层16，隔热层16内设置有加热壳5，加热壳5内壁的左右两侧面均固定连接有若干个发热体17，通过设置发热体17，控制发热体17工作，发热体17在工作时产生的热量对坩埚19进行加热。

加热壳5内壁的下表面设置有台车18，台车18的上表面设置有若干个坩埚19，加热壳5的右侧面通过合页6与转动板7的右侧面铰接，转动板7的正面与加热壳5的背面卡接，加热壳5的正面设置有前风门9，转动板7的背面设置有后风门8。

具体的，如图1所示，烤箱本体1的下表面设置有支撑腿10，支撑腿10的下表面固定连接有防滑垫11，通过设置支撑腿10，使得支撑腿10可对烤箱本体1进行支撑，因支撑腿10的下表面设置有防滑垫11，增大了地面与支撑腿10之间的摩擦，外壳101的左侧面与导管12的右端固定连接，外壳101的左侧面通过销轴与转动壳2的左侧面铰接，外壳101的下表面与两个支撑腿10的上表面固定连接，内壳103的内壁与两个载板14的下表面固定连接。

具体的，如图2所示，烤箱本体1包括外壳101和内壳103，外壳101和内壳103之间设置有水冷腔102，前风门9、冷却风扇3、后风门8和低温泵4处于同一轴线，通过设置低温泵4，低温泵4可对内壳103和加热壳5内的高温气体进行抽取，低温泵4卡接在外壳101的正面，载板14的截面形状设置为L形，支撑板15的截面形状设置为L形。

具体的，如图3和4所示，前风门9和后风门8的截面形状均设置为圆形，隔热层16和加热壳5的截面形状均设置为矩形，通过设置隔热层16，使得隔热层16可对发热体17产生的热量进行阻挡，使得发热体17工作时产生的热量不易通过加热壳5的正面和背面散失，保证了发热体17发出热量对坩埚19的加热效率。

本实用新型的工作原理为：

S1、工作人员拉动转动壳2，转动壳2绕着销轴转，工作人员拉动转动板7，使得转动板7绕着合页6转动，使得转动板7的正面与加热壳5的背面脱离，工作人员将坩埚19移入加热壳5内；

S2、其次，工作人员推动转动板7，转动板7带动合页6转动，使得转动板7的正面与加热壳5的背面卡接，然后转动转动壳2，转动壳2绕着销轴转动，转动壳2的正面与烤箱本体1的背面卡接，工作人员控制干式真空泵13工作，干式真空泵13可通过导管12对该烤箱进行抽真空；

S3、最后，当该烤箱抽真空后，控制发热体17工作，发热体17在工作时产生的热量对坩埚19进行加热，坩埚19表面的杂质在超高真空的环境下被蒸发，控制低温泵4工作，杂质蒸发时产生的蒸气在低温泵4的作用下从加热壳5和内壳103内抽出。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明，但是本专利并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (7)

1.一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备，包括烤箱本体(1)，其特征在于：所述烤箱本体(1)的左侧面通过销轴设置有转动壳(2)，所述转动壳(2)设置在烤箱本体(1)的背面，所述转动壳(2)的背面卡接有冷却风扇(3)，所述烤箱本体(1)的正面设置有低温泵(4)，所述烤箱本体(1)的左侧面设置有导管(12)，所述导管(12)左侧的一端与干式真空泵(13)的右侧面固定连接；

所述烤箱本体(1)的内壁设置有两个载板(14)，所述载板(14)的上表面与支撑板(15)的下表面固定连接，两个支撑板(15)的左右两侧面固定连接有同一个隔热层(16)，所述隔热层(16)内设置有加热壳(5)，所述加热壳(5)内壁的左右两侧面均固定连接有若干个发热体(17)；

所述加热壳(5)内壁的下表面设置有台车(18)，所述台车(18)的上表面设置有若干个坩埚(19)，所述加热壳(5)的右侧面通过合页(6)与转动板(7)的右侧面铰接，所述转动板(7)的正面与加热壳(5)的背面卡接，所述加热壳(5)的正面设置有前风门(9)，所述转动板(7)的背面设置有后风门(8)。

2.根据权利要求1所述的一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备，其特征在于：所述烤箱本体(1)的下表面设置有支撑腿(10)，所述支撑腿(10)的下表面固定连接有防滑垫(11)。

3.根据权利要求1所述的一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备，其特征在于：所述烤箱本体(1)包括外壳(101)和内壳(103)，所述外壳(101)和内壳(103)之间设置有水冷腔(102)。

4.根据权利要求3所述的一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备，其特征在于：所述外壳(101)的左侧面与导管(12)的右端固定连接，所述外壳(101)的左侧面通过销轴与转动壳(2)的左侧面铰接，所述外壳(101)的下表面与两个支撑腿(10)的上表面固定连接，所述内壳(103)的内壁与两个载板(14)的下表面固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备，其特征在于：所述前风门(9)、冷却风扇(3)、后风门(8)和低温泵(4)处于同一轴线，所述低温泵(4)卡接在外壳(101)的正面。

6.根据权利要求1所述的一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备，其特征在于：所述载板(14)的截面形状设置为L形，所述支撑板(15)的截面形状设置为L形。

7.根据权利要求1所述的一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备，其特征在于：所述前风门(9)和后风门(8)的截面形状均设置为圆形，所述隔热层(16)和加热壳(5)的截面形状均设置为矩形。

Images