CN215832642U - 一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置，包括支撑座，所述支撑座底部的左右两侧均固定安装有支撑柱，所述支撑座的顶部活动安装有放置台，所述支撑座的内部固定安装有滑轨，所述滑轨正面的左右两侧均滑动安装有测量组件，所述支撑座正面和背面均固定安装有安装板，所述测量组件包括电动推杆、支撑管、插杆、限位孔、插轴、连接杆、测量尺、移动口和滑块，所述支撑座的底部固定安装有电动推杆。该用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置，改变两个测量尺之间的距离，让测量尺更加靠近样品，使得工作人员观测的更加清楚，提高了扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置的观测准确性。

Description

一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置

技术领域

本实用新型涉及电子显微镜辅助装置技术领域，具体为一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置。

背景技术

电子显微镜技术的应用是建立在光学显微镜的基础之上的，光学显微镜的分辨率为0.2μm，扫面电子显微镜的分辨率为1nm，也就是说扫面电子显微镜在光学显微镜的基础上放大了200倍。

电子显微镜在对样品进行检测时候需要样品的高度满足仪器厂商的最大样品高度要求，现有技术中采用人眼观察的方式进行，但是传统的测量方法没有参照物，往往会出现较大的误差，使得样品所处的位置过高，将会与电子显微镜极靴发生碰撞，故而提出一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置来解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置，具备提高测量准确性和方便使用等优点，解决了现有技术中电子显微镜样品测量装置结构简单，不具备参照物，肉眼测量容易出现误差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置，包括支撑座，所述支撑座底部的左右两侧均固定安装有支撑柱，所述支撑座的顶部活动安装有放置台，所述支撑座的内部固定安装有滑轨，所述滑轨正面的左右两侧均滑动安装有测量组件，所述支撑座正面和背面均固定安装有安装板，所述测量组件包括电动推杆、支撑管、插杆、限位孔、插轴、连接杆、测量尺、移动口和滑块，所述支撑座的底部固定安装有电动推杆，所述电动推杆的输出轴固定安装有支撑管，所述支撑管的左右两端均插接有插杆，所述插杆的正面开设有等距离排列的限位孔，所述支撑管正面的左右两侧均插接有插轴，两个插轴之间固定安装有连接杆，两个所述插杆的顶部均固定安装有插接于支撑座内部的测量尺，所述测量尺的正面开设有移动口，所述移动口的内部活动安装有滑块。

进一步，所述支撑座的顶部与底部均开设有滑口，所述放置台位于支撑座顶部的中心位置。

进一步，所述插轴的背面贯穿支撑管并延伸至支撑管的内部，所述插轴卡接于限位孔的内部。

进一步，所述测量尺的底端贯穿支撑座并延伸至支撑座的顶部，且测量尺滑动安装于滑口的内部，测量尺的正面印刷有刻度标识。

进一步，所述滑块的背面贯穿移动口并延伸至滑轨的内部与其滑动连接，所述放置台位于两个测量尺之间。

进一步，所述电动推杆位于两个测量尺之间，所述安装板的长度不大于支撑座的长度。

与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

该用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置，通过设置测量组件，在进行扫描电子显微镜样品观测的时候，将样品放置于放置台的顶部，然后根据电子显微镜镜头的高度来调整测量尺的高度，通过电动推杆的伸缩来控制支撑管上下移动，从而带动测量尺上下移动来调整位置，此时工作人员观察样品的高度与测量尺的垂直高度，根据刻度标识确定样品的高度，同时还可以拉动连接杆，使得插轴从限位孔的内部离开，然后向内侧推动插杆，从而改变两个测量尺之间的距离，让测量尺更加靠近样品，使得工作人员观测的更加清楚，提高了扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置的观测准确性。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型测量组件结构示意图；

图3为本实用新型正视图。

图中：1支撑座、2支撑柱、3放置台、4滑轨、5测量组件、501电动推杆、502支撑管、503插杆、504限位孔、505插轴、506连接杆、507测量尺、508移动口、509滑块、6安装板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实施例中的一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置，包括支撑座1，支撑座1底部的左右两侧均固定安装有支撑柱2，支撑座1的顶部活动安装有放置台3，通过设置放置台3，放置台3用于对样品进行放置，同时可以转动放置台3，使得肉眼观测的时候能够多方位进行观察，支撑座1的内部固定安装有滑轨4，滑轨4用于位于两个测量尺507提供移动的轨迹，使其在移动的过程中保持垂直方向移动，滑轨4正面的左右两侧均滑动安装有测量组件5，支撑座1正面和背面均固定安装有安装板6，测量组件5包括电动推杆501、支撑管502、插杆503、限位孔504、插轴505、连接杆506、测量尺507、移动口508和滑块509，支撑座1的底部固定安装有电动推杆501，电动推杆501的输出轴固定安装有支撑管502，支撑管502的左右两端均插接有插杆503，插杆503的正面开设有等距离排列的限位孔504，支撑管502正面的左右两侧均插接有插轴505，两个插轴505之间固定安装有连接杆506，两个插杆503的顶部均固定安装有插接于支撑座1内部的测量尺507，电动推杆501用于推动测量尺507上下移动，支撑管502用于实现插杆503的伸缩，使得插杆503带动两个测量尺507左右移动，插轴505用于对两个测量尺507的位置进行定位，在测量尺507移动调整之后将位置固定，测量尺507的正面开设有移动口508，移动口508的内部活动安装有滑块509，连接杆506用于同时拉动两个插轴505，使得测量尺507移动的时候保持同步进行，滑块509用于对测量尺507进行支撑，使得测量尺507在滑轨4的正面移动。

在实施时，按以下步骤进行操作：

1)先将样品放置于放置台3的顶部，根据电子显微镜镜头的高度来调整测量尺507的高度；

2)然后通过电动推杆501的伸缩来控制支撑管502上下移动，从而带动测量尺507上下移动来调整位置；

3)再通过工作人员观察样品的高度与测量尺507的垂直高度，根据刻度标识确定样品的高度；

4)最后拉动连接杆506，使得插轴505从限位孔504的内部离开，向内侧推动插杆503，从而改变两个测量尺507之间的距离。

综上所述，该用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置，通过设置测量组件5，在进行扫描电子显微镜样品观测的时候，将样品放置于放置台3的顶部，然后根据电子显微镜镜头的高度来调整测量尺507的高度，通过电动推杆501的伸缩来控制支撑管502上下移动，从而带动测量尺507上下移动来调整位置，此时工作人员观察样品的高度与测量尺507的垂直高度，根据刻度标识确定样品的高度，同时还可以拉动连接杆506，使得插轴505从限位孔504的内部离开，然后向内侧推动插杆503，从而改变两个测量尺507之间的距离，让测量尺507更加靠近样品，使得工作人员观测的更加清楚，提高了扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置的观测准确性，解决了现有技术中电子显微镜样品测量装置结构简单，不具备参照物，肉眼测量容易出现误差的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置，包括支撑座(1)，其特征在于：所述支撑座(1)底部的左右两侧均固定安装有支撑柱(2)，所述支撑座(1)的顶部活动安装有放置台(3)，所述支撑座(1)的内部固定安装有滑轨(4)，所述滑轨(4)正面的左右两侧均滑动安装有测量组件(5)，所述支撑座(1)正面和背面均固定安装有安装板(6)；

所述测量组件(5)包括电动推杆(501)、支撑管(502)、插杆(503)、限位孔(504)、插轴(505)、连接杆(506)、测量尺(507)、移动口(508)和滑块(509)，所述支撑座(1)的底部固定安装有电动推杆(501)，所述电动推杆(501)的输出轴固定安装有支撑管(502)，所述支撑管(502)的左右两端均插接有插杆(503)，所述插杆(503)的正面开设有等距离排列的限位孔(504)，所述支撑管(502)正面的左右两侧均插接有插轴(505)，两个插轴(505)之间固定安装有连接杆(506)，两个所述插杆(503)的顶部均固定安装有插接于支撑座(1)内部的测量尺(507)，所述测量尺(507)的正面开设有移动口(508)，所述移动口(508)的内部活动安装有滑块(509)。

2.根据权利要求1所述的一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置，其特征在于：所述支撑座(1)的顶部与底部均开设有滑口，所述放置台(3)位于支撑座(1)顶部的中心位置。

3.根据权利要求1所述的一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置，其特征在于：所述插轴(505)的背面贯穿支撑管(502)并延伸至支撑管(502)的内部，所述插轴(505)卡接于限位孔(504)的内部。

4.根据权利要求2所述的一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置，其特征在于：所述测量尺(507)的底端贯穿支撑座(1)并延伸至支撑座(1)的顶部，且测量尺(507)滑动安装于滑口的内部，测量尺(507)的正面印刷有刻度标识。

5.根据权利要求1所述的一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置，其特征在于：所述滑块(509)的背面贯穿移动口(508)并延伸至滑轨(4)的内部与其滑动连接，所述放置台(3)位于两个测量尺(507)之间。

6.根据权利要求1所述的一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置，其特征在于：所述电动推杆(501)位于两个测量尺(507)之间，所述安装板(6)的长度不大于支撑座(1)的长度。

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