CN215813832U - 一种硅片加工用轴承同心度保证装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片加工用轴承同心度保证装置，包括底板，所述底板的中心处开设有开口，所述底板的两侧对称安装有安装座，所述安装座上安装有液压伸缩杆，所述液压伸缩杆的底端固定有支撑脚，所述液压伸缩杆的顶部设置有进油口，所述进油口上固定有进油枪，所述进油枪通过供油管与储油罐底部的供油泵连接，所述储油罐的外壁一侧安装有控制板，所述控制板电性连接供油泵。本实用新型结构新颖，构思巧妙，不仅可以节省维修时间，提高设备稼动率，同时轴承箱不拉偏保证轴承同心度，提高设备稳定性及硅片品质。

Description

一种硅片加工用轴承同心度保证装置

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种硅片加工用轴承同心度保证装置。

背景技术

硅片加工用轴承一般为288移动轴承，288移动轴承为水冷轴承，轴承外表面会产生冷凝水导致轴承或安装孔生锈致使更换导轮时移动轴承锈死。不易拆卸,造成长时间停机，影响机台效率。因此，设计一种硅片加工用轴承同心度保证装置是很有必要的。

实用新型内容

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种硅片加工用轴承同心度保证装置，本实用新型结构新颖，构思巧妙，不仅可以节省维修时间，提高设备稼动率，同时轴承箱不拉偏保证轴承同心度，提高设备稳定性及硅片品质。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片加工用轴承同心度保证装置，包括底板，所述底板的中心处开设有开口，所述底板的两侧对称安装有安装座，所述安装座上安装有液压伸缩杆，所述液压伸缩杆的底端固定有支撑脚，所述液压伸缩杆的顶部设置有进油口，所述进油口上固定有进油枪，所述进油枪通过供油管与储油罐底部的供油泵连接，所述储油罐的外壁一侧安装有控制板，所述控制板电性连接供油泵。

优选的，所述供油管上安装有液压传感器，所述控制板的内部安装有PLC控制器，所述液压传感器电性连接PLC控制器的输入端，所述PLC控制器的输出端电性连接供油泵。

优选的，所述底板上位于开口的一侧通过转轴活动连接有横杆，所述底板上位于开口的另一侧开设有凹槽，所述凹槽的上部旋接固定有紧固螺钉。

优选的，所述底板的顶板位于开口的四周安装有上加固座，所述底板的底部位于开口的四周安装有下加固座。

优选的，所述支撑脚的底部粘接固定有橡胶垫。

本实用新型的有益效果为：

1、不仅可以节省维修时间，提高设备稼动率，同时轴承箱不拉偏保证轴承同心度，提高设备稳定性及硅片品质；

2、将开口套在轴承安装杆上后，再将横杆卡入到凹槽的内部，并使用紧固螺钉进行加固，能起到限位作用；

3、通过设置的下加固座和上加固座，可以提升开口区域的结构强度，提升使用寿命。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型整体三维结构示意图；

图2是本实用新型底板顶部俯视平面结构示意图；

图3是本实用新型控制板剖视平面结构示意图；

图中标号：1、底板；2、安装座；3、液压伸缩杆；4、进油口；5、进油枪；6、供油管；7、液压传感器；8、供油泵；9、储油罐；10、控制板；11、支撑脚；12、橡胶垫；13、横杆；14、转轴；15、开口；16、凹槽；17、紧固螺钉；18、下加固座；19、PLC控制器；20、上加固座。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述。在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相正对地重要性。

现有技术中288移动轴承为水冷轴承，轴承外表面会产生冷凝水导致轴承或安装孔生锈致使更换导轮时移动轴承锈死。不易拆卸,造成长时间停机，影响机台效率。

实施例一

由图1和图3给出，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片加工用轴承同心度保证装置，包括底板1，底板1的中心处开设有开口15，底板1的两侧对称安装有安装座2，安装座2上安装有液压伸缩杆3，液压伸缩杆3的底端固定有支撑脚11，液压伸缩杆3的顶部设置有进油口4，进油口4上固定有进油枪5，进油枪5通过供油管6与储油罐9底部的供油泵8连接，储油罐9的外壁一侧安装有控制板10，控制板10电性连接供油泵8。

优选的，供油管6上安装有液压传感器7，控制板10的内部安装有PLC控制器19，液压传感器7电性连接PLC控制器19的输入端，PLC控制器19的输出端电性连接供油泵8，将开口15套在轴承安装杆上，以两个液压伸缩杆3为动力源，通孔操控控制板10使两侧的供油泵8同时工作，将储油罐9内部的液压油注入到液压伸缩杆3，通过设置的液压传感器7进行液压伸缩杆3内部液压监控，并将收集的信息传输到PLC控制器19，通过PLC控制器19控制供油泵8进行功率调整，使两个液压伸缩杆3同步运动，以保证拉移动轴承不会拉偏，不仅可以节省维修时间，提高设备稼动率，同时轴承箱不拉偏保证轴承同心度，提高设备稳定性及硅片品质。

优选的，支撑脚11的底部粘接固定有橡胶垫12，起到弹性缓冲作用。

实施例二

实施例一中不具有封口功能，参照图1，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，底板1上位于开口15的一侧通过转轴14活动连接有横杆13，底板1上位于开口15的另一侧开设有凹槽16，凹槽16的上部旋接固定有紧固螺钉17，将开口15套在轴承安装杆上后，再将横杆13卡入到凹槽16的内部，并使用紧固螺钉17进行加固，能起到限位作用。

实施例三

实施例一中结构强度低，使用寿命短，参照图1和图2，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，底板1的顶板位于开口15的四周安装有上加固座20，底板1的底部位于开口15的四周安装有下加固座18，通过设置的下加固座18和上加固座20，可以提升开口15区域的结构强度，提升使用寿命。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种硅片加工用轴承同心度保证装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的中心处开设有开口(15)，所述底板(1)的两侧对称安装有安装座(2)，所述安装座(2)上安装有液压伸缩杆(3)，所述液压伸缩杆(3)的底端固定有支撑脚(11)，所述液压伸缩杆(3)的顶部设置有进油口(4)，所述进油口(4)上固定有进油枪(5)，所述进油枪(5)通过供油管(6)与储油罐(9)底部的供油泵(8)连接，所述储油罐(9)的外壁一侧安装有控制板(10)，所述控制板(10)电性连接供油泵(8)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片加工用轴承同心度保证装置，其特征在于：所述供油管(6)上安装有液压传感器(7)，所述控制板(10)的内部安装有PLC控制器(19)，所述液压传感器(7)电性连接PLC控制器(19)的输入端，所述PLC控制器(19)的输出端电性连接供油泵(8)。

3.根据权利要求1所述的一种硅片加工用轴承同心度保证装置，其特征在于：所述底板(1)上位于开口(15)的一侧通过转轴(14)活动连接有横杆(13)，所述底板(1)上位于开口(15)的另一侧开设有凹槽(16)，所述凹槽(16)的上部旋接固定有紧固螺钉(17)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片加工用轴承同心度保证装置，其特征在于：所述底板(1)的顶板位于开口(15)的四周安装有上加固座(20)，所述底板(1)的底部位于开口(15)的四周安装有下加固座(18)。

5.根据权利要求1所述的一种硅片加工用轴承同心度保证装置，其特征在于：所述支撑脚(11)的底部粘接固定有橡胶垫(12)。

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