CN207227535U - 一种低温式真空镀膜机 - Google Patents
一种低温式真空镀膜机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN207227535U CN207227535U CN201721149664.XU CN201721149664U CN207227535U CN 207227535 U CN207227535 U CN 207227535U CN 201721149664 U CN201721149664 U CN 201721149664U CN 207227535 U CN207227535 U CN 207227535U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- drying oven
- vacuum drying
- vacuum
- pipe support
- condensing reflux
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 238000010992 reflux Methods 0.000 claims abstract description 34
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 claims abstract description 34
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 26
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 3
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种低温式真空镀膜机,包括置物平台、水泵、电机支撑底座、集水箱、冷凝回流管架和真空炉，所述支撑底座的顶端安装有电机箱，且电机箱内部底端的中间位置处安装有电机，所述电机箱顶端的中间位置处安装有真空炉，且真空炉内部底端的中间位置处安装有旋转底座，所述旋转底座的顶端安装有集水箱，且集水箱的顶端安装有冷凝回流管架。本实用新型通过安装有集水箱、水泵、冷凝回流管架、冷凝装置，在使用时集水箱内的水通过水泵抽入冷凝回流管架内，对置物平台上的靶材进行冷却降温，并且冷凝装置使得水温度一直温度恒定，使得靶材上的膜快速冷却成型，这样不仅加速了镀膜速率，并且保证了装置内部的温度恒定。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种低温式真空镀膜机。
背景技术
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，传统电热膜都是通过高温喷涂的方式进行生产，由于电热膜的生产环境都较高，因此，电热膜目前只能应用于耐高温的材料，如石英、玻璃、陶瓷等，限制了电热膜技术的应用，而且现有的镀膜设备在镀膜时采用自然冷却的方法，这样造成镀膜时间较长，并且镀膜设备不能够根据需要镀膜的靶材的大小来进行尺寸调节，使用性相对单一，不能够对任何尺寸通用。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种低温式真空镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种低温式真空镀膜机，包括置物平台、水泵、电机支撑底座、集水箱、冷凝回流管架和真空炉，所述支撑底座的顶端安装有电机箱，且电机箱内部底端的中间位置处安装有电机，所述电机箱顶端的中间位置处安装有真空炉，且真空炉内部底端的中间位置处安装有旋转底座，所述旋转底座的顶端安装有集水箱，且集水箱的顶端安装有冷凝回流管架，所述集水箱内部一侧的底端安装有水泵，且水泵通过导管与冷凝回流管架一侧的底端相连通，所述冷凝回流管架内部顶端的中间位置处安装有冷凝装置，且冷凝回流管架顶端的中间位置处安装有温度传感器，所述冷凝回流管架远离水泵一侧的底端与集水箱另一侧的顶端相连通，所述电机的顶端竖向安装有转轴依次穿过旋转底座和集水箱，且转轴的顶端与冷凝回流管架内部的顶端相连接，所述冷凝回流管架内部的转轴的两侧均设置有滑轨，且冷凝回流管架内部的转轴上均匀安装有置物平台，所述置物平台内部的两侧均安装有滑块与滑轨相连接，所述真空炉远离水泵一侧的底端安装有控制箱，且控制箱上方的真空炉的顶端安装有真空管，所述真空管下方的真空炉上安装有第二固定架，且第二固定架的内部竖向安装有真空泵与真空管相连接，所述真空炉远离真空管一侧的顶端安装有加气管，且加气管下方的真空炉上安装有第一固定架，所述第一固定架的内部竖向安装有风机与加气管相连接，所述真空炉的一侧安装有侧门，且侧门的中间位置处设置有可视窗口。
优选的，所述置物平台的底端均安装有支撑架。
优选的，所述电机箱的内壁安装有绝缘橡胶层，且电机箱的表面均匀设置有散热孔。
优选的，所述加气管和真空管的内部均安装有滤网。
优选的，所述侧门与真空炉的交接处安装有密封橡胶环。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该低温式真空镀膜机通过安装有集水箱、水泵、冷凝回流管架、冷凝装置，在使用时集水箱内的水通过水泵抽入冷凝回流管架内，对置物平台上的靶材进行冷却降温，并且冷凝装置使得水温度一直温度恒定，使得靶材上的膜快速冷却成型，这样不仅加速了镀膜速率，并且保证了装置内部的温度恒定，同时装置通过安装有滑块、滑轨、置物平台，使得可以调节置物平台之间的距离，便于任何尺寸大小的物体进行镀膜，方便快捷，同时装置通过安装有侧门、可视窗口，使得便于随时观察装置内部的变化且便于对装置进行检修。
附图说明
图1为本实用新型的结构正视剖面示意图；
图2为本实用新型的结构正视示意图；
图中：1-温度传感器；2-第一固定架；3-滑轨；4-置物平台；5-滑块；6-转轴；7-水泵；8-旋转底座；9-电机；10-支撑底座；11-电机箱；12-控制箱；13-集水箱；14-冷凝回流管架；15-第二固定架；16-冷凝装置；17-加气管；18-风机；19-侧门；20-真空炉；21-可视窗口；22-真空泵；23-真空管。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2，本实用新型提供的一种实施例：一种低温式真空镀膜机，包括置物平台4、水泵7、电机9支撑底座10、集水箱13、冷凝回流管架14和真空炉20，支撑底座10的顶端安装有电机箱11，电机箱11的内壁安装有绝缘橡胶层，且电机箱11的表面均匀设置有散热孔，便于散热且防止漏电，且电机箱11内部底端的中间位置处安装有电机9，电机9的型号为Y355L1-2，电机箱11顶端的中间位置处安装有真空炉20，且真空炉20内部底端的中间位置处安装有旋转底座8，旋转底座8的顶端安装有集水箱13，且集水箱13的顶端安装有冷凝回流管架14，集水箱13内部一侧的底端安装有水泵7，且水泵7通过导管与冷凝回流管架14一侧的底端相连通，冷凝回流管架14内部顶端的中间位置处安装有冷凝装置16，且冷凝回流管架14顶端的中间位置处安装有温度传感器1，温度传感器1的型号为WRM-101，冷凝回流管架14远离水泵7一侧的底端与集水箱13另一侧的顶端相连通，电机9的顶端竖向安装有转轴6依次穿过旋转底座8和集水箱13，且转轴6的顶端与冷凝回流管架14内部的顶端相连接，冷凝回流管架14内部的转轴6的两侧均设置有滑轨3，且冷凝回流管架14内部的转轴6上均匀安装有置物平台4，置物平台4的底端均安装有支撑架，增加了置物平台4的稳定性，置物平台4内部的两侧均安装有滑块5与滑轨3相连接，真空炉20远离水泵7一侧的底端安装有控制箱12，且控制箱12上方的真空炉20的顶端安装有真空管23，真空管23下方的真空炉20上安装有第二固定架15，且第二固定架15的内部竖向安装有真空泵22与真空管23相连接，真空炉20远离真空管23一侧的顶端安装有加气管17，加气管17和真空管23的内部均安装有滤网，防止有杂质进入影响镀膜，且加气管17下方的真空炉20上安装有第一固定架2，第一固定架2的内部竖向安装有风机18与加气管17相连接，真空炉20的一侧安装有侧门19，侧门19与真空炉20的交接处安装有密封橡胶环，保证工作环境的密封性，且侧门19的中间位置处设置有可视窗口21。
工作原理：使用时，接通外接电源，根据靶材的大小滑动置物平台4，然后将靶材固定在置物平台4上，通过真空泵22将真空炉20内的气体抽出，然后将蒸发的膜的气体从加气管17通过抽入真空炉20内，启动电机9带动真空炉20内的旋转底座8、集水箱13、冷凝回流管架14、转轴6和置物平台4一起转动，集水箱13内的水通过水泵7抽入冷凝回流管架14内，对置物平台4上的靶材进行冷却降温，并且冷凝装置16使得水温度一直恒定，使得靶材上的膜快速冷却成型，这样不仅加速了镀膜速率，并且保证了装置内部的温度恒定。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (5)
1.一种低温式真空镀膜机，包括置物平台（4）、水泵（7）、电机（9）支撑底座（10）、集水箱（13）、冷凝回流管架（14）和真空炉（20），其特征在于：所述支撑底座（10）的顶端安装有电机箱（11），且电机箱（11）内部底端的中间位置处安装有电机（9），所述电机箱（11）顶端的中间位置处安装有真空炉（20），且真空炉（20）内部底端的中间位置处安装有旋转底座（8），所述旋转底座（8）的顶端安装有集水箱（13），且集水箱（13）的顶端安装有冷凝回流管架（14），所述集水箱（13）内部一侧的底端安装有水泵（7），且水泵（7）通过导管与冷凝回流管架（14）一侧的底端相连通，所述冷凝回流管架（14）内部顶端的中间位置处安装有冷凝装置（16），且冷凝回流管架（14）顶端的中间位置处安装有温度传感器（1），所述冷凝回流管架（14）远离水泵（7）一侧的底端与集水箱（13）另一侧的顶端相连通，所述电机（9）的顶端竖向安装有转轴（6）依次穿过旋转底座（8）和集水箱（13），且转轴（6）的顶端与冷凝回流管架（14）内部的顶端相连接，所述冷凝回流管架（14）内部的转轴（6）的两侧均设置有滑轨（3），且冷凝回流管架（14）内部的转轴（6）上均匀安装有置物平台（4），所述置物平台（4）内部的两侧均安装有滑块（5）与滑轨（3）相连接，所述真空炉（20）远离水泵（7）一侧的底端安装有控制箱（12），且控制箱（12）上方的真空炉（20）的顶端安装有真空管（23），所述真空管（23）下方的真空炉（20）上安装有第二固定架（15），且第二固定架（15）的内部竖向安装有真空泵（22）与真空管（23）相连接，所述真空炉（20）远离真空管（23）一侧的顶端安装有加气管（17），且加气管（17）下方的真空炉（20）上安装有第一固定架（2），所述第一固定架（2）的内部竖向安装有风机（18）与加气管（17）相连接，所述真空炉（20）的一侧安装有侧门（19），且侧门（19）的中间位置处设置有可视窗口（21）。
2.根据权利要求1所述的一种低温式真空镀膜机，其特征在于：所述置物平台（4）的底端均安装有支撑架。
3.根据权利要求1所述的一种低温式真空镀膜机，其特征在于：所述电机箱（11）的内壁安装有绝缘橡胶层，且电机箱（11）的表面均匀设置有散热孔。
4.根据权利要求1所述的一种低温式真空镀膜机，其特征在于：所述加气管（17）和真空管（23）的内部均安装有滤网。
5.根据权利要求1所述的一种低温式真空镀膜机，其特征在于：所述侧门（19）与真空炉（20）的交接处安装有密封橡胶环。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721149664.XU CN207227535U (zh) | 2017-09-08 | 2017-09-08 | 一种低温式真空镀膜机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721149664.XU CN207227535U (zh) | 2017-09-08 | 2017-09-08 | 一种低温式真空镀膜机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207227535U true CN207227535U (zh) | 2018-04-13 |
Family
ID=61860980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201721149664.XU Expired - Fee Related CN207227535U (zh) | 2017-09-08 | 2017-09-08 | 一种低温式真空镀膜机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207227535U (zh) |
-
2017
- 2017-09-08 CN CN201721149664.XU patent/CN207227535U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN207227535U (zh) | 一种低温式真空镀膜机 | |
| CN205664606U (zh) | 一种真空烤箱的风冷降温系统 | |
| CN107144130A (zh) | 一种阴极用可视化微波烧结设备 | |
| CN201695199U (zh) | 一种红外线小样机 | |
| CN109759582A (zh) | 真空脱脂烧结系统 | |
| CN206479425U (zh) | 两厢式冷热冲击试验箱 | |
| CN113048585A (zh) | 一种无菌厂房空气循环余热回收恒湿机组及其湿度控制方法 | |
| CN106482461A (zh) | 一种低温真空蒸汽干燥箱 | |
| CN207862392U (zh) | 一种热处理设备退火装置 | |
| CN216039813U (zh) | 一种新型的Parylene真空镀膜装置 | |
| CN216745378U (zh) | 一种带有监测功能的反应烧结碳化硅加工用烧结炉 | |
| CN209069520U (zh) | 一种冷凝器热水检漏装置 | |
| CN212955222U (zh) | 轴承钢等温球化退火热处理设备 | |
| CN213239992U (zh) | 一种耐火涂料的热承受能力检测设备 | |
| CN208485943U (zh) | 一种高能脉冲电沉积陶瓷涂层的装置 | |
| CN216011676U (zh) | 一种精密amoled蒸发源坩埚烤箱设备 | |
| CN211840490U (zh) | 一种真空钎焊炉 | |
| CN211921654U (zh) | 一种采用深冷工艺的弹簧钢丝淬火装置 | |
| CN207035712U (zh) | 一种间歇式电热烘箱 | |
| CN211964232U (zh) | 一种小型360°连续旋转高低温试验箱 | |
| CN204154103U (zh) | 一种新型节能环保窑炉 | |
| CN207894858U (zh) | 一种农药残留旋转蒸发式装置食品检测装置 | |
| CN210070384U (zh) | 一种方形真空干燥机 | |
| CN206944646U (zh) | 一种可均匀热交换的真空干燥箱 | |
| CN208550495U (zh) | 一种可控式双温区立柜 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20180413 |