CN215696310U - 一种改善蚀刻水线出入口滴液的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种改善蚀刻水线出入口滴液的装置，涉及蚀刻设备技术领域，该装置包括设置在风刀和喷嘴之间的竖直的槽隔板，该槽隔板的两侧分别设置封液辊轮a和封液辊轮b，所述封液辊轮a和封液辊轮b均位于基材的正上方，且与基材滚动接触，同时封液辊轮a和封液辊轮b的直径均大于槽隔板底部与基材表面之间的间距，用以解决现有技术中的蚀刻装置存在的清洗液体因喷洒雾化凝结成液滴而溅落至蚀刻部位的基材表面，而造成基材表面蚀刻过度或清洗不均匀的技术问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种改善蚀刻水线出入口滴液的装置，涉及蚀刻设备技术领域。
背景技术
目前所用的水线在基材穿过槽体连接部位时，没有任何遮挡，导致蚀刻、清洗液体因喷洒雾化后凝结成液滴，沿槽壁下滑而滴落到新进入槽内的基材表面，造成基材表面蚀刻过度或清洗不均匀，影响产品蚀刻质量。
实用新型内容
本实用新型针对现有技术存在的不足，提供一种改善蚀刻水线出入口滴液的装置，用以解决现有技术中的蚀刻装置存在的清洗液体因喷洒雾化凝结成液滴而溅落至蚀刻部位的基材表面，而造成基材表面蚀刻过度或清洗不均匀的技术问题。
本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种改善蚀刻水线出入口滴液的装置，该装置包括设置在风刀和喷嘴之间的竖直的槽隔板，该槽隔板的两侧分别设置封液辊轮a和封液辊轮b，所述封液辊轮a和封液辊轮b均位于基材的正上方，且与基材滚动接触，同时封液辊轮a和封液辊轮b的直径均大于槽隔板底部与基材表面之间的间距。
在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。
进一步，所述槽隔板的正下方还设置浴槽，该浴槽两端可拆卸安装在槽壁上，所述封液辊轮a和封液辊轮b分别位于浴槽两端。
进一步，所述槽隔板底部设置软刷，该软刷顶部可拆卸安装在槽隔板底部，底部与基板上表面接触。
进一步，该装置还包括若干个两端转动安装在水槽壁上的托辊，所述基材位于托辊上。
进一步，所述封液辊轮a和封液辊轮b的两端均转动安装在槽壁上。
进一步，所述槽隔板靠近喷嘴的一侧还可拆卸安装阻液板，该阻液板一端可拆卸安装在槽隔板上，另一端置于封液辊轮b上方，该阻液板与槽隔板的夹角大于90°。
本实用新型的有益效果是：通过设置封液辊轮a和封液辊轮b，有效阻隔水雾及滴液进入槽隔板靠近风刀的一侧落至基材上，从而避免造成基材表面蚀刻过度的现象发生，提高蚀刻的外观质量；通过设置浴槽，对槽壁上滴落的液体进行收集，同时通过封液辊轮a和封液辊轮b组合封堵形成水池，有助于对基材表面清洗均匀，进而改善清洗和蚀刻效果；通过设置软刷，有效阻挡越过封液辊轮b的液滴，进一步保证蚀刻效果；通过设置阻液板，进一步降低喷嘴区域的液滴进入风刀区域，从而保证蚀刻效果。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型实施例二的结构示意图。
图中1.风刀，2.封液辊轮a，3.槽隔板，4.基材，5.喷嘴，6.托辊，7.液滴，8.浴槽，9.封液辊轮b，10.软刷，11.阻液板。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。
实施例一
参见附图1，一种改善蚀刻水线出入口滴液的装置，该装置包括设置在风刀1和喷嘴5之间的竖直的槽隔板3以及若干个两端转动安装在水槽壁上的托辊6，该槽隔板3的两侧分别设置封液辊轮a2和封液辊轮b9，所述封液辊轮a2和封液辊轮b9均位于基材4的正上方，且与基材4滚动接触，所述基材4位于托辊6上，同时封液辊轮a2和封液辊轮b9的直径均大于槽隔板3底部与基材4表面之间的间距，所述槽隔板3的正下方还设置浴槽8，浴槽8采用PVC材质制作而成，该浴槽8两端可拆卸安装在槽壁上，所述封液辊轮a2和封液辊轮b9分别位于浴槽8两端，所述封液辊轮a2和封液辊轮b9的两端均转动安装在槽壁上，通过设置封液辊轮a2和封液辊轮b9，有效阻隔水雾及滴液进入槽隔板3靠近风刀1的一侧落至基材4上，从而避免造成基材4表面蚀刻过度的现象发生，提高蚀刻的外观质量；通过设置浴槽8，对槽壁上滴落的液体进行收集，同时通过封液辊轮a2和封液辊轮b9组合封堵形成水池，有助于对基材4表面清洗均匀，进而改善清洗和蚀刻效果。
实施例二
参见附图2，在实施例一的基础上，所述槽隔板3底部设置软刷10，该软刷10顶部可拆卸安装在槽隔板3底部，底部与基板4上表面接触，所述槽隔板3靠近喷嘴5的一侧还可拆卸安装阻液板11，该阻液板11一端可拆卸安装在槽隔板3上，另一端置于封液辊轮b9上方，该阻液板11与槽隔板3的夹角大于90°，阻液板11可拆卸的方式采用螺钉安装或者插接安装或勾挂安装或其它安装方式，通过设置软刷10，有效阻挡越过封液辊轮b9的液滴，进一步保证蚀刻效果；通过设置阻液板11，进一步降低喷嘴5区域的液滴进入风刀1区域，从而保证蚀刻效果。
使用该装置对基材4进行蚀刻操作时，将基材4放置于托辊6上由风刀1区域输送至喷嘴5区域，经过风刀区域时进行蚀刻，经过封液辊轮a2、软刷10、封液辊轮9和阻液板11的重重阻挡作用，进入喷嘴5区域后对基材4进行倾洒洗扫，相比较现有技术，不仅提高了蚀刻效果，同时还提高了清洗效率，进而提升了基材4的蚀刻外观质量和效率。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种改善蚀刻水线出入口滴液的装置，其特征在于：该装置包括设置在风刀和喷嘴之间的竖直的槽隔板，该槽隔板的两侧分别设置封液辊轮a和封液辊轮b，所述封液辊轮a和封液辊轮b均位于基材的正上方，且与基材滚动接触，同时封液辊轮a和封液辊轮b的直径均大于槽隔板底部与基材表面之间的间距。
2.根据权利要求1所述的一种改善蚀刻水线出入口滴液的装置，其特征在于：所述槽隔板的正下方还设置浴槽，该浴槽两端可拆卸安装在槽壁上，所述封液辊轮a和封液辊轮b分别位于浴槽两端。
3.根据权利要求1或2所述的一种改善蚀刻水线出入口滴液的装置，其特征在于：所述槽隔板底部设置软刷，该软刷顶部可拆卸安装在槽隔板底部，底部与基板上表面接触。
4.根据权利要求3所述的一种改善蚀刻水线出入口滴液的装置，其特征在于：该装置还包括若干个两端转动安装在水槽壁上的托辊，所述基材位于托辊上。
5.根据权利要求4所述的一种改善蚀刻水线出入口滴液的装置，其特征在于：所述封液辊轮a和封液辊轮b的两端均转动安装在槽壁上。
6.根据权利要求5所述的一种改善蚀刻水线出入口滴液的装置，其特征在于：所述槽隔板靠近喷嘴的一侧还可拆卸安装阻液板，该阻液板一端可拆卸安装在槽隔板上，另一端置于封液辊轮b上方，该阻液板与槽隔板的夹角大于90°。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202121116241.4U CN215696310U (zh) | 2021-05-24 | 2021-05-24 | 一种改善蚀刻水线出入口滴液的装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202121116241.4U CN215696310U (zh) | 2021-05-24 | 2021-05-24 | 一种改善蚀刻水线出入口滴液的装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
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| CN215696310U true CN215696310U (zh) | 2022-02-01 |
Family
ID=80032425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202121116241.4U Active CN215696310U (zh) | 2021-05-24 | 2021-05-24 | 一种改善蚀刻水线出入口滴液的装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215696310U (zh) |
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