CN215809803U - 烘干槽结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开烘干槽结构，涉及硅片清洗烘干领域。该烘干槽结构，包括烘干槽主体和驱动电机，烘干槽主体的顶部滑动连接有滑动挡板，烘干槽主体的内部设有烘干网板，烘干网板的上表面设有插片花篮，烘干槽主体的两侧设有电热管，驱动电机的输出端固定安装有抽风筒，抽风筒的外表面设有导风板。该烘干槽结构，通过滑动挡板闭合在烘干槽主体的顶部，然后通过启动驱动电机和电热管，进行空气内循环，使得内部空气在极短的时间内完成升温，同时插片花篮表面的水分被蒸发混合在空气中，然后打开滑动挡板，此时烘干槽主体内部的湿热空气向上排出，有效提升烘干速率。

Description

烘干槽结构

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗烘干技术领域，具体为烘干槽结构。

背景技术

在硅片生产加工的过程中，为了将硅片外表面的杂质清洗干净，通常是采用插片花篮将硅片集中固定在一起，然后将插片花篮放置到清洗机内部清洗，在清洗结束后，硅片和插片花篮表面粘附有大量水渍，此时就需要对其表面水渍进行处理。

常规的办法是将插片花篮和硅片一起进行静置沥干，但是在标准化的生产车间内，静置沥干的时间太长，因此大多数会选择采用烘干设备进行烘烤，但是经常会出现烘烤不均匀的情况，加热红的空气通过风机导入烘干设备中然后迅速向外流出，使得烘干设备内部温度不能迅速达到水汽蒸发温度，在短时间内不能使得硅片整体被全面均匀的烘干，因此需要提供一种烘干槽结构以解决上述问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型公开了烘干槽结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：烘干槽结构，包括：

烘干槽主体，所述烘干槽主体的顶部滑动连接有滑动挡板，所述烘干槽主体的内部设有烘干网板，所述烘干网板的上表面设有插片花篮，所述烘干槽主体的两侧设有电热管；

驱动电机，所述驱动电机的输出端固定安装有抽风筒，所述抽风筒的外表面设有导风板。

优选的，所述烘干槽主体的下表面固定安装有固定架，所述固定架的下表面固定安装有固定板，所述驱动电机固定安装在固定板的下表面，所述抽风筒转动连接在固定板的上表面。

优选的，所述烘干槽主体的两侧均开设有电热槽，所述电热槽的两侧固定连接有安装条，所述电热管固定安装在两组安装条之间。

优选的，所述电热槽的顶部开设有进风口，所述电热槽的底端与导风板正对导风板的开口处。

优选的，所述烘干网板的顶部固定连接有支撑架，所述插片花篮活动卡接在支撑架的上表面，所述烘干网板的底部固定安装有进风网板，所述抽风筒的顶端正对进风网板。

优选的，所述烘干槽主体的上表面固定安装有固定框架，所述滑动挡板滑动连接在固定框架的内部。

优选的，所述滑动挡板的下表面固定安装有牵引杆，所述滑动挡板的下表面固定安装有金属网板。

本实用新型公开了烘干槽结构，其具备的有益效果如下：

1、该烘干槽结构，先将滑动挡板闭合在烘干槽主体的顶部，然后通过启动驱动电机和电热管，使得抽风筒进行转动，同时电热管对电热槽内部的空气进行加热，然后抽风筒将加热后的空气通过进风网板抽入到烘干槽主体内部，然后再次进入到电热槽内部，以此进行空气循环，使得整个烘干槽主体内部的空气在极短的时间内完成升温，此时插片花篮表面的水分被蒸发形成水蒸气混合在空气中，然后通过打开滑动挡板，此时烘干槽主体内部的湿热空气迅速向上排出，将烘干槽主体内部的水分带走，完成插片花篮表面的水分烘干，有效提升烘干速率。

2、该烘干槽结构，通过在抽风筒的外表面设有导风板，通过导风板对电热槽内部空气流动进行导向，提升空气循环的速率，使得整个烘干槽主体能够在极短的时间内进行升温。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型烘干槽主体内部结构示意图；

图3为本实用新型烘干槽主体下表面结构示意图；

图4为本实用新型驱动电机外表面结构示意图；

图5为本实用新型固定框架下表面结构示意图。

图中：1、烘干槽主体；2、固定框架；3、滑动挡板；4、烘干网板；5、插片花篮；6、电热管；7、驱动电机；8、进风网板；9、固定架；10、固定板；11、抽风筒；12、导风板；13、金属网板；14、牵引杆；15、电热槽；16、安装条；17、支撑架；18、进风口。

具体实施方式

本实用新型实施例公开烘干槽结构，如图1-5所示，包括烘干槽主体1，烘干槽主体1的顶部滑动连接有滑动挡板3，烘干槽主体1的内部设有烘干网板4，烘干网板4的上表面设有插片花篮5，烘干槽主体1的两侧设有电热管6；

同时该装置还包括驱动电机7，驱动电机7的输出端固定安装有抽风筒11，抽风筒11的外表面设有导风板12，抽风筒11的外表面为筒状内部设有扇叶，在转动时用于对空气进行定向导流。

参照附图3-4，烘干槽主体1的下表面固定安装有固定架9，固定架9的下表面固定安装有固定板10，驱动电机7固定安装在固定板10的下表面，抽风筒11转动连接在固定板10的上表面，固定架9的外表面固定焊接有密封板，避免气流从底部流出。

参照附图3，烘干槽主体1的两侧均开设有电热槽15，电热槽15的两侧固定连接有安装条16，电热管6固定安装在两组安装条16之间，电热管6始终对电热槽15内部的空气进行加热。

参照附图3，电热槽15的顶部开设有进风口18，电热槽15的底端与导风板12正对导风板12的开口处，气流通过进风口18进入到电热槽15内部进行加热，然后在导风板12的作用下从底端进入到抽风筒11的内部并向上排入到烘干槽主体1的内部。

参照附图2-3，烘干网板4的顶部固定连接有支撑架17，插片花篮5活动卡接在支撑架17的上表面，烘干网板4的底部固定安装有进风网板8，抽风筒11的顶端正对进风网板8。支撑架17对插片花篮5起到架空的作用，方便进行烘干加热。

参照附图1和5，烘干槽主体1的上表面固定安装有固定框架2，滑动挡板3滑动连接在固定框架2的内部，滑动挡板3的下表面固定安装有牵引杆14，滑动挡板3的下表面固定安装有金属网板13，金属网板13两侧开设有气流导向孔，且气流导向孔正对进风口18的顶部。

工作原理：该装置在使用时，第一步先进行内循环，首先将插片花篮5放置到烘干槽主体1的内部，使得插片花篮5处于支撑架17的上表面，此时通过推动牵引杆14，使得牵引杆14带动滑动挡板3在固定框架2的上表面进行移动，最终使得滑动挡板3遮挡在烘干槽主体1的上表面；

然后通过启动驱动电机7，然后通过启动电热管6，使得驱动电机7带动抽风筒11进行转动，电热管6对电热槽15内部的空气进行加热，然后抽风筒11将加热后的空气通过进风网板8抽入到烘干槽主体1内部，同时烘干槽主体1内部的空气通过金属网板13向两侧的进风口18流动，再次进入到电热槽15内部，以此进行空气内循环，使得整个烘干槽主体1内部的空气在极短的时间内完成升温，此时插片花篮5表面的水分被蒸发形成水蒸气混合在空气中；

第二步是进行外循环，通过打开滑动挡板3，此时烘干槽主体1内部的湿热空气在抽风筒11的作用下迅速向上排出，将烘干槽主体1内部的水分带走，完成插片花篮5表面的水分烘干。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.烘干槽结构，其特征在于，包括：

烘干槽主体(1)，所述烘干槽主体(1)的顶部滑动连接有滑动挡板(3)，所述烘干槽主体(1)的内部设有烘干网板(4)，所述烘干网板(4)的上表面设有插片花篮(5)，所述烘干槽主体(1)的两侧设有电热管(6)；

驱动电机(7)，所述驱动电机(7)的输出端固定安装有抽风筒(11)，所述抽风筒(11)的外表面设有导风板(12)。

2.根据权利要求1所述的烘干槽结构，其特征在于：所述烘干槽主体(1)的下表面固定安装有固定架(9)，所述固定架(9)的下表面固定安装有固定板(10)，所述驱动电机(7)固定安装在固定板(10)的下表面，所述抽风筒(11)转动连接在固定板(10)的上表面。

3.根据权利要求1所述的烘干槽结构，其特征在于：所述烘干槽主体(1)的两侧均开设有电热槽(15)，所述电热槽(15)的两侧固定连接有安装条(16)，所述电热管(6)固定安装在两组安装条(16)之间。

4.根据权利要求3所述的烘干槽结构，其特征在于：所述电热槽(15)的顶部开设有进风口(18)，所述电热槽(15)的底端与导风板(12)正对导风板(12)的开口处。

5.根据权利要求1所述的烘干槽结构，其特征在于：所述烘干网板(4)的顶部固定连接有支撑架(17)，所述插片花篮(5)活动卡接在支撑架(17)的上表面，所述烘干网板(4)的底部固定安装有进风网板(8)，所述抽风筒(11)的顶端正对进风网板(8)。

6.根据权利要求1所述的烘干槽结构，其特征在于：所述烘干槽主体(1)的上表面固定安装有固定框架(2)，所述滑动挡板(3)滑动连接在固定框架(2)的内部。

7.根据权利要求6所述的烘干槽结构，其特征在于：所述滑动挡板(3)的下表面固定安装有牵引杆(14)，所述滑动挡板(3)的下表面固定安装有金属网板(13)。

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