CN215940506U - 面方向型振动构造 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及面方向型振动构造，其具备：框状部件(16)，具有开口；振动部(17)，位于上述开口；多个梁部(18)，将框状部件(16)和振动部(17)连接；压电膜(30)，通过施加电压而在面方向上振动；第1支承部(12)，配置在框状部件(16)，支承压电膜(30)；第2支承部(13)，配置在振动部件(17)，支承压电膜(30)；保护膜(14)，在俯视下覆盖压电膜(30)；以及第3支承部(15)，支承保护膜(14)，对保护膜(14)进行限制，保护膜(14)在俯视下与多个梁部(18)中的设置有第1支承部(12)的一侧的梁部对应的位置和与第1支承部(12)对应的位置之间的至少一部分，具有与其他部分相比限制性低的低限制部(19)。

Description

面方向型振动构造
技术领域
本实用新型涉及在面方向上振动的面方向型振动构造。
背景技术
近年，提出了在触摸面板等输入设备中在用户进行压入操作时通过传递振动，来使用户感觉到已进行按压的触觉提示装置。
例如，在专利文献1中，提出有使用压电膜来给予用户触觉反馈的触觉提示装置。在专利文献1中，通过施加电压从而压电膜在面方向上变形。通过压电膜的伸缩，从而与压电膜连接的振动部在面方向上振动。
专利文献1：国际公开2019/013164号
在向压电膜施加高电压的情况下，优选用保护罩覆盖压电膜。若以覆盖压电膜的方式固定保护罩，则被固定的保护罩与振动板或者压电膜接触而阻碍振动板的振动。为了不阻碍振动板的振动，例如可以考虑设置支承保护罩的支承部，使保护罩在厚度方向上从压电膜和振动板离开，以不与压电膜和振动板触碰的方式配置保护罩。但是，在增厚支承部的厚度而将保护罩从压电膜和振动板大幅度远离的情况下，因为保护罩的设置结构而导致振动构造整体的厚度增加。
实用新型内容
这里，本实用新型的目的在于提供一种不因保护罩而阻碍振动，并且将厚度的增加抑制在最小限度的面方向型振动构造。
本实用新型的面方向型振动构造的特征在于，该面方向型振动构造具备：框状部件，具有开口；振动部，位于上述开口；多个梁部，将上述框状部件和上述振动部连接；压电膜，通过施加电压而在面方向上振动；第1支承部，配置在上述框状部件，支承上述压电膜；第2支承部，配置在上述振动部，支承上述压电膜；保护膜，在俯视下覆盖上述压电膜；以及第3支承部，支承上述保护膜，对上述保护膜进行限制，上述保护膜在俯视下与上述多个梁部中的设置有上述第1支承部的一侧的梁部对应的位置和与上述第1支承部对应的位置之间的至少一部分，具有与其他部分相比限制性低的低限制部。
在俯视下与设置有第1支承部的一侧的梁部对应的位置和与第1支承部对应的位置之间是对振动部的振动有较大影响的部位。保护膜使对振动部的振动影响较大的部位的至少一部分成为低限制部，由此即使在保护膜与压电膜接触的情况下也将对振动部的振动的影响抑制在最小限度。因此，本实用新型的面方向型振动构造为了将厚度的增加抑制在最小限度而抑制第3支承部的厚度，即使在保护膜与压电膜接触的情况下，也不阻碍振动部的振动。
根据本实用新型，能够不因保护罩而阻碍振动，并且将厚度的增加抑制在最小限度。
附图说明
图1的(A)是表示第1实施方式所涉及的面方向型振动构造100的结构的立体图。图1的(B)是面方向型振动构造100的俯视图，图1的(C)是在图1的(B)所示的I-I线切断的剖视图。
图2是面方向型振动构造100的分解立体图。
图3是压电元件11的结构的剖视图。
图4的(A)是表示面方向型振动构造100的变形例1所涉及的面方向型振动构造200的结构的俯视图，图4的(B)是在图4的(A)所示的II-II线切断的剖视图。
图5的(A)是表示第2实施方式所涉及的面方向型振动构造300的结构的立体图。图5的(B)是面方向型振动构造300的俯视图，图5的(C)是在图5的(B)所示的III-III线切断的剖视图。
图6的(A)是表示面方向型振动构造300的变形例2所涉及的面方向型振动构造400的结构的俯视图，图6的(B)是在图6的(A)所示的IV-IV线切断的剖视图。
图7的(A)是表示面方向型振动构造300的变形例3所涉及的面方向型振动构造500的结构的俯视图，图7的(B)是在图7的(A)所示的V-V线切断的剖视图。
具体实施方式
图1的(A)是表示第1实施方式所涉及的面方向型振动构造100的结构的立体图。图1的(B)是面方向型振动构造100的俯视图，图1的(C)是在图1的(B)所示的I-I线切断的剖视图。图2是面方向型振动构造100的分解立体图。此外，图1的(A)和图1的(B)使保护膜14和压电膜30透过地进行表示。以下，在各附图中，以面方向型振动构造100的短边方向为X轴方向，以面方向型振动构造100的长边方向为Y轴方向，以厚度方向为Z轴方向进行表示。另外，图3以外的各附图省略电路、布线以及电源等进行表示。并且，各剖视图在厚度方向亦即Z轴方向上放大地进行表示。
如图1的(A)～(C)和图2所示，本实施方式的面方向型振动构造100具备基部10、压电元件11、双面胶带12、双面胶带13、保护膜14以及2个粘合件15。基部10具备框状部件16、振动部17以及4个梁部(梁部181、梁部182、梁部183、梁部184)。以下，将4个梁部(梁部181、梁部182、梁部183、梁部184)统称为梁部18。
框状部件16的俯视下的形状是长方形。框状部件16具有长方形的开口20。框状部件16具有2个第1开口21和2个第2开口22。第1开口21配置在框状部件16的长边方向亦即Y轴方向的两端侧。第2开口22配置在框状部件16的短边方向亦即X轴方向的两端侧。第1开口21是大致长方形，是沿着X轴方向较长的形状。第2开口22是沿着Y轴方向较长的大致长方形的开口。
振动部17在俯视下是长方形，位于开口20的内侧。振动部17的面积比开口20即由第1开口21和第2开口22围起的面积小。
梁部18将框状部件16和振动部17连接。梁部18将振动部17支承在框状部件16。在本例子中，梁部18是沿着X轴方向较长的长方形，在振动部17的Y轴方向的两端部保持振动部17。梁部18的与压电元件11伸缩的Y轴方向正交的X轴方向的长度比沿着Y轴方向的长度长。
框状部件16、振动部17以及梁部18由同一部件(例如，丙烯酸树脂、PET、聚碳酸酯、环氧玻璃、FRP、金属或者玻璃等)形成。作为金属，例如可以举出SUS(不锈钢)，根据需要也可以是通过用聚酰亚胺等树脂进行涂层而实施了绝缘的金属。
框状部件16、振动部17以及梁部18通过将1张长方形的板部件沿着第1开口21和第2开口22的形状冲压加工而形成。框状部件16、振动部17以及梁部18也可以分别是不同的部件，但通过由同一部件形成而能够容易地制造。或者，通过由同一部件形成而不需要为了振动部17的支承而使用橡胶等其它的部件(存在蠕变劣化的部件)，能够长期稳定并保持振动部17。另外，基部10的厚度优选0.1mm以上3mm以下。若基部10的厚度为0.1mm以上3mm以下，则基部10具有适度的刚性，能够防止因振动部17的振动而基部10整体塑性变形，并且能够减少面方向型振动构造100的厚度。
压电元件11与基部10的一方的主面连接。详细地说明的话，压电元件11经由双面胶带12与框状部件16连接，经由双面胶带13与振动部17连接。压电元件11的长边方向亦即Y轴方向的第1端111与框状部件16的Y轴方向的第1端161连接。双面胶带12和双面胶带13在俯视下为沿着X轴方向较长的长方形。压电元件11的第2端112与振动部17的Y轴方向的第2端172连接。双面胶带12和双面胶带13使用绝缘性且具有粘合性的原料。此外，双面胶带12是本实用新型所涉及的“第1支承部”的一个例子，双面胶带13是本实用新型所涉及的“第2支承部”的一个例子。
图3是压电元件11的结构的剖视图。如图3所示，压电元件11具备压电膜30、第1电极31以及第2电极32。压电膜30在两个主面形成有第1电极31和第2电极32。第1电极31和第2电极32例如通过蒸镀法形成在压电膜30。第1电极31和第2电极32分别与电源33连接。
双面胶带12和双面胶带13具有一定程度的厚度，以不使压电元件11与振动部17接触的方式在离开一定程度的位置将压电元件11和振动部17连接。由此，设置在压电膜30的两个主面的第1电极31和第2电极32与振动部17不接触，因此即使压电膜30伸缩而振动部17振动，第1电极31和第2电极32也不会被磨削。例如，双面胶带12和双面胶带13的厚度优选10μm以上500μm以下。若双面胶带12和双面胶带13的厚度为10μm以上500μm以下，则即使在压电元件11变形的情况下也难以与振动部17接触，并且能够减少面方向型振动构造100的厚度。
压电膜30是若施加电压则会在面方向上变形从而进行振动的膜的一个例子。压电膜30在俯视下为沿着框状部件16的长边方向亦即Y轴方向较长的长方形。压电膜30例如由聚偏氟乙烯(PVDF)构成。除此之外，压电膜30也可以是由手性高分子构成的形态。例如，手性高分子使用L型聚乳酸(PLLA)或者D型聚乳酸(PDLA)等。
在将PVDF用于压电膜30的情况下，PVDF具有耐水性，因此将具备该例子中的面方向型振动构造100的电子设备放置在什么样的湿度环境下都能够使其进行相同的振动。
另外，在将PLLA用于压电膜30的情况下，PLLA是透过性较高的材料，因此若附加在PLLA的电极以及振动部17是透明的材料，则能够视觉识别机器的内部状况，因此变得容易制造。另外，PLLA没有热电性，因此放置在什么样的温度环境下都能够使其进行相同的振动。例如，即使在人的手触碰面方向型振动构造100，体温向压电膜30传递的情况下，压电膜30的特性也不变化。因此，作为人的手触碰的电子设备的压电膜30优选使用PLLA。压电元件11假设由PLLA构成的情况下，将其裁断为各外周边相对于延伸方向为大致45°，由此具有压电性。
本实施方式的面方向型振动构造100能够用于触觉提示装置。触觉提示装置具备检测触摸操作的触摸面板(未图示)、和面方向型振动构造100。若触摸面板(未图示)检测到用户的触摸操作，则未图示的驱动电路从电源33经由第1电极31和第2电极32向压电膜30施加电压。若施加电压则压电膜30在面方向上变形。具体而言，若施加电压则压电膜30在Y轴方向上伸缩。通过压电膜30在长边方向上伸缩，从而振动部17在Y轴方向上振动。由此，在压电膜30产生的振动经由振动部17向用户传递。
保护膜14与基部10的一方的主面连接。一方的主面是指与连接有压电元件11的主面相同的主面。保护膜14经由2个粘合件15而与振动部17连接。粘合件15配置在振动部17的短边方向亦即X轴方向的第1端171的端部以及第2端172的端部。粘合件15的俯视下的形状为沿着Y轴方向较长的长方形。粘合件15具有一定程度的厚度。因此，保护膜14位于从基部10(振动部17)离开了与粘合件15的厚度相对应量的位置。压电元件11位于被保护膜14和基部10夹着的空间。
粘合件15由具有绝缘性的原料构成。粘合件15例如由聚氨酯树脂构成。保护膜14经由粘合件15与振动部17连接。
粘合件15的厚度例如优选5μm以上40μm以下。若粘合件15的厚度为5μm以上40μm以下，则即使在保护膜14变形的情况下也难以与振动部17接触，并且能够减少面方向型振动构造100的厚度。此外，粘合件15是本实用新型所涉及的“第3支承部”的一个例子。
保护膜14的俯视下的形状为长方形。保护膜14在俯视下覆盖压电元件11、即压电膜30。详细地说明的话，保护膜14从振动部17的Y轴方向的第2端172侧的端部覆盖到框状部件16的Y轴方向的第1端161的端部。另外，保护膜14的X轴方向的宽度与压电膜30的X轴方向的宽度相同。由此，压电膜30的整体被保护膜14覆盖。
保护膜14是具有绝缘性的膜。保护膜14例如优选聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)。由PET构成的膜具有一定程度的刚性，因此保护膜14能够抑制不必要的变形。因此，即使在对压电膜30施加较大的电压的情况下，保护膜14也能够防止压电膜30给予外部带来影响。例如，保护膜14能够防止由人与压电元件11直接触碰而导致的触电。
保护膜14的厚度例如优选10μm以上100μm以下。若保护膜14的厚度为10μm以上100μm以下，则保护膜14具有适度的刚性，因此即使在保护膜14变形的情况下也难以与压电元件11或者基部10接触。因此，即使压电元件11或者基部10与保护膜14接触，也能够通过释放从压电元件11或者基部10向保护膜14被施加的力从而减少对振动部17的振动的影响。
保护膜14的比振动部17靠框状部件16的Y轴方向的第1端161的一侧同与振动部17在俯视下重叠的部位相比限制性较低。更具体而言，保护膜14的比振动部17靠框状部件16的Y轴方向的第1端161的一侧不与基部10的任何部位连接。
压电元件11中的设置有双面胶带12的一侧的与梁部181以及梁部182对应的位置和与双面胶带12对应的位置之间是对振动部17的振动影响较大的部位。从压电元件11或者基部10中的与梁部181和梁部182对应的位置开始振动部17的一侧是即使与保护膜14接触也难以影响振动部17的振动的部分。
本实施方式的保护膜14在对振动部17的振动影响较大的部位具有低限制部19。即使压电元件11与低限制部19接触，低限制部19通过从压电元件11被给予的力，而朝向与压电元件11相反的一侧变形。低限制部19不会推回压电元件11或者基部10。即，压电元件11或者基部10不会从保护膜14受到反作用力。
因此，即使保护膜14与压电元件11或者基部10接触，对振动部17的振动的影响也被抑制在最小限度。
另外，若增厚粘合件15的Z轴方向的厚度，则保护膜14能够形成为与压电元件11或者基部10难以接触的结构。越使面方向型振动构造100变薄，保护膜14越变得与压电元件11或者基部10容易接触。这里，在本实用新型所涉及的面方向型振动构造100中，保护膜14在容易产生对振动部17的振动的影响的部位具有低限制部19，因此即使保护膜14与压电元件11或者基部10接触，也将对振动部17的振动的影响抑制在最小限度。因此，面方向型振动构造100能够减少厚度。
图4的(A)是表示面方向型振动构造100的变形例1所涉及的面方向型振动构造200的结构的俯视图。图4的(B)是在图4的(A)所示的II-II线切断的剖视图。在变形例1的说明中，仅对与第1实施方式不同的部位进行说明，省略其他。
如图4的(A)和图4的(B)所示，变形例1所涉及的面方向型振动构造200代替保护膜14而具备第1保护膜24和第2保护膜34。第1保护膜24和第2保护膜34是由与保护膜14相同的原料构成的膜。面方向型振动构造200在粘合件15的基础上还具备粘合件25。
粘合件25在存在双面胶带12的一侧的框状部件16配置有2个。粘合件25的俯视下的形状为沿着Y轴方向较长的长方形。粘合件25在框状部件16以夹着双面胶带12和压电元件11的方式沿X轴方向隔开配置。粘合件25与粘合件15同样地具有一定程度的厚度。
第1保护膜24经由2个粘合件15与振动部17连接。第1保护膜24位于从基部10(振动部17)离开与粘合件15的厚度相对应量的位置。第1保护膜24的俯视下的形状是如下的长方形，即，从振动部17的Y轴方向的第2端172侧的端部朝向双面胶带12侧延伸到与第1开口21对应的位置。第1保护膜24的与振动部17对应的位置通过粘合件15被限制，但在与梁部181、梁部182以及第1开口21对应的位置不被限制。
第2保护膜34经由2个粘合件25与框状部件16连接。第2保护膜34位于从基部10(框状部件16)离开与粘合件25的厚度相应量的位置。第2保护膜34的俯视下的形状是如下的长方形，即，从框状部件16的Y轴方向的第1端161侧的端部延伸到与振动部17近前的第1开口21对应的位置。因此，第2保护膜34在俯视下与第1保护膜24一部分重叠。第2保护膜34在与框状部件16对应的位置通过粘合件25被限制，但在与第1开口21对应的位置不被限制。
在变形例1中，第1保护膜24以及第2保护膜34在与梁部181、梁部182以及第1开口21对应的位置不被限制。即，第1保护膜24以及第2保护膜34具有由图4的(B)的虚线围起的区域那样的低限制部29。若压电元件11与低限制部29接触，则第1保护膜24以及第2保护膜34的低限制部29朝向与存在压电元件11的一侧相反的一侧分别变形。因此，低限制部29不会推回压电元件11，而即使第1保护膜24以及第2保护膜34与压电元件11接触，对振动部17的振动的影响也被抑制在最小限度。
另外，第1保护膜24和第2保护膜34在俯视下一部分重叠。因此，即使在第1保护膜24和第2保护膜34位移的情况下，也能够防止压电元件11向外部的露出。因此，能够遏制作用在压电元件11的电压对外部的影响。
图5的(A)是表示第2实施方式所涉及的面方向型振动构造300的结构的立体图。图5的(B)是面方向型振动构造300的俯视图，图5的(C)是在图5的(B)所示的III-III线切断的剖视图。在第2实施方式的说明中，仅对与第1实施方式不同的部位进行说明，省略其他。
如图5的(A)、图5的(B)以及图5的(C)所示，第2实施方式所涉及的面方向型振动构造300代替粘合件15而具备粘合件35。粘合件35配置在基部10(框状部件16)的长边方向亦即Y轴方向的第1端161的端部以及第2端162的端部。粘合件35的俯视下的形状是沿着X轴方向较长的长方形。粘合件35与粘合件15同样地具有一定程度的厚度。
保护膜14经由2个粘合件35与框状部件16的第1端161的端部以及第2端162的端部连接。因此，保护膜14位于从基部10(框状部件16)离开与粘合件35的厚度相应量的位置。压电元件11位于被保护膜14和基部10夹着的空间。另外，保护膜14的两端与框状部件16的两端分别连接。因此，例如在将面方向型振动构造300搭载于其他的装置等的作业中，能够防止保护膜14不必要地卷起而变形。
保护膜14具有由图5的(A)的虚线围起的区域那样的低限制部39。低限制部39由多个狭缝50构成。即，在保护膜14形成有多个狭缝50。狭缝50相对于保护膜14伸缩的方向(Y轴方向)平行地形成有多个。在面方向型振动构造300中，多个狭缝50形成在保护膜14中的与梁部181、梁部182以及第1开口21对应的位置。此外，多个狭缝50也可以在保护膜14中进一步形成到振动部17的一部分和框状部件16。
若压电元件11与低限制部39接触，则因为保护膜14的低限制部39形成有多个狭缝50，所以保护膜14的低限制部39与其他的部分相比容易变形。保护膜14的低限制部39能够通过局部地变形从而释放从压电元件11被施加的力。因此，低限制部39不会推回压电元件11，即使保护膜14与压电元件11接触，对振动部17的振动的影响也被抑制在最小限度。
图6的(A)是表示面方向型振动构造300的变形例2所涉及的面方向型振动构造400的结构的俯视图，图6的(B)是在图6的(A)所示的IV-IV线切断的剖视图。在变形例2的说明中，仅对与第2实施方式不同的部位进行说明，省略其他。
如图6的(A)以及图6的(B)所示，在面方向型振动构造400中，在保护膜14形成有多个狭缝51。保护膜14具有由图6的(A)的虚线围起的区域那样的低限制部49。即，低限制部49由多个狭缝51构成。狭缝51相对于保护膜14伸缩的方向(Y轴方向)正交地形成有多个。
在面方向型振动构造400中，多个狭缝51形成在保护膜14中的与梁部181、梁部182以及第1开口21对应的位置。此外，多个狭缝51也可以在保护膜14中进一步形成到振动部17的一部分和框状部件16。例如，多个狭缝51形成到在俯视下与双面胶带12不重叠的位置。
若压电元件11与低限制部49接触，则因为保护膜14的低限制部49形成有多个狭缝51，所以保护膜14的低限制部49与其他的部分相比容易变形。因此，低限制部49不会推回压电元件11，即使保护膜14与压电元件11接触，对振动部17的振动的影响也被抑制在最小限度。
图7的(A)是表示面方向型振动构造300的变形例3所涉及的面方向型振动构造500的结构的俯视图，图7的(B)是在图7的(A)所示的V-V线切断的剖视图。在变形例3的说明中，仅对与第2实施方式不同的部位进行说明，省略其他。
如图7的(A)和图7的(B)所示，在面方向型振动构造500中，在保护膜14形成有狭缝52。狭缝52由端部狭缝53和2个侧面部狭缝54构成。端部狭缝53是沿着压电元件11的第1端111平行的狭缝。2个侧面部狭缝54是从端部狭缝53的两端朝向振动部17侧延伸到振动部17的第1端171附近的狭缝。即，狭缝52在保护膜14形成为在俯视下包围压电元件11的长边方向亦即Y轴方向的第1端111侧的一部分。
保护膜14具有由图7的(A)的虚线围起的区域那样的低限制部59。低限制部59具有在俯视下被狭缝52夹着的非限制部69。即，非限制部69由狭缝52构成。
若压电元件11与非限制部69接触，则因为保护膜14的非限制部69形成有多个狭缝52，所以保护膜14的非限制部69与其他的部分相比容易变形。因此，非限制部69不会推回压电元件11，即使保护膜14与压电元件11接触，对振动部17的振动的影响也被抑制在最小限度。
此外，在变形例2、变形例3以及变形例4中，举出了狭缝相对于X轴方向或者Y方轴向平行地形成的例子，但并不限定于此。狭缝只要形成在俯视下与梁部181和梁部182对应的位置和与双面胶带12对应的位置之间的至少一部分即可。例如，狭缝也可以形成为沿着相对于X轴方向45度倾斜的方向。
另外，在变形例2和变形例3中，狭缝的根数或者狭缝间的宽度能够与保护膜14的刚性或者厚度等规格相对应地变更。
最后，应该认为本实施方式的说明在所有方面都是例示，并不是限制性的。本实用新型的范围并不由上述的实施方式示出，而由权利要求书示出。并且，对本实用新型的范围而言，意图包含与权利要求书相同的含义和范围内的所有变更。
附图标记说明
10…基部；11…压电元件；12…双面胶带；13…双面胶带；14…保护膜；15、25、35…粘合件；16…框状部件；17…振动部；18、181、182、183、184…梁部；19、29、39、49、59…低限制部；21…第1开口；22…第2开口；24…第1保护膜；30…压电膜；31…第1电极；32…第2电极；33…电源；34…第2保护膜；50…狭缝；51…狭缝；52…狭缝；53…端部狭缝；54…侧面部狭缝；69…非限制部；100、200、300、400、500…面方向型振动构造；111…第1端；112…第2端；161…第1端；162…第2端；171…第1端；172…第2端。

Claims (8)

1.一种面方向型振动构造，其特征在于，具备：
框状部件，具有开口；
振动部，位于所述开口；
多个梁部，将所述框状部件与所述振动部连接；
压电膜，通过施加电压而在面方向上振动；
第1支承部，配置在所述框状部件，支承所述压电膜；
第2支承部，配置在所述振动部件，支承所述压电膜；
保护膜，在俯视下覆盖所述压电膜；以及
第3支持部，支承所述保护膜，对所述保护膜进行限制，
所述保护膜在俯视下与所述多个梁部中的设置有所述第1支承部的一侧的梁部对应的位置和与所述第1支承部对应的位置之间的至少一部分，具有与其他部分相比限制性低的低限制部。
2.根据权利要求1所述的面方向型振动构造，其特征在于，
所述第3支承部在所述振动部支承所述保护膜，
所述低限制部具有不被所述第3支承部限制的部分。
3.根据权利要求1所述的面方向型振动构造，其特征在于，
所述第3支承部在所述框状部件支承所述保护膜，
所述低限制部由狭缝构成。
4.根据权利要求3所述的面方向型振动构造，其特征在于，
所述狭缝相对于所述保护膜伸缩的方向平行地形成有多个。
5.根据权利要求3所述的面方向型振动构造，其特征在于，
所述狭缝相对于所述保护膜伸缩的方向正交地形成有多个。
6.根据权利要求3所述的面方向型振动构造，其特征在于，
所述低限制部具有在俯视下被所述狭缝夹着的非限制部。
7.根据权利要求1所述的面方向型振动构造，其特征在于，
所述保护膜包括第1保护膜以及第2保护膜，
所述第3支承部在所述振动部支承第1保护膜，并在所述框状部件支承所述第2保护膜，
所述第1保护膜的一端以及所述第2保护膜的一端在俯视下重叠，
所述第1保护膜的一端以及所述第2保护膜的一端在所述俯视下重叠的区域构成所述低限制部。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的面方向型振动构造，其特征在于，
所述压电膜含有PVDF或者PLLA。
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