CN215695147U - 一种用于喷涂靶材的粉尘回收再利用装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及喷涂靶材技术领域，尤其涉及一种用于喷涂靶材的粉尘回收再利用装置。包括真空管，真空管内设置有等离子喷枪，等离子喷枪的前方设置有回收装置；回收装置包括内部为空腔的壳体，壳体一侧的上部铰接有活动板，活动板的下方设置有缺口，缺口的下方转动连接有两个辊轮，辊轮上传动连接有传送带，辊轮由电机驱动，壳体在缺口内侧的位置设置有隔离板，壳体的上部在隔离板远离缺口的一侧设置有负压气管，负压气管穿透真空管的外壁，壳体的下部设置有出料管，出料管穿透真空管的外壁，出料管的端部可拆卸的密封连接有端盖。本实用新型粉尘的回收率较高。

Description

一种用于喷涂靶材的粉尘回收再利用装置

技术领域

本实用新型涉及喷涂靶材技术领域，尤其涉及一种用于喷涂靶材的粉尘回收再利用装置。

背景技术

靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，广泛应用于镀膜行业，大部分旋转靶材采用等离子喷涂工艺来生产。申请号为201410423362.1的专利公开了一种靶材真空喷涂生产设备，采用在真空管内设置等离子喷枪，靶材可以在配套设备的驱动下转动并相对于等离子喷枪往复移动，真空管上设置有负压气口，负压气口通过负压管与除尘回收装置相连接，以便将废料进行回收。在实际生产中，被等离子火焰熔化并吹到靶材上的粉末并不能全部沉积在靶材上，其沉积率只有70％左右，未沉积的粉末在气流的带动下，绕过圆柱形的靶材，被吹到靶材远离等离子喷枪的一侧，并且用于喷涂靶材的粉末(常用粒度为100-200目)密度是比较大的，比如常见的硅粉，其密度为2.2克/立方厘米左右，铬粉的密度则大于7克/立方厘米，因此，在重力的作用下，未沉积的粉末大部分会很快飘散着下落，最后散落在真空管内部空间的底部。而上述申请的靶材真空喷涂生产设备，负压管的位置设置的不合理，吸走的未沉积粉末比例较少。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题，是针对上述存在的技术不足，提供了一种用于喷涂靶材的粉尘回收再利用装置，采用在等离子喷枪的对面设置回收装置，回收装置的进口半包围靶材，回收装置的上部设置有负压气管，回收装置的下部设置有出料管，负压气管用来连接除尘装置，等离子喷枪喷出的大部分未沉积粉末会在气流和惯性以及重力的作用下，进入回收装置的壳体内部并落在其底部，以后可以从出料管流出进行收集；回收装置进口的上部为可以向上转动的活动板，便于装卸靶材；回收装置进口的下部为传送带，可以将落在上面的粉末送进回收装置的壳体中。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种用于喷涂靶材的粉尘回收再利用装置，包括真空管，所述真空管内设置有等离子喷枪，所述等离子喷枪的前方设置有回收装置；所述回收装置包括内部为空腔的壳体，所述壳体一侧的上部铰接有活动板，所述壳体在活动板的下方设置有缺口，所述壳体在缺口的下方转动连接有两个辊轮，两个所述辊轮上传动连接有传送带，一个所述辊轮的一端设置有皮带轮，所述壳体的一侧设置有电机，所述电机的转轴上设置有皮带轮，该两个皮带轮之间通过皮带传动连接，所述壳体在缺口内侧的位置设置有隔离板，所述壳体的上部在隔离板远离缺口的一侧设置有负压气管，所述负压气管穿透真空管的外壁，所述壳体的下部设置有出料管，所述出料管穿透真空管的外壁，所述出料管的端部可拆卸的密封连接有端盖。

进一步优化本技术方案，所述出料管的端部设置有外螺纹部，所述端盖一端封口，另一端设置有内螺纹部；所述端盖可与出料管的端部螺纹连接，并且两者之间设置有密封垫。

进一步优化本技术方案，所述活动板通过合页与壳体相铰接。

进一步优化本技术方案，所述隔离板在从上往下的方向上向远离缺口的一侧倾斜。

进一步优化本技术方案，所述出料管上部呈漏斗状，下部向斜下方倾斜。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：1、回收装置设置在等离子喷枪的对面，其进口半包围靶材，等离子喷枪喷出的大部分未沉积粉末会在气流和惯性以及重力的作用下，进入回收装置的壳体内部并落在其底部，以后可以从出料管流出进行收集，回收率较高；2、活动板可以向上转动，便于装卸靶材；3、传送带可以将落在其上面的粉末送进壳体中，防止粉末在此位置堆积。

附图说明

图1为一种用于喷涂靶材的粉尘回收再利用装置的结构示意图。

图2为一种用于喷涂靶材的粉尘回收再利用装置的回收装置结构示意图。

图3为一种用于喷涂靶材的粉尘回收再利用装置的回收装置的剖视图。

图4为一种用于喷涂靶材的粉尘回收再利用装置的端盖结构示意图。

图中：1、真空管；2、等离子喷枪；3、回收装置；31、负压气管；32、端盖；321、密封垫；33、出料管；331、外螺纹部；34、壳体；341、隔离板；35、电机；36、活动板；37、缺口；38、传送带；39、辊轮；4、靶材。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。

具体实施方式：结合图1-4所示，一种用于喷涂靶材的粉尘回收再利用装置，包括真空管1，所述真空管1内转动连接有靶材4，所述真空管1内设置有等离子喷枪2，所述等离子喷枪2的前方设置有回收装置3，等离子喷枪2和回收装置3分别位于靶材4的两侧。所述回收装置3包括内部为空腔的壳体34，所述壳体34一侧的上部铰接有活动板36，活动板36的两侧可起到与壳体34的支撑作用，使得其可长期稳定的处于水平状态并且可以向上转动，所述壳体34在活动板36的下方设置有缺口37，缺口37的一端优选呈半圆形，以便可以和圆柱形的靶材4外表面的距离都比较近，两者之间的缝隙较小且缝隙的宽度一致。所述壳体34在缺口37的下方转动连接有两个辊轮39，两个所述辊轮39上传动连接有传送带38，传送带38优选耐热传送带，一个所述辊轮39的一端设置有皮带轮，所述壳体34的一侧设置有电机35，所述电机35的转轴上设置有皮带轮，该两个皮带轮之间通过皮带传动连接，电机35能驱动辊轮39转动，从而使得传送带38转动。所述壳体34在缺口37内侧的位置设置有隔离板341，隔离板341的下端位于传送带38的下侧，所述壳体34的上部在隔离板341远离缺口37的一侧设置有负压气管31，所述负压气管31穿透真空管1的外壁。所述壳体34的下部设置有出料管33，所述出料管33穿透真空管1的外壁，所述出料管33的端部可拆卸的密封连接有端盖32。

所述出料管33的端部设置有外螺纹部331，所述端盖32一端封口，另一端设置有内螺纹部；所述端盖32可与出料管33的端部螺纹连接，并且两者之间设置有密封垫321。端盖32可以卸下使得壳体34内部回收的粉末流出。在正常生产时端盖32要盖紧。

所述活动板36通过合页与壳体34相铰接，合页比较容易获得，安装方便。

所述隔离板341在从上往下的方向上向远离缺口37的一侧倾斜，如图3所示，隔离板341左侧距离壳体34的左侧壁越来越远，气流的流速则可以越来越小，气流中的粉尘更容易沉积下来。

所述出料管33上部呈漏斗状，下部向斜下方倾斜，在实际生产中可以用倾斜的直管道，也可以用延伸方向呈圆弧状的管道，使得收集的粉尘更容易流出。

在使用时，负压气管31连接能吸风的除尘装置。工作原理：在生产时，该装置处于图1所示的状态，活动板36位于靶材4的上方，传送带38位于靶材4的下方，靶材4从缺口37中穿过，从等离子喷枪2喷出的未沉积在靶材4上的粉末，在气流(除尘装置的气流和喷枪形成的气流)和惯性以及重力的作用下，大部分会进入壳体34内部，颗粒较大的粉尘会落在壳体34的底部(粉尘落下后为粉末)，只有颗粒非常小的粉尘会在气流的作用下经由负压气管31进入除尘装置(由于粒径小，这部分粉末回收价值较小，可以不用回收)。如图3所示，喷涂过程中传送带38一直在顺时针旋转，落在传送带38上的粉末被其传送进壳体34中并落在壳体34底部。待喷涂完成后，打开真空管1一端的门，向上旋转活动板36，可以使靶材4获得向上的空间，更容易进行装卸操作。之后打开端盖32，使粉末流入准备好的储料桶中进行回收。

本实用新型的控制方式是通过控制器来自动控制，控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，属于本领域的公知常识，并且本实用新型主要用来保护机械设置，所以本实用新型不再详细解释控制方式和电路连接。

应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。

Claims (5)

1.一种用于喷涂靶材的粉尘回收再利用装置，其特征在于：包括真空管(1)，所述真空管(1)内设置有等离子喷枪(2)，所述等离子喷枪(2)的前方设置有回收装置(3)；所述回收装置(3)包括内部为空腔的壳体(34)，所述壳体(34)一侧的上部铰接有活动板(36)，所述壳体(34)在活动板(36)的下方设置有缺口(37)，所述壳体(34)在缺口(37)的下方转动连接有两个辊轮(39)，两个所述辊轮(39)上传动连接有传送带(38)，一个所述辊轮(39)的一端设置有皮带轮，所述壳体(34)的一侧设置有电机(35)，所述电机(35)的转轴上设置有皮带轮，该两个皮带轮之间通过皮带传动连接，所述壳体(34)在缺口(37)内侧的位置设置有隔离板(341)，所述壳体(34)的上部在隔离板(341)远离缺口(37)的一侧设置有负压气管(31)，所述负压气管(31)穿透真空管(1)的外壁，所述壳体(34)的下部设置有出料管(33)，所述出料管(33)穿透真空管(1)的外壁，所述出料管(33)的端部可拆卸的密封连接有端盖(32)。

2.根据权利要求1所述的一种用于喷涂靶材的粉尘回收再利用装置，其特征在于：所述出料管(33)的端部设置有外螺纹部(331)，所述端盖(32)一端封口，另一端设置有内螺纹部；所述端盖(32)与出料管(33)的端部螺纹连接，并且两者之间设置有密封垫(321)。

3.根据权利要求1或2任意一项所述的一种用于喷涂靶材的粉尘回收再利用装置，其特征在于：所述活动板(36)通过合页与壳体(34)相铰接。

4.根据权利要求1或2任意一项所述的一种用于喷涂靶材的粉尘回收再利用装置，其特征在于：所述隔离板(341)在从上往下的方向上向远离缺口(37)的一侧倾斜。

5.根据权利要求1或2任意一项所述的一种用于喷涂靶材的粉尘回收再利用装置，其特征在于：所述出料管(33)上部呈漏斗状，下部向斜下方倾斜。

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