CN215785212U

CN215785212U - 一种晶圆清洁甩干机

Info

Publication number: CN215785212U
Application number: CN202121234101.7U
Authority: CN
Inventors: 欧阳小泉
Original assignee: Quanxin Semiconductor Technology Wuxi Co ltd
Current assignee: Quanxin Semiconductor Technology Wuxi Co ltd
Priority date: 2021-06-03
Filing date: 2021-06-03
Publication date: 2022-02-11
Anticipated expiration: 2031-06-03

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆清洁甩干机，包括机体，所述机体的内部固定有支撑网板，所述支撑网板的下方设有驱动电机，所述驱动电机的输出端穿过支撑网板与连接座连接，所述连接座顶部固定有筒体，所述驱动电机的输出端上还套设有第一锥齿轮，所述支撑网板底部两端均安装有转轴，所述转轴一端套设有与第一锥齿轮相啮合的第二锥齿轮，所述机体的外壁两侧均设有安装架，所述转轴另一端伸入到安装架内与主动轮连接，所述安装架内壁顶端通过固定轴安装有从动轮，且从动轮通过链条与主动轮连接，所述机体内壁设有导风罩，本实用新型，对晶圆的清洁甩干效果好，晶圆干燥快，能对清洁水进行回收再利用处理，节约水资源。

Description

一种晶圆清洁甩干机

技术领域

本实用新型涉及晶圆清洁甩干技术领域，具体为一种晶圆清洁甩干机。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，在晶圆的加工过程中，需要对晶圆进行湿法清洗，去除表面的杂质，在清洗后需要对晶圆进行甩干处理，现有的晶圆清洁甩干机对晶圆的清洁甩干效果不好，晶圆干燥慢，同时不能对清洁水进行回收再利用处理，造成水资源的浪费，因此，设计一种晶圆清洁甩干机是很有必要的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆清洁甩干机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆清洁甩干机，包括机体，所述机体的内部固定有支撑网板，所述支撑网板的下方设有驱动电机，所述驱动电机的输出端穿过支撑网板与连接座连接，所述连接座顶部固定有筒体，所述驱动电机的输出端上还套设有第一锥齿轮，所述支撑网板底部两端均安装有转轴，所述转轴一端套设有与第一锥齿轮相啮合的第二锥齿轮，所述机体的外壁两侧均设有安装架，所述转轴另一端伸入到安装架内与主动轮连接，所述安装架内壁顶端通过固定轴安装有从动轮，且从动轮通过链条与主动轮连接，所述机体内壁设有导风罩，且固定轴一端伸入到导风罩内与扇叶连接，所述导风罩内位于扇叶一侧设有加热管，所述机体外壁还安装有水箱，所述水箱通过导水管与机体内壁两侧固定的喷头连接，所述机体内壁底部两端均设有过滤管，且过滤管通过循环管与水箱连接，所述循环管和导水管上均设有水泵，水箱内的清水通过喷头喷出，对筒体内的晶圆进行清洗，驱动电机工作，通过连接座带动筒体转动，进行甩干作业，驱动电机带动第一锥齿轮转动，通过第二锥齿轮带动转轴转动，使得主动轮转动，进而通过链条带动从动轮转动，使得固定轴带动扇叶转动，进行吹风，通过加热管加热后形成热风吹向晶圆，加速晶圆的干燥，循环管与过滤管相配合，将清洁后的水过滤后回流至水箱，实现清洗水的循环利用。

在进一步的实施例中，所述支撑网板的顶部中间对应两端均安装有限位杆，所述筒体底部开设有与限位杆顶端相配合的环形槽，所述筒体顶端滑动套设有套环，所述套环两端均安装有连接架，所述连接架与机体内壁顶部连接，筒体转动时通过限位杆与环形槽相配合，对筒体底端进行限位，套环和连接架相配合，对筒体顶端进行限位，保证筒体转动稳定。

在进一步的实施例中，所述机体的内壁位于支撑网板顶部均设有挡板，所述挡板固定在导风罩和喷头一侧位置处，通过挡板对甩干作业中的甩出的水进行阻挡，方便水的收集。

在进一步的实施例中，所述过滤管内部一端设有过滤网，所述过滤管内部另一端设有活性炭滤芯，通过过滤网对清洗水中的大的杂质进行过滤，通过活性炭滤芯吸附清洗水中小的杂质，方便清洗水的循环利用。

在进一步的实施例中，所述机体的底部安装有承压板，所述承压板通过缓冲弹簧与底座连接，受到压力作用时，缓冲弹簧压缩变形，对压力进行分散，缓解震动影响。

在进一步的实施例中，所述底座的内壁两侧均开设有滑槽，所述滑槽内设有滑柱，所述承压板的外侧固定有限位套，且限位套的两端均套设在滑柱上，通过限位套在滑柱上滑动，对承压板进行限位，保证整体稳定。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：

1.通过驱动电机带动第一锥齿轮转动，第二锥齿轮带动转轴转动，使得主动轮转动，进而通过链条带动从动轮转动，使得固定轴带动扇叶转动，进行吹风，通过加热管加热后形成热风吹向晶圆，加速晶圆的干燥；

2.通过循环管与过滤管相配合，将清洁后的水过滤后回流至水箱，实现清洗水的循环利用，通过过滤网对清洗水中的大的杂质进行过滤，通过活性炭滤芯吸附清洗水中小的杂质，方便清洗水的循环利用；

3.通过限位杆与环形槽相配合，对筒体底端进行限位，套环和连接架相配合，对筒体顶端进行限位，保证筒体转动稳定，缓冲弹簧压缩变形，对压力进行分散，缓解震动影响，限位套在滑柱上滑动，对承压板进行限位，保证整体稳定。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的筒体驱动结构示意图；

图3是本实用新型的导风罩结构示意图；

附图标记为：机体1、承压板2、缓冲弹簧3、底座4、限位套5、滑柱6、支撑网板7、筒体8、驱动电机9、连接座10、限位杆11、套环12、连接架13、挡板14、第一锥齿轮15、第二锥齿轮16、转轴17、安装架18、主动轮19、从动轮20、链条21、固定轴22、扇叶23、导风罩24、加热管25、循环管26、水箱27、喷头28、过滤管29。

具体实施方式

在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本发明更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本发明可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本发明发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆清洁甩干机，包括机体1、承压板2、缓冲弹簧3、底座4、限位套5、滑柱6、支撑网板7、筒体8、驱动电机9、连接座10、限位杆11、套环12、连接架13、挡板14、第一锥齿轮15、第二锥齿轮16、转轴17、安装架18、主动轮19、从动轮20、链条21、固定轴22、扇叶23、导风罩24、加热管25、循环管26、水箱27、喷头28和过滤管29，支撑网板7固定在机体1的内部，驱动电机9设置在支撑网板7的下方，连接座10与驱动电机9穿过支撑网板7的输出端连接，筒体8固定在连接座10顶部，第一锥齿轮15套设在驱动电机9的输出端上，转轴17安装在支撑网板7底部两端，与第一锥齿轮15相啮合的第二锥齿轮16套设在转轴17一端，安装架18设置在机体1的外壁两侧，主动轮19与转轴17伸入到安装架18内的另一端连接，从动轮20通过固定轴22安装在安装架18内壁顶端，且从动轮20通过链条21与主动轮19连接，导风罩24设置在机体1内壁，扇叶23与固定轴22伸入到导风罩24内的一端连接，加热管25设置在导风罩24内位于扇叶23一侧处，水箱27安装在机体1外壁，固定在机体1内壁两侧的喷头28通过导水管与水箱27连接，过滤管29设置在机体1内壁底部两端且通过循环管26与水箱27连接，循环管26和导水管上均设有水泵，水箱27内的清水通过喷头28喷出，对筒体8内的晶圆进行清洗，驱动电机9工作，通过连接座10带动筒体8转动，进行甩干作业，驱动电机9带动第一锥齿轮15转动，通过第二锥齿轮16带动转轴17转动，使得主动轮19转动，进而通过链条21带动从动轮20转动，使得固定轴22带动扇叶23转动，进行吹风，通过加热管25加热后形成热风吹向晶圆，加速晶圆的干燥，循环管26与过滤管29相配合，将清洁后的水过滤后回流至水箱27，实现清洗水的循环利用。

进一步的，支撑网板7的顶部中间对应两端均安装有限位杆11，筒体8底部开设有与限位杆11顶端相配合的环形槽，筒体8顶端滑动套设有套环12，套环12两端均安装有连接架13，连接架13与机体1内壁顶部连接，筒体8转动时通过限位杆11与环形槽相配合，对筒体8底端进行限位，套环12和连接架13相配合，对筒体8顶端进行限位，保证筒体8转动稳定。

进一步的，机体1的内壁位于支撑网板7顶部均设有挡板14，挡板14固定在导风罩24和喷头28一侧位置处，通过挡板14对甩干作业中的甩出的水进行阻挡，方便水的收集。

进一步的，过滤管29内部一端设有过滤网，过滤管29内部另一端设有活性炭滤芯，通过过滤网对清洗水中的大的杂质进行过滤，通过活性炭滤芯吸附清洗水中小的杂质，方便清洗水的循环利用。

进一步的，机体1的底部安装有承压板2，承压板2通过缓冲弹簧3与底座4连接，受到压力作用时，缓冲弹簧3压缩变形，对压力进行分散，缓解震动影响。

进一步的，底座4的内壁两侧均开设有滑槽，滑槽内设有滑柱6，承压板2的外侧固定有限位套5，且限位套5的两端均套设在滑柱6上，通过限位套5在滑柱6上滑动，对承压板2进行限位，保证整体稳定。

工作原理：水箱27内的清水通过喷头28喷出，对筒体8内的晶圆进行清洗，驱动电机9工作，通过连接座10带动筒体8转动，进行甩干作业，驱动电机9带动第一锥齿轮15转动，通过第二锥齿轮16带动转轴17转动，使得主动轮19转动，进而通过链条21带动从动轮20转动，使得固定轴22带动扇叶23转动，进行吹风，通过加热管25加热后形成热风吹向晶圆，加速晶圆的干燥，循环管26与过滤管29相配合，将清洁后的水过滤后回流至水箱27，实现清洗水的循环利用，通过过滤网对清洗水中的大的杂质进行过滤，通过活性炭滤芯吸附清洗水中小的杂质，方便清洗水的循环利用；通过限位杆11与环形槽相配合，对筒体8底端进行限位，套环12和连接架13相配合，对筒体8顶端进行限位，保证筒体8转动稳定，缓冲弹簧3压缩变形，对压力进行分散，缓解震动影响，限位套5在滑柱6上滑动，对承压板2进行限位，保证整体稳定。

以上结合附图详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种等同变换，这些等同变换均属于本实用新型的保护范围。

Claims

1.一种晶圆清洁甩干机，包括机体（1），其特征在于：所述机体（1）的内部固定有支撑网板（7），所述支撑网板（7）的下方设有驱动电机（9），所述驱动电机（9）的输出端穿过支撑网板（7）与连接座（10）连接，所述连接座（10）顶部固定有筒体（8），所述驱动电机（9）的输出端上还套设有第一锥齿轮（15），所述支撑网板（7）底部两端均安装有转轴（17），所述转轴（17）一端套设有与第一锥齿轮（15）相啮合的第二锥齿轮（16），所述机体（1）的外壁两侧均设有安装架（18），所述转轴（17）另一端伸入到安装架（18）内与主动轮（19）连接，所述安装架（18）内壁顶端通过固定轴（22）安装有从动轮（20），且从动轮（20）通过链条（21）与主动轮（19）连接，所述机体（1）内壁设有导风罩（24），且固定轴（22）一端伸入到导风罩（24）内与扇叶（23）连接，所述导风罩（24）内位于扇叶（23）一侧设有加热管（25），所述机体（1）外壁还安装有水箱（27），所述水箱（27）通过导水管与机体（1）内壁两侧固定的喷头（28）连接，所述机体（1）内壁底部两端均设有过滤管（29），且过滤管（29）通过循环管（26）与水箱（27）连接，所述循环管（26）和导水管上均设有水泵。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洁甩干机，其特征在于：所述支撑网板（7）的顶部中间对应两端均安装有限位杆（11），所述筒体（8）底部开设有与限位杆（11）顶端相配合的环形槽，所述筒体（8）顶端滑动套设有套环（12），所述套环（12）两端均安装有连接架（13），所述连接架（13）与机体（1）内壁顶部连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洁甩干机，其特征在于：所述机体（1）的内壁位于支撑网板（7）顶部均设有挡板（14），所述挡板（14）固定在导风罩（24）和喷头（28）一侧位置处。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洁甩干机，其特征在于：所述过滤管（29）内部一端设有过滤网，所述过滤管（29）内部另一端设有活性炭滤芯。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洁甩干机，其特征在于：所述机体（1）的底部安装有承压板（2），所述承压板（2）通过缓冲弹簧（3）与底座（4）连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆清洁甩干机，其特征在于：所述底座（4）的内壁两侧均开设有滑槽，所述滑槽内设有滑柱（6），所述承压板（2）的外侧固定有限位套（5），且限位套（5）的两端均套设在滑柱（6）上。