CN209098796U - 高效微型加热器 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例公开了一种高效微型加热器。该加热器包括：锅体、盖体、铠装加热管、第一连接板、第二连接板、固定板、导线和接头；锅体的两侧开口且形成第一腔室和第二腔室；第一腔室和第二腔室分别设置于锅体的上、下侧。盖体与第二腔室形成密闭的容置空间；铠装加热管盘绕于容置空间中；第一连接板与第二连接板的一端分别连接在锅体上，另一端分别连接在固定板上，第一连接板和第二连接板形成第三腔室；固定板用于固定高效加热器；导线穿过第三腔室，且导线的一端还穿过锅体并与铠装加热管电性连接，另一端与接头电性连接；本实用新型设计的高效微型加热器，可以提高加热器的加热速率，且提高微型加热器的使用寿命。

Description

高效微型加热器

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种高效微型加热器。

背景技术

蒸发镀膜是真空镀膜的一种，且目前已成为常用的镀膜技术之一，蒸发镀膜一般是在真空条件下，通过加热器将蒸发物质(如金属、化合物等)以原子团或者离子等形式被蒸发出来，并冷凝沉降在待镀工件上形成薄膜的过程。薄膜的厚度及均匀性与蒸发速率和镀膜时间等都有密切的关系。

现有技术中的微型加热器加热件主要采用的是陶瓷加热片，不仅蒸发速率低且使用寿命短，研发一种高效微型加热器是急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高效微型加热器，可以提高加热器的加热速率，且提高微型加热器的使用寿命。

本实用新型实施例提供一种高效微型加热器，用于将镀材加热至蒸发并沉降到待镀膜的工件上，包括：锅体、盖体、铠装加热管、第一连接板、第二连接板、固定板、导线和接头；

所述锅体的两侧开口且形成第一腔室和第二腔室；

所述第一腔室设置于所述锅体的上侧，用于放置待加热的镀材；

所述第二腔室设置于所述锅体的下侧；

所述盖体设置在所述锅体上且与所述第二腔室形成密闭的容置空间；

所述铠装加热管均匀的盘绕于所述容置空间中；

所述第一连接板的一端连接在所述锅体的一侧，另一端连接在所述固定板的一侧；

所述第二连接板的一端连接在所述锅体的一侧，另一端连接在所述固定板的一侧，且所述第一连接板和所述第二连接板形成第三腔室；

所述固定板用于固定高效加热器；

所述导线穿过所述第三腔室，且所述导线的一端还穿过所述锅体并与所述铠装加热管电性连接，另一端与所述接头电性连接；

所述接头用于外接电源。

在一种可行的方案中，高效微型加热器，还包括：铜绒；

所述铜绒位于所述第一腔室中。

铜绒置于第一腔室中，可以使得待加热的镀材熔融后的金属液体分布均匀。

在一种可行的方案中，高效微型加热器，还包括：多条铜丝和多个固定件；

所述多个固定件均匀设置于所述第一腔室的外壁上表面；

所述多条铜丝的一端与所述铜绒连接，另一端呈十字形分别缠绕在所述多个固定件上。

通过铜丝将铜绒呈十字形缠绕在固定件上，可以将铜绒固定在第一腔室中。

在一种可行的方案中，高效微型加热器，还包括：热电偶；

所述第一腔室的底侧设有测量孔，所述热电偶的热端设置于所述测量孔中；

所述热电偶的冷端穿过所述第三腔室，用于外接电源。

采用热电偶测量第一腔室底侧的温度，方便控温。

在一种可行的方案中，所述锅体为圆形锅体；

所述第一腔室和所述第二腔室的横截面均为圆形，所述第一腔室的内径小于所述第二腔室的内径；

所述铠装电阻管的数量为两根，且呈上下两层布置，且各所述铠装电阻管盘绕圈数为七圈。

铠装电阻管上下两层布置，可以在微型加热器的第一腔室中排布更多的铠装电阻管。第二腔室的内径比第一腔室的内径大，可以保证第一腔室中待加热的液体或者固体受热均匀。

在一种可行的方案中，所述第一腔室的内径为23～27mm；

所述第二腔室的内径为27～31mm。

在一种可行的方案中，所述第一连接板上均匀设置有多个散热孔。设置散热孔，为了防止导线过热。

在一种可行的方案中，所述固定板设有U型接口，用于外接固定座。

在一种可行的方案中，所述导线设有保护套；所述保护套位于所述第三腔室。保护套的作用是保护导线，防止导线发生弯折或者受热损坏。

基于上述方案可知，本实用新型提供的一种用于将镀材加热至蒸发并沉降到待镀膜的工件上，包括：锅体、盖体、铠装加热管、第一连接板、第二连接板、固定板、导线和接头。将铠装加热管均匀的铺设在锅体的第二腔室中，铠装加热管柔性好，传热均匀且使用寿命长。本实用新型设计的微型加热器加热速率提高，且使用寿命增长。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例一中的高效微型加热器的结构示意图；

图2为本实用新型实施例一中的高效微型加热器的俯视图；

图3为本实用新型实施例一中的高效微型加热器的A-A剖面图。

图中标号：

1、锅体；11、第一腔室；12、第二腔室；13、固定件；2、盖体；3、铠装加热管；4、第一连接板；45、第三腔室；5、第二连接板；51、第一通孔；52、第二通孔；6、固定板；61、U型接口；7、导线；71、保护套；8、接头；9、热电偶。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，也可以是成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，也可以是通讯连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介的间接连接，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面以具体地实施例对本实用新型的技术方案进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。

图1为本实用新型实施例一中的高效微型加热器的结构示意图，图2为本实用新型实施例一中的高效微型加热器的俯视图，图3为本实用新型实施例一中的高效微型加热器的A-A剖面图。如图1至图3所示，本实用新型实施例设计了一种高效微型加热器，用于将镀材加热至蒸发并沉降到待镀膜的工件上，包括：锅体1、盖体2、铠装加热管3、第一连接板4、第二连接板5、固定板6、导线7和接头8。

其中，锅体1的两侧开口且形成第一腔室11和第二腔室12，第一腔室11设置于锅体1的上侧，用于放置待加热的镀材，第二腔室12设置于锅体1的下侧。盖体2设置在锅体1上且与第二腔室12形成密闭的容置空间。铠装加热管3均匀的盘绕于容置空间中。第一连接板4的一端连接在锅体1的一侧，另一端连接在固定板6的一侧，第二连接板5的一端连接在锅体1的一侧，另一端连接在固定板6的一侧，且第一连接板4和第二连接板5形成第三腔室45。固定板6用于固定高效加热器，导线7穿过第三腔室45，且导线7的一端还穿过锅体1并与铠装加热管3电性连接，另一端与接头8电性连接，接头8用于外接电源。

在本实施例中，锅体1采用的是铜坩埚，然后分别在锅体1的上下两侧分别开设了开口的第一腔室11和第二腔室12，第一腔室11作为受热腔，用来盛放待加热的镀材，第二腔室12作为供热腔，腔内均匀铺设了铠装加热管3，铠装加热管3由内至外包括：加热材料层(采用电阻丝)、矿物绝缘层(采用高绝缘氧化镁)和金属外套层(采用SUS316无缝管)。并且在铺设铠装加热管3时，保证第二腔室12中的铠装加热管3总电阻保持在91Ω-101Ω，电阻较小，因此功率较大，可以使得加热速率提高。第一连接板4和第二连接板5的一端焊接在锅体1一侧，另一端焊接在固定板6上，第一连接板4盖合在第二连接板5上形成了第三腔室45，导线7的一端由第二连接板5上的第一通孔穿过第三腔室45，并且穿过锅体1与铠装加热管电性连接，第三腔室起到保护导线的作用。导线7的另一端与接头8电性连接。

通过上述内容不难发现，本实用新型提供的一种用于将镀材加热至蒸发并沉降到待镀膜的工件上，包括：锅体、盖体、铠装加热管、第一连接板、第二连接板、固定板、导线和接头。将铠装加热管均匀的铺设在锅体的第二腔室中，铠装加热管柔性好，传热均匀且使用寿命长。本实用新型设计的微型加热器加热速率提高，且使用寿命增长。

可选地，在本实施中，高效微型加热器，还包括：铜绒(图中未表示)。

铜绒位于第一腔室中。铜绒是0.03mm-0.05mm的铜丝缠绕而成，将铜绒置于第一腔室中，可以使得待加热的镀材熔融后的金属液体分布均匀。

进一步地，在本实施例中，高效微型加热器，还包括：多条铜丝(图中未表示)和多个固定件13。

本实施例设置了四个固定件13，并将四个固定件13均匀地固定设置在第一腔室的外壁上表面。然后将各条铜丝的一端与铜绒连接，另一端呈十字形分别缠绕在每个固定件。通过铜丝将铜绒呈十字形缠绕在固定件上，可以将铜绒固定在第一腔室中。

可选地，高效微型加热器，还包括：热电偶9。

第一腔室11的底侧设有测量孔(图中未表示)，热电偶9的热端设置于测量孔中，热电偶的冷端经过第二连接板5的第二通孔52并穿过第三腔室，用于外接电源。其中热电偶9采用K型热电偶:采用热电偶测量第一腔室底侧的温度，方便控温。

可选地，锅体1为圆形锅体。第一腔室11和第二腔室12的横截面均为圆形，第一腔室11的内径小于第二腔室12的内径。铠装电阻管3的数量为两根，且呈上下两层布置，且各铠装电阻管3盘绕圈数为七圈。

铠装电阻管上下两层布置，可以在微型加热器的第一腔室中排布更多的铠装电阻管。第二腔室的内径比第一腔室的内径大，可以保证第一腔室中待加热的液体或者固体受热均匀。

进一步地，第一腔室的内径为25mm，第二腔室的内径为29mm。

可选地，第一连接板4上均匀设置有多个圆形散热孔(图中未表示)。设置散热孔，为了防止导线过热。

可选地，固定板设有U型接口61，用于外接固定座。

可选地，导线设有保护套，保护套位于第三腔室。保护套采用EVA热缩管，作用是保护导线，防止导线发生弯折或者受热损坏。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一特征和第二特征直接接触，或第一特征和第二特征通过中间媒介间接接触。

而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度低于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述，意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任意一个或者多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (9)

1.一种高效微型加热器，用于将镀材加热至蒸发并沉降到待镀膜的工件上，包括：锅体、盖体、铠装加热管、第一连接板、第二连接板、固定板、导线和接头；

所述锅体的两侧开口且形成第一腔室和第二腔室；

所述第一腔室设置于所述锅体的上侧，用于放置待加热的镀材；

所述第二腔室设置于所述锅体的下侧；

所述盖体设置在所述锅体上且与所述第二腔室形成密闭的容置空间；

所述铠装加热管均匀的盘绕于所述容置空间中；

所述第一连接板的一端连接在所述锅体的一侧，另一端连接在所述固定板的一侧；

所述第二连接板的一端连接在所述锅体的一侧，另一端连接在所述固定板的一侧，且所述第一连接板和所述第二连接板形成第三腔室；

所述固定板用于固定高效加热器；

所述导线穿过所述第三腔室，且所述导线的一端还穿过所述锅体并与所述铠装加热管电性连接，另一端与所述接头电性连接；

所述接头用于外接电源。

2.根据权利要求1所述的高效微型加热器，其特征在于，还包括：铜绒；

所述铜绒位于所述第一腔室中。

3.根据权利要求2所述的高效微型加热器，还包括：多条铜丝和多个固定件；

所述多个固定件均匀设置于所述第一腔室的外壁上表面；

所述多条铜丝的一端与所述铜绒连接，另一端呈十字形分别缠绕在所述多个固定件上。

4.根据权利要求1所述的高效微型加热器，其特征在于，还包括：热电偶；

所述第一腔室的底侧设有测量孔，所述热电偶的热端设置于所述测量孔中；

所述热电偶的冷端穿过所述第三腔室，用于外接电源。

5.根据权利要求1所述的高效微型加热器，其特征在于，所述锅体为圆形锅体；

所述第一腔室和所述第二腔室的横截面均为圆形，所述第一腔室的内径小于所述第二腔室的内径；

所述铠装电阻管的数量为两根，且呈上下两层布置，且各所述铠装电阻管盘绕圈数为七圈。

6.根据权利要求5所述的高效微型加热器，其特征在于，所述第一腔室的内径为23～27mm；

所述第二腔室的内径为27～31mm。

7.根据权利要求1所述的高效微型加热器，其特征在于，所述第一连接板上均匀设置有多个散热孔。

8.根据权利要求1所述的高效微型加热器，其特征在于，所述固定板设有U型接口，用于外接固定座。

9.根据权利要求1所述的高效微型加热器，其特征在于，所述导线设有保护套；

所述保护套位于所述第三腔室中。