CN215815798U - 一种硅片脱胶清洗机上料装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种硅片脱胶清洗机上料装置，包括机架、夹爪、清洗槽、横支撑臂、竖支撑臂，所述竖支撑臂底端通过X轴直线运动组件与机架配合安装，所述横支撑臂一端通过Z轴直线运动组件与竖支撑臂配合安装，另一端通过转动组件与夹爪配合安装，所述清洗槽设置于夹爪下方。本实用新型有益效果：实现了硅片清洗以及脱胶清洗机上料的机械化运行，操作过程不需要人工手动搬运，降低了生产成本、提高了生产效率和产品合格率。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片生产制造领域，尤其是涉及一种硅片脱胶清洗机上料装置。
背景技术
在目前的硅片生产过程中，在使用脱胶清洗机对切割完的硅片进行脱胶清洗时，首先需要手动将硅片从周转车上取下，然后手动改对其进行清洗，最后再将硅片放入脱胶清洗机内进行脱胶清洗。整个过程全部人工操作，这种生产模式不仅会提升生产的成本，而且生产效率也因此会受到影响。此外，人工操作的还会在生产过程中产生损坏硅片的风险，降低了产品的合格率。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型旨在提出一种硅片脱胶清洗机上料装置，以解决目前硅片脱胶生产时，由于人工操作而导致生产成本高、生产效率低和产品合格率低的问题。
为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：
一种硅片脱胶清洗机上料装置，包括机架、夹爪、清洗槽、横支撑臂、竖支撑臂，所述竖支撑臂底端通过X轴直线运动组件与机架配合安装，所述横支撑臂一端通过Z轴直线运动组件与竖支撑臂配合安装，另一端通过转动组件与夹爪配合安装，所述清洗槽设置于夹爪下方。
进一步的，所述夹爪和转动组件之间设有导向组件，所述导向组件包括连接板、导向板、限位板，两个所述导向板顶端与连接板固定连接，所述限位板两侧与导向板固定连接，两个所述导向板远离限位板的一端向外侧倾斜，两个所述导向板之间的距离与硅片治具长度相匹配；所述夹爪顶端与连接板固定连接，所述连接板顶端与转动组件连接。
进一步的，所述清洗槽内侧设有清洗管，所述清洗管一端设有丝堵，另一端与纯净水管连接，所述清洗管在临近清洗槽内侧的位置上开有通孔。
进一步的，所述清洗管为PVC材质结构件。
进一步的，所述清洗管数量为一个以上。
进一步的，所述清洗管与清洗槽滑动连接，所述清洗管远离丝堵的一端固设有移动板，所述移动板靠近清洗槽一侧与气缸主轴固定连接，所述气缸主体与清洗槽固定连接。
进一步的，所述清洗槽为不锈钢材质结构件。
相对于现有技术，本实用新型所述的一种硅片脱胶清洗机上料装置具有以下有益效果：
(1)本实用新型所述的一种硅片脱胶清洗机上料装置，通过将夹爪、X轴直线运动组件、Z轴直线运动组件、和清洗槽组合在一起，实现了硅片清洗以及脱胶清洗机上料的机械化运行，操作过程不需要人工手动搬运，降低了生产成本、提高了生产效率和产品合格率。
(2)本实用新型所述的一种硅片脱胶清洗机上料装置，通过在清洗槽内设置清洗管，可以对于硅片进行喷淋清洗，降低了操作人员劳动强度的同时，也保证了硅片清洗的工作质量。
(3)本实用新型所述的一种硅片脱胶清洗机上料装置，通过在清洗管一端设置气缸的方式，可以将清洗管的喷口进行移动，对硅片进行全方位的清洗，提高了硅片清洗的工作质量。
附图说明
构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本受到新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
图1为本实用新型实施例所述的硅片脱胶清洗机上料装置结构示意图；
图2为本实用新型实施例所述的清洗槽结构示意图；
图3为本实用新型实施例所述的导向组件结构示意图。
附图标记说明：
1-夹爪；2-横支撑臂；3-竖支撑臂；4-机架；5-清洗槽；6-转动组件；7-X轴直线运动组件；8-Z轴直线运动组件；9-导向组件；10-清洗管；11-通孔；12-丝堵；13-移动板；14-气缸；15-硅片治具；16-硅片；901-导向板；902-连接板；903-限位板。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
如图1所示，一种硅片脱胶清洗机上料装置，包括机架4、夹爪1、清洗槽5、横支撑臂2、竖支撑臂3，所述竖支撑臂3垂直于机架4设置，且底端通过X轴直线运动组件8与机架4配合安装，所述X轴直线运动组件8平行于机架4上端面安装，所述横支撑臂2垂直于竖支撑臂3设置，所述横支撑臂2一端通过Z轴直线运动组件7与竖支撑臂3配合安装，另一端通过转动组件6与夹爪1配合安装，所述Z轴直线运动组件7平行与竖支撑臂3安装，所述清洗槽5设置于夹爪1下方。如图3所示，夹爪1和转动组件6之间设有导向组件9，导向组件9包括连接板902、导向板901、限位板903，两个导向板901顶端与连接板902固定连接，限位板903两侧与导向板901固定连接，两个导向板901远离限位板903的一端向外侧倾斜，两个导向板901之间的距离与硅片治具15长度相匹配；夹爪1顶端与连接板902固定连接，连接板902顶端与转动组件6连接。如图2所示，清洗槽5内侧设有清洗管10，所述清洗管10一端设有丝堵12，另一端与纯净水管连接，所述清洗管10在临近清洗槽5内侧的位置上开有通孔11。清洗管10为PVC材质结构件，清洗管10数量为四个，清洗槽5为不锈钢材质结构件。清洗管10与清洗槽5滑动连接，清洗管10远离丝堵12的一端固设有移动板13，所述移动板13靠近清洗槽5一侧与气缸14主轴固定连接，所述气缸14主体与清洗槽5固定连接。
X轴直线运动组件8和Z轴直线运动组件7采用但不限于现有的滑台模组，滑台模组包括主体、以及安装在主体上的滑台和驱动电机，驱动电机驱动滑台做直线运动，X轴滑台模组的滑台与竖支撑臂3固定连接，主体与机架4固定连接；Z轴滑台模组的滑台与横支撑臂2的一端固定连接，主体与竖支撑臂3固定连接；驱动电机通过驱动器与控制器连接。滑台模组具有较高的运动控制精度，可以满足直线运动组件的线性运动的需求。转动组件6采用但不限于伺服电机，伺服电机转动轴与夹爪1固定连接，伺服电机主体与横支撑臂2固定连接，伺服电机通过驱动器与控制器连接。夹爪1采用但不限于现有的电动夹爪，电动夹爪通过驱动器与控制器连接。气缸14通过驱动器与控制器连接。上述滑台模组、伺服电机、驱动器、电动夹爪、控制器均采用现有技术，其中控制器采用为PLC控制器。
实际使用过程中，打开清洗管10的阀门，使用周转车抬起固设于硅片16上的硅片治具15，然后移动周转车，对齐导向组件9后向前推进，此时导向组件9两侧的导向板901起到了导向的作用，限位板903起到了限位作用，可以对硅片治具15进行有效的定位。限位板903上设于接近型感应器，接近型感应器与控制器连接，当检测到硅片治具15到位以后，控制器会控制电动夹爪开始动作夹住硅片治具15。待电动夹爪抓牢后，撤出周转车，然后控制器控制Z轴滑台模组驱动滑块带动硅片16向下移动，当硅片16到达目标位置后，清洗管10上朝向硅片16的通孔11喷射纯净水，对硅片16进行喷淋。在此过程中，控制器控制气缸14带动清洗管10做直线往复运用，使通孔11喷出的纯净水可以对硅片16进行全方位的清洗，提高了清洗的质量。待清洗完毕后，控制器控制Z轴滑台模组驱动滑台带动硅片16向上运动，当硅片16到达原点位置后，控制器控制伺服电机带动硅片16旋转90°，并对齐脱胶清洗机的入口。控制器控制X轴滑台模组驱动滑块带动硅片16向脱胶清洗机方向运动，当硅片16到达脱胶清洗机入料口的指定位置后，控制器控制电动夹爪松开将硅片16放置于脱胶清洗机入料工装处，然后控制器控制X轴滑台模组回到原点位置，并控制伺服电机带动电动夹爪旋转90°等待下一个批次硅片16的上料。通过上述过程，实现了硅片16清洗以及脱胶清洗机上料的机械化运行，操作过程不需要人工手动搬运，降低了生产成本、提高了生产效率和产品合格率。清洗槽5内设置清洗管10，可以对于硅片16进行喷淋清洗，降低了操作人员劳动强度的同时，也保证了硅片16清洗的工作质量。通过在清洗管10一端设置气缸14，可以将清洗管10的喷口进行移动，对硅片16进行全方位的清洗，进一步地提高了硅片16清洗的工作质量。清洗用水使用的纯净水保证了清洗的洁净度，此外，清洗管10优选为PVC材质，清洗槽5优选为不锈钢材质，这样可以有效的保证纯净水的纯净度。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种硅片脱胶清洗机上料装置，其特征在于：包括机架(4)、夹爪(1)、清洗槽(5)、横支撑臂(2)、竖支撑臂(3)，所述竖支撑臂(3)底端通过X轴直线运动组件(8)与机架(4)配合安装，所述横支撑臂(2)一端通过Z轴直线运动组件(7)与竖支撑臂(3)配合安装，另一端通过转动组件(6)与夹爪(1)配合安装，所述清洗槽(5)设置于夹爪(1)下方。
2.根据权利要求1所述的一种硅片脱胶清洗机上料装置，其特征在于：所述夹爪(1)和转动组件(6)之间设有导向组件(9)，所述导向组件(9)包括连接板(902)、导向板(901)、限位板(903)，两个所述导向板(901)顶端与连接板(902)固定连接，所述限位板(903)两侧与导向板(901)固定连接，两个所述导向板(901)远离限位板(903)的一端向外侧倾斜，两个所述导向板(901)之间的距离与硅片治具(15)长度相匹配；
所述夹爪(1)顶端与连接板(902)固定连接，所述连接板(902)顶端与转动组件(6)连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅片脱胶清洗机上料装置，其特征在于：所述清洗槽(5)内侧设有清洗管(10)，所述清洗管(10)一端设有丝堵(12)，另一端与纯净水管连接，所述清洗管(10)在临近清洗槽(5)内侧的位置上开有通孔(11)。
4.根据权利要求3所述的一种硅片脱胶清洗机上料装置，其特征在于：所述清洗管(10)为PVC材质结构件。
5.根据权利要求3所述的一种硅片脱胶清洗机上料装置，其特征在于：所述清洗管(10)数量为一个以上。
6.根据权利要求3所述的一种硅片脱胶清洗机上料装置，其特征在于：所述清洗管(10)与清洗槽(5)滑动连接，所述清洗管(10)远离丝堵(12)的一端固设有移动板(13)，所述移动板(13)靠近清洗槽(5)一侧与气缸(14)主轴固定连接，所述气缸(14)主体与清洗槽(5)固定连接。
7.根据权利要求1或3所述的一种硅片脱胶清洗机上料装置，其特征在于：所述清洗槽(5)为不锈钢结构件。
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