CN116399091A - 晶圆清洗干燥装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了晶圆清洗干燥装置，涉及晶圆干燥设备技术领域，包括干燥桶，所述干燥桶的内侧设置有支座，所述支座的一端设置有翻转辅助器，所述支座的内侧固定连接有连盘座，所述支座的底端安装有第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出端连接有第一连轴，吹气干燥机构，限位防脱件。本发明通过设置翻转辅助器，第一驱动电机输出端驱动第二锥齿轮进行转动，从而驱动第一锥齿轮带动旋转轴进行转动，进而通过支座带动过滤网桶箱进行翻转，以此使得过滤网桶箱内部晶圆进行翻动，以此避免晶圆对接在一处，从而能够辅助过滤网桶箱自转将晶圆上的液体甩出到外界，进而提高了对晶圆的干燥效率。

Description

晶圆清洗干燥装置

技术领域

本发明涉及晶圆干燥设备技术领域，具体是晶圆清洗干燥装置。

背景技术

在半导体集成电路芯片的制造过程中，需要对晶圆进行化学机械平坦化加工，也即，利用大量的研磨液和不同的化学试剂对晶圆表面进行抛光处理，该化学机械平坦化加工工艺属于湿法工艺，在工艺末端，需要对晶圆进行清洗和干燥，以去除晶圆表面附着的颗粒，因此需要用到专门的清洗干燥装置。

现有技术中，通常采用旋转甩干的方式对晶圆表面进行干燥，都是将晶圆放置到过滤网桶内部，以利用晶圆高速旋转时产生的离心力，将晶圆表面的清洗液去除，然而在对晶圆进行干燥的过程中往往是对大量晶圆一起进行干燥，从而导致过滤网桶在高速旋转的过程中晶圆会紧贴在过滤网桶的网孔外壁，从而阻挡了晶圆表面液体甩出，进而降低了晶圆的干燥效率。

发明内容

本发明的目的在于：为了解决晶圆干燥效率低的问题，提供晶圆清洗干燥装置。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：晶圆清洗干燥装置，包括干燥桶，所述干燥桶的内侧设置有支座，所述支座的一端设置有翻转辅助器，所述支座的内侧固定连接有连盘座，所述支座的底端安装有第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出端连接有第一连轴，所述第一连轴的一端贯穿至所述连盘座的内侧固定连接有矩形定位销，所述连盘座的内侧放置有过滤网桶箱，且所述过滤网桶箱的底端开设有与所述矩形定位销相匹配的矩形槽，所述连盘座的内侧设置有吹气干燥机构，所述过滤网桶箱的端口螺纹连接有过滤网桶盖，所述过滤网桶箱的外壁与所述连盘座的顶端设置有限位防脱件。

作为本发明再进一步的方案：所述翻转辅助器包括固定连接在所述干燥桶的内侧的矩形连座，所述矩形连座的内侧转动连接有旋转轴，所述旋转轴的外壁固定连接有第一锥齿轮，所述矩形连座的顶端安装有第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出端连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与所述第一锥齿轮相啮合，所述旋转轴的一端延伸至所述干燥桶的内部与所述支座固定连接，所述旋转轴的内部为中空结构。

作为本发明再进一步的方案：所述吹气干燥机构包括与所述旋转轴排气口相通的导气管，所述连盘座的内侧固定连接有连接壳体，所述连接壳体的进气口与所述导气管相通，所述连接壳体的排气口处固定连接有波纹管，所述波纹管的一端固定连接有喷气嘴，所述喷气嘴的外壁与所述连盘座的内侧设置有旋拉扩增器。

作为本发明再进一步的方案：所述旋拉扩增器包括转动连接在所述连盘座内侧的第二连轴，且所述第二连轴通过轴承安装在所述连盘座的内侧，所述第二连轴的一端贯穿至所述连盘座的外部固定连接有第一直齿轮，所述干燥桶的内侧固定连接有连接柱，所述连接柱的一端固定连接有与所述第一直齿轮相啮合的第一直齿轮环，所述第二连轴的一端贯穿至所述连盘座的内侧固定连接有旋推盘，所述旋推盘的一端固定连接有旋推柱，所述旋推柱的外壁套接有回形框，所述回形框的底端固定连接有矩形引导块，所述矩形引导块的一侧外壁固定连接有连板，所述连板的一端固定连接有多个拉扯环，多个所述拉扯环内侧分别与一个所述喷气嘴固定连接，所述第二连轴的外壁与所述连盘座的内侧设置有环抱扶持单元。

作为本发明再进一步的方案：所述连盘座的一侧外壁固定连接有定位板，所述定位板设置在所述矩形引导块的外侧，所述定位板的内侧开设有与所述矩形引导块相匹配的矩形槽。

作为本发明再进一步的方案：所述限位防脱件包括固定连接在所述连盘座两侧外壁的悬挂座，所述悬挂座的一侧外壁安装有第三驱动电机，所述第三驱动电机的输出端连接有双向螺纹丝杆，所述双向螺纹丝杆与所述悬挂座转动连接，所述悬挂座的内侧滑动连接有L形滑杆，且所述L形滑杆套接在所述双向螺纹丝杆的外壁，所述L形滑杆的外壁与所述连盘座的顶端设置有推压动力组件，所述L形滑杆的底端固定连接有矩形套筒，所述矩形套筒的内侧滑动连接有矩形导块，所述矩形导块的一端固定连接有U形支撑块，所述过滤网桶箱的外壁固定连接有轴承，所述轴承的外壁与所述U形支撑块的内侧设置有卡位辅助单元。

作为本发明再进一步的方案：所述双向螺纹丝杆的外壁设置有正螺纹与反螺纹，所述L形滑杆设置有两个，两个所述L形滑杆分别套接在所述双向螺纹丝杆正螺纹与反螺纹外壁，所述悬挂座的内侧开设有与两个所述L形滑杆相匹配的引导槽。

作为本发明再进一步的方案：所述卡位辅助单元包括固定连接在所述U形支撑块内侧的卡齿，所述矩形导块的一端固定连接有第二压缩弹簧，所述第二压缩弹簧的一端与所述矩形套筒固定连接，所述轴承的外圈固定连接有第二直齿轮环，所述第二直齿轮环与所述卡齿啮合设置。

作为本发明再进一步的方案：所述环抱扶持单元包括设置在所述第二连轴上下两端的Y形矫正块，所述连盘座顶端与内侧均固定连接有一个矩形牵引杆，每个所述矩形牵引杆的外壁均滑动连接有矩形套块，且所述矩形套块与所述Y形矫正块固定连接，所述矩形套块的底端固定连接有第一压缩弹簧，所述第一压缩弹簧的一端与所述连盘座固定连接，所述连盘座的内侧转动连接有动力轴，所述动力轴的外壁固定连接有第二直齿轮，两个所述Y形矫正块的内侧均固定连接有一个齿条，两个所述齿条均与所述第二直齿轮啮合，所述第二连轴的外壁等距离嵌入有多个滚珠。

作为本发明再进一步的方案：所述推压动力组件包括固定连接在一个所述L形滑杆外壁的动力杆，所述动力杆的一端固定连接有梯形块，所述梯形块的内侧开设有斜面，所述Y形矫正块的顶端转动连接有导轮，且所述导轮贴合在所述斜面上。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、通过设置翻转辅助器，第一驱动电机输出端驱动第二锥齿轮进行转动，从而驱动第一锥齿轮带动旋转轴进行转动，进而通过支座带动过滤网桶箱进行翻转，以此使得过滤网桶箱内部晶圆进行翻动，以此避免晶圆对接在一处，从而能够辅助过滤网桶箱自转将晶圆上的液体甩出到外界，进而提高了对晶圆的干燥效率；

2、通过设置吹气干燥机构，当需要对过滤网桶箱内部晶圆进行干燥时，可以外界产生干燥气体的设备排气管与旋转轴转动连接，使得干燥气体能够通过喷气嘴喷向过滤网桶箱内部，从而实现的对过滤网桶箱内部进行气体干燥，喷气嘴可以对准过滤网桶箱内部喷射出高压干燥气体，从而能够将粘附在过滤网桶箱网孔上的晶圆吹落，以此保证了过滤网桶箱网孔的通畅性，进而加快对过滤网桶箱内部干燥的效率；

3、通过设置旋拉扩增器，支座翻转的同时通过第一直齿轮环驱动第一直齿轮通过第二连轴带动旋推盘进行自转，进而通过旋推柱推动回形框带动矩形引导块进行上下往复移动，随后通过连板与拉扯环拉动喷气嘴进行上下往复摆动，进而提高了喷气嘴喷出高压干燥气体的范围，从而能够更好的对过滤网桶箱内部晶圆进行干燥，同时保证了过滤网桶箱网孔的通畅性；

4、通过设置限位防脱件，第三驱动电机的输出端驱动双向螺纹丝杆进行转动，从而驱动两个L形滑杆分别通过一个矩形套筒带动一个U形支撑块向过滤网桶箱方向进行移动，当两个U形支撑块的内侧分别贴合到轴承外圈上下两端时，以此对过滤网桶箱进行限位，避免过滤网桶箱在翻转的过程中发生晃动，进而提高了过滤网桶箱翻转过程中的稳定性；

5、通过设置卡位辅助单元，当U形支撑块向轴承方向进行移动的同时带动卡齿进行移动，当卡齿与第二直齿轮环发生错位时，L形滑杆继续移动，通过矩形套筒对第二压缩弹簧进行挤压，随后工作人员可以旋转第二直齿轮环，使得卡齿与第二直齿轮环对齐后，第二压缩弹簧复位推动矩形导块通过U形支撑块带动卡齿移动，使得卡齿与轴承啮合，以此将轴承的外圈固定，从而进一步的提高了过滤网桶箱翻转过程中的稳定性；

6、通过设置环抱扶持单元，当L形滑杆向过滤网桶箱内侧进行移动的同时带动动力杆进行移动，通过斜面的作用下推动导轮挤压一个Y形矫正块向下移动，从而通过一个齿条驱动第二直齿轮转动，从而拨动另一个齿条带动另一个Y形矫正块向上移动，当L形滑杆移动到最大位置时，两个Y形矫正块抵在滚珠外壁，以此能够对第二连轴位置进行矫正，从而避免第二连轴在旋转的过程中发生晃动，进而提高了第二连轴转动时的稳定性。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明的干燥桶剖视图；

图3为本发明的过滤网桶箱剖视图；

图4为本发明的连接壳体剖视图；

图5为本发明的图4中A处放大图；

图6为本发明的限位防脱件结构示意图；

图7为本发明的图6中B处放大图；

图8为本发明的环抱扶持单元结构示意图；

图9为本发明的推压动力组件结构示意图；

图10为本发明的矩形套筒剖视图。

图中：1、干燥桶；2、过滤网桶盖；3、过滤网桶箱；4、矩形连座；5、旋转轴；6、第一锥齿轮；7、第二锥齿轮；8、第一驱动电机；9、连盘座；10、支座；11、第二驱动电机；12、第一连轴；13、连接柱；14、第一直齿轮环；15、导气管；16、第一直齿轮；17、第二连轴；18、悬挂座；19、双向螺纹丝杆；20、矩形定位销；21、轴承；22、第二直齿轮环；23、L形滑杆；24、矩形套筒；25、U形支撑块；26、矩形导块；27、第三驱动电机；28、连接壳体；29、动力杆；30、梯形块；31、Y形矫正块；32、波纹管；33、喷气嘴；34、连板；35、拉扯环；36、矩形引导块；37、定位板；38、旋推盘；39、旋推柱；40、回形框；41、矩形牵引杆；42、动力轴；43、第二直齿轮；44、齿条；45、导轮；46、第一压缩弹簧；47、滚珠；48、矩形套块；49、卡齿；50、第二压缩弹簧；51、斜面。

实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。下面根据本发明的整体结构，对其实施例进行说明。

请参阅图1～10，本发明实施例中，晶圆清洗干燥装置，包括干燥桶1，干燥桶1的内侧设置有支座10，支座10的一端设置有翻转辅助器，支座10的内侧固定连接有连盘座9，支座10的底端安装有第二驱动电机11，第二驱动电机11的输出端连接有第一连轴12，第一连轴12的一端贯穿至连盘座9的内侧固定连接有矩形定位销20，连盘座9的内侧放置有过滤网桶箱3，且过滤网桶箱3的底端开设有与矩形定位销20相匹配的矩形槽，连盘座9的内侧设置有吹气干燥机构，过滤网桶箱3的端口螺纹连接有过滤网桶盖2，过滤网桶箱3的外壁与连盘座9的顶端设置有限位防脱件；

翻转辅助器包括固定连接在干燥桶1的内侧的矩形连座4，矩形连座4的内侧转动连接有旋转轴5，旋转轴5的外壁固定连接有第一锥齿轮6，矩形连座4的顶端安装有第一驱动电机8，第一驱动电机8的输出端连接有第二锥齿轮7，第二锥齿轮7与第一锥齿轮6相啮合，旋转轴5的一端延伸至干燥桶1的内部与支座10固定连接，旋转轴5的内部为中空结构。

本实施例中：首先，将需要干燥的晶圆放置到过滤网桶箱3内部，随后可以将干燥桶1的桶盖与干燥桶1进行闭合，启动第二驱动电机11，第二驱动电机11输出端驱动第一连轴12带动矩形定位销20进行快速转动，从而带动过滤网桶箱3进行自转，使得过滤网桶箱3产生离心力将过滤网桶箱3内部液体甩出，从而对过滤网桶箱3内部圆进行干燥，启动第一驱动电机8，第一驱动电机8输出端驱动第二锥齿轮7进行转动，从而驱动第一锥齿轮6带动旋转轴5进行转动，进而通过支座10带动过滤网桶箱3进行翻转，以此使得过滤网桶箱3内部晶圆进行翻动，从而能够辅助过滤网桶箱3自转将晶圆上的液体甩出到外界，进而提高了对晶圆的干燥效率。

请着重参阅图1～5，吹气干燥机构包括与旋转轴5排气口相通的导气管15，连盘座9的内侧固定连接有连接壳体28，连接壳体28的进气口与导气管15相通，连接壳体28的排气口处固定连接有波纹管32，波纹管32的一端固定连接有喷气嘴33，喷气嘴33的外壁与连盘座9的内侧设置有旋拉扩增器。

本实施例中：当需要对过滤网桶箱3内部晶圆进行干燥时，可以外界产生干燥气体的设备排气管与旋转轴5转动连接，使得干燥气体能够通过喷气嘴33喷向过滤网桶箱3内部，从而实现的对过滤网桶箱3内部进行气体干燥，喷气嘴33可以对准过滤网桶箱3内部喷射出高压干燥气体，从而能够将粘附在过滤网桶箱3网孔上的晶圆吹落，以此保证了过滤网桶箱3网孔的通畅性，进而加快对过滤网桶箱3内部干燥的效率。

请着重参阅图2～8，旋拉扩增器包括转动连接在连盘座9内侧的第二连轴17，且第二连轴17通过轴承安装在连盘座9的内侧，第二连轴17的一端贯穿至连盘座9的外部固定连接有第一直齿轮16，干燥桶1的内侧固定连接有连接柱13，连接柱13的一端固定连接有与第一直齿轮16相啮合的第一直齿轮环14，第二连轴17的一端贯穿至连盘座9的内侧固定连接有旋推盘38，旋推盘38的一端固定连接有旋推柱39，旋推柱39的外壁套接有回形框40，回形框40的底端固定连接有矩形引导块36，矩形引导块36的一侧外壁固定连接有连板34，连板34的一端固定连接有多个拉扯环35，多个拉扯环35内侧分别与一个喷气嘴33固定连接，第二连轴17的外壁与连盘座9的内侧设置有环抱扶持单元，连盘座9的一侧外壁固定连接有定位板37，定位板37设置在矩形引导块36的外侧，定位板37的内侧开设有与矩形引导块36相匹配的矩形槽。

本实施例中：支座10翻转的同时通过第一直齿轮环14驱动第一直齿轮16通过第二连轴17带动旋推盘38进行自转，进而通过旋推柱39推动回形框40带动矩形引导块36进行上下往复移动，随后通过连板34与拉扯环35拉动喷气嘴33进行上下往复摆动，进而提高了喷气嘴33喷出高压干燥气体的范围，从而能够更好的对过滤网桶箱3内部晶圆进行干燥，同时保证了过滤网桶箱3网孔的通畅性。

请着重参阅图2、图3、图4、图10，限位防脱件包括固定连接在连盘座9两侧外壁的悬挂座18，悬挂座18的一侧外壁安装有第三驱动电机27，第三驱动电机27的输出端连接有双向螺纹丝杆19，双向螺纹丝杆19与悬挂座18转动连接，悬挂座18的内侧滑动连接有L形滑杆23，且L形滑杆23套接在双向螺纹丝杆19的外壁，L形滑杆23的外壁与连盘座9的顶端设置有推压动力组件，L形滑杆23的底端固定连接有矩形套筒24，矩形套筒24的内侧滑动连接有矩形导块26，矩形导块26的一端固定连接有U形支撑块25，过滤网桶箱3的外壁固定连接有轴承21，轴承21的外壁与U形支撑块25的内侧设置有卡位辅助单元，双向螺纹丝杆19的外壁设置有正螺纹与反螺纹，L形滑杆23设置有两个，两个L形滑杆23分别套接在双向螺纹丝杆19正螺纹与反螺纹外壁，悬挂座18的内侧开设有与两个L形滑杆23相匹配的引导槽。

本实施例中：将需要干燥的晶圆放置到过滤网桶箱3内部，随后启动第三驱动电机27，第三驱动电机27的输出端驱动双向螺纹丝杆19进行转动，从而驱动两个L形滑杆23分别通过一个矩形套筒24带动一个U形支撑块25向过滤网桶箱3方向进行移动，当两个U形支撑块25的内侧分别贴合到轴承21外圈上下两端时，以此对过滤网桶箱3进行限位，避免过滤网桶箱3在翻转的过程中发生晃动，进而提高了过滤网桶箱3翻转过程中的稳定性。

请着重参阅图图2、图3、图4、图10，卡位辅助单元包括固定连接在U形支撑块25内侧的卡齿49，矩形导块26的一端固定连接有第二压缩弹簧50，第二压缩弹簧50的一端与矩形套筒24固定连接，轴承21的外圈固定连接有第二直齿轮环22，第二直齿轮环22与卡齿49啮合设置。

本实施例中：当U形支撑块25向轴承21方向进行移动的同时带动卡齿49进行移动，当卡齿49与第二直齿轮环22发生错位时，L形滑杆23继续移动，通过矩形套筒24对第二压缩弹簧50进行挤压，随后工作人员可以旋转第二直齿轮环22，使得卡齿49与第二直齿轮环22对齐后，第二压缩弹簧50复位推动矩形导块26通过U形支撑块25带动卡齿49移动，使得卡齿49与轴承21啮合，以此将轴承21的外圈固定，从而进一步的提高了过滤网桶箱3翻转过程中的稳定性。

请着重参阅图5～9，环抱扶持单元包括设置在第二连轴17上下两端的Y形矫正块31，连盘座9顶端与内侧均固定连接有一个矩形牵引杆41，每个矩形牵引杆41的外壁均滑动连接有矩形套块48，且矩形套块48与Y形矫正块31固定连接，矩形套块48的底端固定连接有第一压缩弹簧46，第一压缩弹簧46的一端与连盘座9固定连接，连盘座9的内侧转动连接有动力轴42，动力轴42的外壁固定连接有第二直齿轮43，两个Y形矫正块31的内侧均固定连接有一个齿条44，两个齿条44均与第二直齿轮43啮合，第二连轴17的外壁等距离嵌入有多个滚珠47，推压动力组件包括固定连接在一个L形滑杆23外壁的动力杆29，动力杆29的一端固定连接有梯形块30，梯形块30的内侧开设有斜面51，Y形矫正块31的顶端转动连接有导轮45，且导轮45贴合在斜面51上。

本实施例中：当L形滑杆23向过滤网桶箱3内侧进行移动的同时带动动力杆29进行移动，通过斜面51的作用下推动导轮45挤压一个Y形矫正块31向下移动，从而通过一个齿条44驱动第二直齿轮43转动，从而拨动另一个齿条44带动另一个Y形矫正块31向上移动，当L形滑杆23移动到最大位置时，两个Y形矫正块31抵在滚珠47外壁，以此能够对第二连轴17位置进行矫正，从而避免第二连轴17在旋转的过程中发生晃动，进而提高了第二连轴17转动时的稳定性。

以上所述的，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.晶圆清洗干燥装置，包括干燥桶（1），其特征在于，所述干燥桶（1）的内侧设置有支座（10），所述支座（10）的一端设置有翻转辅助器，所述支座（10）的内侧固定连接有连盘座（9），所述支座（10）的底端安装有第二驱动电机（11），所述第二驱动电机（11）的输出端连接有第一连轴（12），所述第一连轴（12）的一端贯穿至所述连盘座（9）的内侧固定连接有矩形定位销（20），所述连盘座（9）的内侧放置有过滤网桶箱（3），且所述过滤网桶箱（3）的底端开设有与所述矩形定位销（20）相匹配的矩形槽，所述连盘座（9）的内侧设置有吹气干燥机构，所述过滤网桶箱（3）的端口螺纹连接有过滤网桶盖（2），所述过滤网桶箱（3）的外壁与所述连盘座（9）的顶端设置有限位防脱件。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗干燥装置，其特征在于，所述翻转辅助器包括固定连接在所述干燥桶（1）的内侧的矩形连座（4），所述矩形连座（4）的内侧转动连接有旋转轴（5），所述旋转轴（5）的外壁固定连接有第一锥齿轮（6），所述矩形连座（4）的顶端安装有第一驱动电机（8），所述第一驱动电机（8）的输出端连接有第二锥齿轮（7），所述第二锥齿轮（7）与所述第一锥齿轮（6）相啮合，所述旋转轴（5）的一端延伸至所述干燥桶（1）的内部与所述支座（10）固定连接，所述旋转轴（5）的内部为中空结构。

3.根据权利要求2所述的晶圆清洗干燥装置，其特征在于，所述吹气干燥机构包括与所述旋转轴（5）排气口相通的导气管（15），所述连盘座（9）的内侧固定连接有连接壳体（28），所述连接壳体（28）的进气口与所述导气管（15）相通，所述连接壳体（28）的排气口处固定连接有波纹管（32），所述波纹管（32）的一端固定连接有喷气嘴（33），所述喷气嘴（33）的外壁与所述连盘座（9）的内侧设置有旋拉扩增器。

4.根据权利要求3所述的晶圆清洗干燥装置，其特征在于，所述旋拉扩增器包括转动连接在所述连盘座（9）内侧的第二连轴（17），且所述第二连轴（17）通过轴承安装在所述连盘座（9）的内侧，所述第二连轴（17）的一端贯穿至所述连盘座（9）的外部固定连接有第一直齿轮（16），所述干燥桶（1）的内侧固定连接有连接柱（13），所述连接柱（13）的一端固定连接有与所述第一直齿轮（16）相啮合的第一直齿轮环（14），所述第二连轴（17）的一端贯穿至所述连盘座（9）的内侧固定连接有旋推盘（38），所述旋推盘（38）的一端固定连接有旋推柱（39），所述旋推柱（39）的外壁套接有回形框（40），所述回形框（40）的底端固定连接有矩形引导块（36），所述矩形引导块（36）的一侧外壁固定连接有连板（34），所述连板（34）的一端固定连接有多个拉扯环（35），多个所述拉扯环（35）内侧分别与一个所述喷气嘴（33）固定连接，所述第二连轴（17）的外壁与所述连盘座（9）的内侧设置有环抱扶持单元。

5.根据权利要求4所述的晶圆清洗干燥装置，其特征在于，所述连盘座（9）的一侧外壁固定连接有定位板（37），所述定位板（37）设置在所述矩形引导块（36）的外侧，所述定位板（37）的内侧开设有与所述矩形引导块（36）相匹配的矩形槽。

6.根据权利要求4所述的晶圆清洗干燥装置，其特征在于，所述限位防脱件包括固定连接在所述连盘座（9）两侧外壁的悬挂座（18），所述悬挂座（18）的一侧外壁安装有第三驱动电机（27），所述第三驱动电机（27）的输出端连接有双向螺纹丝杆（19），所述双向螺纹丝杆（19）与所述悬挂座（18）转动连接，所述悬挂座（18）的内侧滑动连接有L形滑杆（23），且所述L形滑杆（23）套接在所述双向螺纹丝杆（19）的外壁，所述L形滑杆（23）的外壁与所述连盘座（9）的顶端设置有推压动力组件，所述L形滑杆（23）的底端固定连接有矩形套筒（24），所述矩形套筒（24）的内侧滑动连接有矩形导块（26），所述矩形导块（26）的一端固定连接有U形支撑块（25），所述过滤网桶箱（3）的外壁固定连接有轴承（21），所述轴承（21）的外壁与所述U形支撑块（25）的内侧设置有卡位辅助单元。

7.根据权利要求6所述的晶圆清洗干燥装置，其特征在于，所述双向螺纹丝杆（19）的外壁设置有正螺纹与反螺纹，所述L形滑杆（23）设置有两个，两个所述L形滑杆（23）分别套接在所述双向螺纹丝杆（19）正螺纹与反螺纹外壁，所述悬挂座（18）的内侧开设有与两个所述L形滑杆（23）相匹配的引导槽。

8.根据权利要求6所述的晶圆清洗干燥装置，其特征在于，所述卡位辅助单元包括固定连接在所述U形支撑块（25）内侧的卡齿（49），所述矩形导块（26）的一端固定连接有第二压缩弹簧（50），所述第二压缩弹簧（50）的一端与所述矩形套筒（24）固定连接，所述轴承（21）的外圈固定连接有第二直齿轮环（22），所述第二直齿轮环（22）与所述卡齿（49）啮合设置。

9.根据权利要求6所述的晶圆清洗干燥装置，其特征在于，所述环抱扶持单元包括设置在所述第二连轴（17）上下两端的Y形矫正块（31），所述连盘座（9）顶端与内侧均固定连接有一个矩形牵引杆（41），每个所述矩形牵引杆（41）的外壁均滑动连接有矩形套块（48），且所述矩形套块（48）与所述Y形矫正块（31）固定连接，所述矩形套块（48）的底端固定连接有第一压缩弹簧（46），所述第一压缩弹簧（46）的一端与所述连盘座（9）固定连接，所述连盘座（9）的内侧转动连接有动力轴（42），所述动力轴（42）的外壁固定连接有第二直齿轮（43），两个所述Y形矫正块（31）的内侧均固定连接有一个齿条（44），两个所述齿条（44）均与所述第二直齿轮（43）啮合，所述第二连轴（17）的外壁等距离嵌入有多个滚珠（47）。

10.根据权利要求9所述的晶圆清洗干燥装置，其特征在于，所述推压动力组件包括固定连接在一个所述L形滑杆（23）外壁的动力杆（29），所述动力杆（29）的一端固定连接有梯形块（30），所述梯形块（30）的内侧开设有斜面（51），所述Y形矫正块（31）的顶端转动连接有导轮（45），且所述导轮（45）贴合在所述斜面（51）上。

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