CN215727142U - 温度可调的高压气体制备装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种温度可调的高压气体制备装置，该装置包括：存储有增压气体的气体存储器；连通气体存储器和工件的第一支路；设置在第一支路上的温度调节支路，温度调节支路包括并联方式设置的第二支路和第三支路，第二支路上设置有加热装置，第三支路上设置有低温冷却器。本实用新型所述的温度可调的高压气体制备装置能直接制备温度可调的高压气体，同时具备对气体进行加热和降温的功能。

Description

温度可调的高压气体制备装置

技术领域

本实用新型涉及气体制备装置领域，且特别涉及一种温度可调的高压气体制备装置。

背景技术

为尽可能模拟工件的真实工作状态，需要运用不同温度的气体介质进行相关试验。当前普遍采用的是液态气体通过加热汽化的形式得到所需的气体，但该方式得到的气体温度调节不精确、压力不达标、可靠度不高，没有完美实现设计意图。

中国专利CN103033076A公开了一种高压、大流量、低温、液氮/氦气换热装置。该装置使用液氮冷却氦气，从而获得增压输送试验系统要求的低温氦气。但该装置产生的低温氦气无法调节温度，而且仅能实现单一的降温功能。

因此，如何提供一种能够精准调节温度的气体制备装置是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

为了解决至少部分上述技术问题，本实用新型提供一种温度可调的高压气体制备装置，该装置包括：连接至外接气源的气体存储器；设置在所述外接气源和所述气体存储器之间的气体增压泵；连通所述气体存储器和工件的第一支路；设置在所述第一支路上的温度调节支路，所述温度调节支路包括并联方式设置的第二支路和第三支路，所述第二支路上设置有加热装置，所述第三支路上设置有低温冷却器；向所述低温冷却器提供液氮的液氮存储器，所述液氮存储器一端通过第四支路与所述气体存储器连通，所述液氮存储器另一端通过第五支路与所述低温冷却器连通；

上述方案中，所述的温度可调的高压气体制备装置中，该装置还包括：第一电动阀，其设置在所述外接气源和所述气体增压泵之间；设置在所述气体增压泵与所述气体存储器之间的止回阀；第四压力检测件；所述第一支路包括位于所述温度调节支路前端的第一子支路和位于所述温度调节支路后端的第二子支路；所述第四压力检测件用于检测所述第一子支路上的第一气体压力值；

第一手动阀，设置在所述外接气源和所述气体增压泵之间；第二手动阀，设置在所述止回阀和所述气体存储器之间；第三手动阀；第四手动阀；其中，所述液氮存储器包括存储气体的气体部分和存储液体的液体部分，所述第三手动阀设置在所述液氮存储器所述液体部分中下部；所述第四手动阀与所述液氮存储器所述液体部分底部连接。

上述方案中，所述的温度可调的高压气体制备装置中，该装置还包括：第一减压阀，设置在所述气体存储器和所述液氮存储器之间；第二减压阀，设置在第一子支路上；第一安全阀，设置在所述第一过滤器和所述气体存储器之间；第二安全阀，设置在液氮存储器第一部分上；第一过滤器，设置在所述第二手动阀和所述气体存储器之间；第二过滤器，设置在所述第三手动阀和所述液氮存储器之间。

上述方案中，所述的温度可调的高压气体制备装置中，该装置还包括温度控制组件，所述温度控制组件包括：设置在所述第二子支路上的温度检测单元，其用于检测流向所述工件的气体的实时气体温度；设置在所述第五支路上的第一电动调节阀，所述第一电动调节阀用于调节由所述液氮存储器流向所述低温冷却器的液氮的流量；其中，所述加热装置为比例式加热器。

上述方案中，所述的温度可调的高压气体制备装置中，该装置还包括流量控制组件，所述流量控制组件包括：设置在所述第二子支路上的流量检测单元，其用于检测流向所述工件的气体的实时气体流量；设置在所述第二支路上的第二电动调节阀，所述第二电动调节阀用于调节由所述气体存储器流向所述加热装置的加热气体的加热气体流量；设置在所述第三支路上的第三电动调节阀，所述第三电动调节阀用于调节由所述气体存储器流向所述低温冷却器的冷却气体的冷却气体流量。

上述方案中，所述的温度可调的高压气体制备装置中，该装置还包括压力控制组件，所述压力控制组件包括：第六压力检测件，其用于检测流向所述工件的气体的第二气体压力；设置在所述第二支路上的第二电动阀；设置在所述第三支路上的第三电动阀；设置在所述第一子支路上的第二减压阀。

上述方案中，所述的温度可调的高压气体制备装置中，该装置还包括设置在所述第二子子路上的三通阀；当所述实时气体流量等于所述第一流量阈值时，所述实时气体温度等于所述第一温度阈值时，所述第二气体压力等于所述第一压力阈值时，所述三通阀打开；或者，当所述实时气体流量等于所述第二流量阈值时，所述实时气体温度等于所述第二温度阈值时，当所述第二气体压力等于所述第二压力阈值时，所述三通阀打开。

上述方案中，所述的温度可调的高压气体制备装置中，该装置还包括低温冷却器监控部；所述低温冷却器包括用于存储液氮汽化后氮气的第一部分、存储液氮的第二部分和流通被冷却气体的第三部分；所述低温冷却器监控部包括：与所述第二部分连通的第四电动阀；第二液位检测，其用于检测所述第二部分的第一液位。

上述方案中，所述的温度可调的高压气体制备装置中，该装置还包括报警组件，其包括：第三压力检测件，其用于检测所述气体部分的第一压力值；第一液位检测件，其用于检测所述液体部分的第二液位；所述第二液位检测件；第三压力检测件，其用于检测所述液氮存储器中的第二压力值；报警器。

上述方案中，所述的温度可调的高压气体制备装置中，该装置还包括：第一减压阀，设置在所述第四支路上。

本实用新型实施例所述的温度可调的高压气体制备装置至少具有如下之一的有益效果：

本实用新型所述的温度可调的高压气体制备装置，使用气体增压泵将所需气体传输至气体存储器并增压形成高压气体，高压气体减压输出后可根据实际使用需求进入第二支路进行升温或者进入第三支路进行降温，经温度调节合格后输出至工件。本实用新型所述的控制系统能直接制备温度可调的高压气体，同时具备加热和降温气体的功能。

本实用新型所述的温度可调的高压气体制备装置，本试验装置中的外接气源可更换为外接氦气瓶、外接氮气瓶、氧气瓶等。

本实用新型所述的温度可调的高压气体制备装置，实现充气过程、降温过程、升温过程控制自动化，功能多样效果显著。

附图说明

图1是本实用新型其中一个实施方式中所述的温度可调的高压气体制备装置的第一结构示意图。

图2是本实用新型其中一个实施方式中所述的温度可调的高压气体制备装置的第二结构示意图。

附图标记：

100代表外接气源，101代表止回阀，200代表气体增压泵，201代表第一过滤器，202代表第二过滤器，300代表气体存储器，301代表第一电动阀， 302代表第二电动阀，303代表第三电动阀，400代表液氮存储器，401代表第一电动调节阀，402代表第二电动调节阀，403代表第三电动调节阀， 500代表低温冷却器，501代表第一减压阀，502代表第二减压阀，600代表工件，601代表第一手动阀，602代表第二手动阀，603代表第三手动阀， 604代表第四手动阀，701代表三通阀，801代表第一压力检测件，802代表第二压力检测件，803代表第三压力检测件，804代表第四压力检测件， 805代表第五压力检测单元，806代表第六压力检测单元，807代表第一液位检测件，808代表第二液位检测件，809代表流量检测单元，810代表温度检测单元，901代表第一安全阀，902代表第二安全阀，1001代表第一支路，1002代表第一子支路，1003代表第二子支路，1004代表第二支路， 1005代表第三支路，1006代表第四支路，1007代表第五支路。

具体实施方式

现详细说明本实用新型的多种示例性实施方式，该详细说明不应认为是对本实用新型的限制，而应理解为是对本实用新型的某些方面、特性和实施方案的更详细的描述。

应理解本实用新型中所述的术语仅仅是为描述特别的实施方式，并非用于限制本实用新型。另外，对于本实用新型中的数值范围，应理解为具体公开了该范围的上限和下限以及它们之间的每个中间值。在任何陈述值或陈述范围内的中间值以及任何其他陈述值或在所述范围内的中间值之间的每个较小的范围也包括在本实用新型内。这些较小范围的上限和下限可独立地包括或排除在范围内。

除非另有说明，否则本文使用的所有技术和科学术语具有本实用新型所述领域的常规技术人员通常理解的相同含义。虽然本实用新型仅描述了优选的方法和材料，但是在本实用新型的实施或测试中也可以使用与本文所述相似或等同的任何方法和材料。本说明书中提到的所有文献通过引用并入，用以公开和描述与所述文献相关的方法和/或材料。在与任何并入的文献冲突时，以本说明书的内容为准。

在不背离本实用新型的范围或精神的情况下，可对本实用新型说明书的具体实施方式做多种改进和变化，这对本领域技术人员而言是显而易见的。本申请说明书和实施例仅是示例性的。

关于本文中所使用的“包含”、“包括”、“具有”、“含有”等等，均为开放性的用语，即意指包含但不限于。

关于本文中所使用的“和/或”，包括所述事物的任一或全部组合。

以下通过具体实施方式，并结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图1和图2所示，本实用新型提供一种温度可调的高压气体制备装置，该装置包括：外接气源100；连接至所述外接气源100的气体存储器300；设置在所述外接气源100和所述气体存储器300之间的气体增压泵200；第一电动阀301，其设置在所述外接气源100和所述气体增压泵200之间；设置在所述气体增压泵200与所述气体存储器300之间的止回阀101，防止气体回流；工件600；连通所述气体存储器300和所述工件600的第一支路1001；设置在所述第一支路1001上的温度调节支路，所述温度调节支路包括并联方式设置的第二支路1004和第三支路1005，所述第二支路1004上设置有加热装置，所述第三支路1005上设置有低温冷却器500；向所述低温冷却器500提供液氮的液氮存储器400，所述液氮存储器400一端通过第四支路1006与所述气体存储器300连通，所述液氮存储器400另一端通过第五支路1007与所述低温冷却器 500连通；控制单元；第四压力检测件804；其中，所述第一支路1001包括位于在所述温度调节支路前端的第一子支路1002和位于在所述温度调节支路后端的第二子支路1003；所述第四压力检测件804用于检测所述第一子支路 1002上的气体压力值；所述控制单元中预存有所述气体存储器300的第一预设压力值，当所述气体压力值低于所述第一预设压力值时，所述控制单元控制开启所述第一电动阀301，当所述气体压力值等于所述第一预设压力值时，所述控制单元控制关闭所述第一电动阀301。

气体增压泵200采用气动往复式泵，外接气源100、气体增压泵200、气体存储器300、液氮存储器400和低温冷却器500之间的管路均采用不锈钢连接，增加装置的耐用性和抗高低温性能。

上述方案中，该装置还包括：第一压力检测单元801，所述第一压力检测单元801设置在外接气源100外侧，增加第一压力控制阀在外接气源100和第一压力检测单元801之间，需要打开第一压力控制阀才能进行第一压力检测单元801的测压。

上述方案中，该装置还包括：第一手动阀601，设置在所述外接气源100 和所述气体增压泵200之间；第二手动阀602，设置在所述止回阀101和所述气体存储器300之间；第三手动阀603；第四手动阀604；其中，所述液氮存储器400包括存储气体的气体部分和存储液体的液体部分，所述第三手动阀 603设置在所述液氮存储器400液体部分中下部；所述第四手动阀604与所述液氮存储器400液体部分底部连接。

设置上述各个手动阀，方便人工调节气体传输和液体传输，保证介质的流通人工可调。

上述方案中，该装置还包括第二压力检测单元802，第二压力检测单元 802所述设置在止回阀101和第二手动阀602之间，增加第二压力控制阀在止回阀101和第二手动阀602之间的管道与第二压力检测单元802之间，需要打开第二压力控制阀才能进行第二压力检测单元802的测压。

上述方案中，该装置还包括：第一减压阀501，设置在所述气体存储器 300和所述液氮存储器400之间；用于控制进入液氮存储器400的气体压力。

第二减压阀502，设置在第一子支路1002上，用于控制第一支路气体的压力。

第一安全阀901，设置在所述第一过滤器201和所述气体存储器300之间。第二安全阀902，设置在液氮存储器400第一部分上；第一安全阀901、第二安全阀902能够保护气体增压泵200和气体存储器300之间的管道以及液氮存储器400设备的正常工作，当管道或者设备内的压力超过安全阀设定的压力值时，自动开启泄压，保证整个气体制备过程的安全，防止意外发生，减少损失。

第一过滤器201，设置在所述第二手动阀602和所述气体存储器300之间；用于过滤进入气体存储器300的气体，提高气体纯度；第二过滤器202，设置在所述第三手动阀603和所述液氮存储器400之间；用于过滤进入液氮存储器 400的液氮，提高液氮纯度。

上述方案中，该装置还包括温度控制组件，所述温度控制组件包括：

设置在所述第二子支路1003上的温度检测单元810，其用于检测流向所述工件600的气体的实时气体温度；温度检测单元810可采用插入值热电偶，能够实时显示流向所述工件600的气体温度。

设置在所述第五支路1007上的第一电动调节阀401，所述第一电动调节阀401用于调节由所述液氮存储器400流向所述低温冷却器500的液氮的流量。

其中，所述加热装置为比例式加热器；所述控制单元中预设有加热气体的第一温度阈值和冷却气体的第二温度阈值。

第二支路1004工作时，当所述实时气体温度小于所述第一温度阈值时，所述控制单元控制增大所述比例式加热器的通电电流，当所述实时气体温度大于所述第一温度阈值时，所述控制单元控制减小所述比例式加热器的通电电流。

第三支路1005工作时，当所述实时气体温度小于所述第二温度阈值时，所述控制单元控制所述第一电动调节阀401调小开度，当所述实时气体温度大于所述第二温度阈值时，所述控制单元控制所述第一电动调节阀401增大开度。

上述方案中，该装置还包括流量控制组件，所述流量控制组件包括：

设置在所述第二子支路1003上的流量检测单元809，其用于检测流向所述工件600的气体的实时气体流量；流量检测单元可选择电磁流量计，能够实时显示流向所述工件600的气体流量。

设置在所述第二支路1004上的第二电动调节阀402，所述第二电动调节阀402用于调节由所述气体存储器300流向所述加热装置的加热气体的加热气体流量。

设置在所述第三支路1005上的第三电动调节阀403，所述第三电动调节阀403用于调节由所述气体存储器300流向所述低温冷却器500的冷却气体的冷却气体流量。

其中，所述控制单元中预设有加热气体的第一流量阈值和冷却气体的第二流量阈值。

第二支路1004工作时，当所述实时气体流量小于所述第一流量阈值时，所述控制单元控制所述第二电动调节阀402开大，当所述实时气体流量大于所述第一流量阈值时，所述控制单元控制所述第二电动调节关小。

第三支路1005工作时，当所述实时气体流量小于所述第二流量阈值时，所述控制单元控制所述第三电动调节阀403开大，当所述实时气体流量大于所述第二流量阈值时，所述控制单元控制所述第三电动调节阀403关小。

第一比例式加热器203，设置在所述第二电动调节阀和第二电动阀之间，包覆在第二支路外侧。通过调节比例式加热器203的输入电流，能实现第二支路内气体不同的温升。

上述方案中，该装置还包括压力控制组件，所述压力控制组件包括：

第六压力检测件806，其用于检测流向所述工件600的气体的第二气体压力；设置在所述第二支路1004上的第二电动阀302；设置在所述第三支路1005 上的第三电动阀303；设置在所述第一子支路1002上的第二减压阀502；其中，所述控制单元中预设有加热气体的第一压力阈值和冷却气体的第二压力阈值。

第二支路1004工作时，所述控制单元开启所述第二电动阀302，当所述第二气体压力小于所述第一压力阈值时，所述控制单元调节所述第二减压阀 502增大所述第一子支路1002上的气体压力；当所述第二气体压力大于所述第一压力阈值时，所述控制单元调节所述第二减压阀502减小所述第一子支路1002上的气体压力。

所述第三支路1005工作时，所述控制单元开启第三电动阀303，当所述第二气体压力小于所述第二压力阈值时，所述控制单元调节所述第二减压阀 502增大所述第一子支路1002上的气体压力；当所述第二气体压力大于所述第二压力阈值时，所述控制单元调节所述第二减压阀502减小所述第一子支路1002上的气体压力。

第四压力检测单元804设置在气体存储器300和第二减压阀502之间，在气体存储器300和第二减压阀502之间的管道与第四压力检测单元804之间设置第四压力控制阀，需要打开第四压力控制阀才能进行第四压力检测单元 804的测压。

上述方案中，该装置还包括设置在所述第二子子路上的三通阀701。

当所述实时气体流量等于所述第一流量阈值时，所述实时气体温度等于所述第一温度阈值时，所述第二气体压力等于所述第一压力阈值时，所述控制单元控制所述三通阀701打开。

或者，当所述实时气体流量等于所述第二流量阈值时，所述实时气体温度等于所述第二温度阈值时，当所述第二气体压力等于所述第二压力阈值时，所述控制单元控制所述三通阀701打开。

上述方案中，该装置还包括低温冷却器500监控部；所述低温冷却器500 包括用于存储液氮汽化后氮气的第一部分、存储液氮的第二部分和流通被冷却气体的第三部分。

所述低温冷却器监控部包括：与所述第二部分连通的第四电动阀(304)；第二液位检测(808)，其用于检测所述第二部分的第一液位；其中，所述控制单元中预存有所述第二部分的第一液位阈值和所述第二液位阈值，当所述第一液位高于所述第一液位阈值时，所述控制单元控制所述第四电动阀304 开启且不可关闭，当所述第一液位不高于所述第一液位阈值时，所述控制单元控制所述第四电动阀304能关闭；当所述第一液位低于所述第二液位阈值，所述控制单元控制所述第四电动阀(304)关闭且不可打开，当所述第一液位不低于所述第二液位阈值，所述控制单元控制所述第四电动阀304能打开。

上述方案中，该装置还包括报警组件，其包括：第三压力检测件803，其用于检测所述气体部分的第一压力值；第一液位检测件807，其用于检测所述液体部分的第二液位；在液氮存储器400和第一液位检测单元807之间设置第一液位控制阀，需要打开第一液位控制阀才能进行第一液位检测单元 807的测量。

所述第二液位检测件808；在低温冷却器500和第二液位检测单元808设置第二液位控制阀，需要打开第二液位控制阀才能进行第二液位检测单元 808的测量。

第三压力检测件803，其用于检测所述液氮存储器400中的第二压力值。

报警器。

其中，所述控制单元中预存有所述气体部分的第三压力阈值范围，当所述第一压力值超出所述第三压力阈值范围，所述控制单元控制所述报警器报警；所述控制单元中预存有所述液体部分的第一液位阈值范围，当所述第一液位超出所述第一液位阈值范围，所述控制单元控制所述报警器报警；所述控制单元中预存有所述液氮存储器400的第四压力阈值范围，当所述第二压力值超出所述第四压力阈值范围，所述控制单元控制所述报警器报警；所述控制单元中预存有所述液氮存储器400中液氮的第二液位阈值范围，当所述第二液位超出所述第二液位阈值范围，所述控制单元控制所述报警器报警。

第三压力检测单元803设置在液氮存储器400第一部分外侧，增加第三压力控制阀在液氮存储器400和第三压力检测单元803之间，需要打开第三压力控制阀才能进行第三压力检测单元803的测压。

上述方案中，该装置还包括：第一减压阀501，设置在所述第四支路1006 上；其中，所述控制单元中预设有所述液氮存储器400的第二预设压力，当所述第二压力值高于所述第二预设压力时，所述第一减压阀501关小，当所述第二压力值低于所述第二预设压力时，所述第一减压阀501开大。

上述方案中，温度可调的高压气体制备过程分为气体存储器300的充压过程、气体加热或降温过程，其中降温过程分为液氮存储器充液阶段和降温调节阶段。

具体的，气体存储器300的充压过程为：设置气体存储器300的第一预设压力值，采集第四压力检测单元804的气体压力，若气体压力低于第一压力阈值，则开启第一电动阀901；若气体压力值达到第一压力阈值，则关闭第一电动阀901，完成气体存储器300的充压过程。

其次，气体加热过程为：设置工件600的第二预设压力值，采集第六压力检测单元806的第二气体压力值，若第二气体压力值不符合第一压力阈值，则开启第二电动阀302并调节第二减压阀502开度直到第二气体压力满足第一压力阈值为止；设置工件600的第一预设流量值，采集流量检测单元809的实时气体流量值，若实时气体流量值不符合第一流量阈值或第二流量阈值，则调节第二电动调节阀402开度直到实时气体流量值满足第一流量阈值为止；设置工件600的第一预设温度值，采集温度检测单元810的实时气体温度值，若实时气体温度温度值不符合第一温度阈值或第二温度阈值，调节比例式加热器203的输入电流直到实时气体温度值满足第一温度阈值或第二温度阈值为止。当以上3个参数均得到满足后，一种加热温度可调的高压气体制备过程已完成。

还有，液氮存储器充液过程为：设置液氮存储器400的第三预设压力值，采集第三压力检测单元803的第一压力值，若第一压力值不符合第三压力阈值范围，则调节第一减压阀501开度直到第三压力值满足第三预设压力值调节阈值为止；设置液氮存储器400的第一预设液位值，采集第一液位检测单元807的第二液位值，若第二液位值低于第二液位阈值范围，则开启第三手动阀603并使用软管与外接液氮相连进行补液操作，若第二液位值高于第二液位阈值范围，则开启第四手动阀604进行排液操作。

最后，降温调节过程为：设置工件600的第四预设压力值，采集第六压力检测单元806的第二气体压力值，若第二压力值不符合第一压力阈值，则开启第三电动阀303并调节第二减压阀502开度直到第二压力值满足第一压力阈值值为止；设置工件600的第二预设流量值，采集流量检测单元809的实时气体流量值，若实时气体流量值不符合第一流量阈值或第二流量阈值，则调节第三电动调节阀403开度直到实时气体流量值满足第一流量阈值或第二流量阈值为止；设置工件600的第二预设温度值，采集温度检测单元810的实时气体温度值，若实时气体温度值不符合第一温度阈值范围或第二温度阈值范围第二预设温度值，调节第一电动调节阀401开度直到实时气体温度值满足第一温度阈值范围或第二温度阈值范围为止。当以上3个参数均得到满足后，一种冷却温度可调的高压气体制备过程已完成。

在不背离本实用新型的范围或精神的情况下，可对本实用新型说明书的具体实施方式做多种改进和变化，这对本领域技术人员而言是显而易见的。由本实用新型的说明书得到的其他实施方式对技术人员而言是显而易见得的，本申请说明书和实施例仅是示例性的。

Claims (10)

1.一种温度可调的高压气体制备装置，其特征在于，该装置包括：

连接至外接气源(100)的气体存储器(300)；

设置在所述外接气源(100)和所述气体存储器(300)之间的气体增压泵(200)；

连通所述气体存储器(300)和工件(600)的第一支路(1001)；

设置在所述第一支路(1001)上的温度调节支路，所述温度调节支路包括并联方式设置的第二支路(1004)和第三支路(1005)，所述第二支路(1004)上设置有加热装置，所述第三支路(1005)上设置有低温冷却器(500)；

向所述低温冷却器(500)提供液氮的液氮存储器(400)，所述液氮存储器(400)一端通过第四支路(1006)与所述气体存储器(300)连通，所述液氮存储器(400)另一端通过第五支路(1007)与所述低温冷却器(500)连通。

2.根据权利要求1所述的温度可调的高压气体制备装置，其特征在于，该装置还包括：

第一电动阀(301)，其设置在所述外接气源(100)和所述气体增压泵(200)之间；

设置在所述气体增压泵(200)与所述气体存储器(300)之间的止回阀(101)；

第四压力检测件(804)；所述第一支路(1001)包括位于所述温度调节支路前端的第一子支路(1002)和位于所述温度调节支路后端的第二子支路(1003)；所述第四压力检测件(804)用于检测所述第一子支路(1002)上的第一气体压力值。

3.根据权利要求2所述的温度可调的高压气体制备装置，其特征在于，该装置还包括：

第一手动阀(601)，设置在所述外接气源(100)和所述气体增压泵(200)之间；

第二手动阀(602)，设置在所述止回阀(101)和所述气体存储器(300) 之间；

第三手动阀(603)；

第四手动阀(604)；

其中，所述液氮存储器(400)包括存储气体的气体部分和存储液体的液体部分，所述第三手动阀(603)设置在所述液氮存储器(400)液体部分中下部；所述第四手动阀(604)与所述液氮存储器(400)液体部分底部连接。

4.根据权利要求3所述的温度可调的高压气体制备装置，其特征在于，该装置还包括：

第一减压阀(501)，设置在所述气体存储器(300)和所述液氮存储器(400)之间；

第二减压阀(502)，设置在第一子支路(1002)上；

第一过滤器(201)，设置在所述第二手动阀(602)和所述气体存储器(300)之间；

第二过滤器(202)，设置在所述第三手动阀(603)和所述液氮存储器(400)之间；

第一安全阀(901)，设置在所述第一过滤器(201)和所述气体存储器(300)之间；

第二安全阀(902)，设置在液氮存储器(400)第一部分上。

5.根据权利要求4所述的温度可调的高压气体制备装置，其特征在于，该装置还包括温度控制组件，所述温度控制组件包括：

设置在所述第二子支路(1003)上的温度检测单元(810)，其用于检测流向所述工件(600)的气体的实时气体温度；

设置在所述第五支路(1007)上的第一电动调节阀(401)，所述第一电动调节阀(401)用于调节由所述液氮存储器(400)流向所述低温冷却器(500)的液氮的流量；

其中，所述加热装置为比例式加热器。

6.根据权利要求5所述的温度可调的高压气体制备装置，其特征在于，该装置还包括流量控制组件，所述流量控制组件包括：

设置在所述第二子支路(1003)上的流量检测单元(809)，其用于检测流向所述工件(600)的气体的实时气体流量；

设置在所述第二支路(1004)上的第二电动调节阀(402)，所述第二电动调节阀(402)用于调节由所述气体存储器(300)流向所述加热装置的加热气体的加热气体流量；

设置在所述第三支路(1005)上的第三电动调节阀(403)，所述第三电动调节阀(403)用于调节由所述气体存储器(300)流向所述低温冷却器(500)的冷却气体的冷却气体流量。

7.根据权利要求6所述的温度可调的高压气体制备装置，其特征在于，该装置还包括压力控制组件，所述压力控制组件包括：

第六压力检测件(806)，其用于检测流向所述工件(600)的气体的第二气体压力；

设置在所述第二支路(1004)上的第二电动阀(302)；

设置在所述第三支路(1005)上的第三电动阀(303)；

设置在所述第一子支路(1002)上的第二减压阀(502)。

8.根据权利要求5所述的温度可调的高压气体制备装置，其特征在于，该装置还包括设置在所述第二子支路上的三通阀(701)。

9.根据权利要求8所述的温度可调的高压气体制备装置，其特征在于，该装置还包括低温冷却器(500)监控部；所述低温冷却器(500)包括用于存储液氮汽化后氮气的第一部分、存储液氮的第二部分和流通被冷却气体的第三部分；

所述低温冷却器监控部包括：

与所述第二部分连通的第四电动阀(304)；

第二液位检测(808)，其用于检测所述第二部分的第一液位。

10.根据权利要求1所述的温度可调的高压气体制备装置，其特征在于，该装置还包括：

第一减压阀(501)，设置在所述第四支路(1006)上。

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