CN215991242U - 一种新型化学气相沉积耐腐蚀均匀加热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型化学气相沉积耐腐蚀均匀加热装置，属于电加热装置技术领域，包括：铝基板；轮廓线路槽，设于所述铝基板的一面；铝护套加热元件，其设有多组，多组所述铝护套加热元件不等距设于所述轮廓线路槽内并与其密贴匹配；铝压条，设于铝护套加热元件与所述轮廓线路槽之间并通过螺纹相扣方式与所述轮廓线路槽之间实现加固，本方案中铝护套加热元件与轮廓线路槽之间密贴配合，可有效增加其密封性能。

Description

一种新型化学气相沉积耐腐蚀均匀加热装置

技术领域

本实用新型涉及电加热装置技术领域，更具体地说，涉及一种新型化学气相沉积耐腐蚀均匀加热装置。

背景技术

化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition 简称CVD) 是在一定的真空度和温度下；将几种含有构成沉积膜层材料的单质或化合物反应的气体，通过化学反应生成固态物质并沉积在基材上的一种成膜方式，目前市场上化学气相沉积（CVD）法制备设备中主要是有以下加热方式：

1、采用成品铝板为均热板在铝板的一面开槽将电热元件埋入槽中并加盖板将槽口盖住，为了达到让不锈钢加热元件完全与铝板以外的介质接触，一般是要将盖板完全焊接密封，但由于不锈钢加热元件埋进铝板的开口槽中在焊接时的彭涨系数不一样导致经常在焊道处有细微裂纹，而又形成不密封。另外焊接温度较高造成铝基板热变形量大，增加的基板平面加工复杂成度。

2、在现有技术中，是将不锈钢加热元件外套一层防腐蚀套管(通常是氟材料)，然后将套有防腐蚀套管的不锈钢加热元件埋入到前期开好槽的铝板中，做防腐蚀处理，这种方式的缺点是：1.防腐蚀材料是套在不锈钢加热元件的外壳上在埋入过程中与铝板槽相切入槽内难免有割开裂现象，2.一般的加热元件都要6米以上，这样如果防腐蚀材料的套管与不锈钢加热元件保持紧密帖合是不可能，必须是防腐蚀材料套管内径大于一定数量级的不锈钢加热元件外径才有可能顺利的套上；这样就存在个温度无法很均匀的传递到铝板，所以铝板温度也不会均匀。

3、因防腐蚀材料本身耐温不高，一般在280度以内不能加热到更高的温度，给定了使用温度范围的限制。

实用新型内容

1．要解决的技术问题

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种新型化学气相沉积耐腐蚀均匀加热装置。

2．技术方案

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案：

一种新型化学气相沉积耐腐蚀均匀加热装置，包括：

铝基板；

轮廓线路槽，设于所述铝基板的一面；

铝护套加热元件，其设有多组，多组所述铝护套加热元件等距设于所述轮廓线路槽内并与其密贴匹配；

铝压条，设于铝护套加热元件与所述轮廓线路槽之间并通过螺纹相扣方式与所述轮廓线路槽之间实现加固。

作为本实用新型的一种优选方案，所述铝基板的一面为平整度高的光滑面，其另一面为待加热装配面，所述轮廓线路槽开设于所述铝基板的待加热装配面。

作为本实用新型的一种优选方案，所述平整度高的光滑面将热量均匀传递至所述待加热装配面上，继而对所述铝护套加热元件加热。

作为本实用新型的一种优选方案，每组所述铝护套加热元件均包括：

铝保护套；

合金加热丝，设于所述铝保护套内；

氧化镁，其设有两组，一组所述氧化镁填充于所述铝保护套与所述合金加热丝之间，另一组所述氧化镁填充于所述合金加热丝内。

作为本实用新型的一种优选方案，所述铝压条设置有至少一面与所述铝保护套相匹配的截面，所述铝压条设于所述铝保护套与轮廓线路槽之间。

作为本实用新型的一种优选方案，所述铝压条与所述轮廓线路槽之间通过防脱落螺丝连接以实现螺纹相扣。

作为本实用新型的一种优选方案，所述铝保护套采用耐高温导热绝缘材料。

3．有益效果

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

（1）本方案中铝护套加热元件与轮廓线路槽之间密贴配合，可有效增加其密封性能。

（2）本方案中铝压条设置有至少一面与铝保护套相匹配的截面，进一步增加其密封性能。

（3）本方案中平整度高的光滑面将热量均匀传递至待加热装配面上，继而对所述铝护套加热元件加热。

（4）本方案中通过铝压条实现覆盖和紧密。

（5）本方案通过防脱落螺丝实现螺纹相扣加固，继而保证铝压条可以螺纹锁死，因此不会与铝基板之间产生位移。

附图说明

图1为本实用新型一种新型化学气相沉积耐腐蚀均匀加热装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种新型化学气相沉积耐腐蚀均匀加热装置涂1中A处的放大图。

图中标号说明：

1、铝基板；2、轮廓线路槽；3、铝护套加热元件；31、铝保护套；32、氧化镁；33、合金加热丝；4、铝压条；5、防脱落螺丝。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例：

请参阅图1-2，一种新型化学气相沉积耐腐蚀均匀加热装置，包括：

铝基板1，铝基板1的一面为平整度高的光滑面，其另一面为待加热装配面，轮廓线路槽2开设于铝基板1的待加热装配面，平整度高的光滑面将热量均匀传递至待加热装配面上，继而对铝护套加热元件3加热；

轮廓线路槽2，其开设于铝基板1的待加热装配面上；

铝护套加热元件3，其设有多组，多组铝护套加热元件3不等距设于轮廓线路槽2内并与其密贴匹配，每组铝护套加热元件3均由铝保护套31、氧化镁32和合金加热丝33构成，具体如下阐述：

铝保护套31，轮廓线路槽2的最深处应加工成与铝保护套31相匹配的形状，继而使得铝保护套31可与轮廓线路槽2之间形成密贴配合，铝保护套31采用耐高温导热绝缘材料；

合金加热丝33，设于铝保护套31内，合金加热丝33与铝保护套31之间具有一定间隙进而用以填充氧化镁32，合金加热丝33的截面呈一圆环状；

氧化镁32，其设有两组，一组氧化镁32填充于铝保护套31与合金加热丝33之间，另一组氧化镁32填充于合金加热丝33内，合金加热丝33通电发出的热量传递给铝保护套31上同时起到绝缘作用让铝保护套31表面不带电；

铝压条4，设于铝护套加热元件3与轮廓线路槽2之间并通过螺纹相扣方式与轮廓线路槽2之间实现加固，优选的，铝压条4设置有至少一面与铝保护套31相匹配的截面，铝压条4设于铝保护套31与轮廓线路槽2之间，具体的，铝压条4与轮廓线路槽2之间通过防脱落螺丝5连接以实现螺纹相扣，铝压条4镶嵌入轮廓线路槽2后能将提前埋入的铝护套加热元件3四周挤压密贴至铝基板1沙漠化，保证热量的传递速度和均匀性，这样可以大大降低铝护套加热元件3的自身温度，保证铝护套加热元件3不会因自身温度过高而自熔，通过防脱落螺丝5实现螺纹相扣加固，继而保证铝压条4可以螺纹锁死，因此不会与铝基板1之间产生位移。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (7)

1.一种新型化学气相沉积耐腐蚀均匀加热装置，其特征在于，包括：

铝基板（1）；

轮廓线路槽（2），设于所述铝基板（1）的一面；

铝护套加热元件（3），其设有多组，多组所述铝护套加热元件（3）不等距设于所述轮廓线路槽（2）内并与其密贴匹配；

铝压条（4），设于铝护套加热元件（3）与所述轮廓线路槽（2）之间并通过螺纹相扣方式与所述轮廓线路槽（2）之间实现加固。

2.根据权利要求1所述的一种新型化学气相沉积耐腐蚀均匀加热装置，其特征在于，所述铝基板（1）的一面为平整度高的光滑面，其另一面为待加热装配面，所述轮廓线路槽（2）开设于所述铝基板（1）的待加热装配面。

3.根据权利要求2所述的一种新型化学气相沉积耐腐蚀均匀加热装置，其特征在于，所述平整度高的光滑面将热量均匀传递至所述待加热装配面上，继而对所述铝护套加热元件（3）加热。

4.根据权利要求3所述的一种新型化学气相沉积耐腐蚀均匀加热装置，其特征在于，每组所述铝护套加热元件（3）均包括：

铝保护套（31）；

合金加热丝（33），设于所述铝保护套（31）内；

氧化镁（32），其设有两组，一组所述氧化镁（32）填充于所述铝保护套（31）与所述合金加热丝（33）之间，另一组所述氧化镁（32）填充于所述合金加热丝（33）内。

5.根据权利要求4所述的一种新型化学气相沉积耐腐蚀均匀加热装置，其特征在于，所述铝压条（4）设置有至少一面与所述铝保护套（31）相匹配的截面，所述铝压条（4）设于所述铝保护套（31）与轮廓线路槽（2）之间。

6.根据权利要求5所述的一种新型化学气相沉积耐腐蚀均匀加热装置，其特征在于，所述铝压条（4）与所述轮廓线路槽（2）之间通过防脱落螺丝（5）连接以实现螺纹相扣。

7.根据权利要求6所述的一种新型化学气相沉积耐腐蚀均匀加热装置，其特征在于，所述铝保护套（31）采用耐高温导热绝缘材料。

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