CN215628288U - 一种适用于管式pecvd设备的炉门缓冲机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，包括：驱动模组；转接模组，其与所述驱动模组传动连接；以及炉门模组，其与所述转接模组固定连接；其中，所述炉门模组包括：炉门；以及支架，其固定安装于所述炉门的前端；所述炉门与所述支架之间设有至少两个弹性件。根据本实用新型，其通过在炉门与支架之间设有多个弹性件，以减少驱动模组驱动炉门分别沿X轴方向及Y轴方向活动时产生的冲击力，使得炉门得到较好的缓冲，从而保证了炉门与炉体关闭时炉体内气体更好的反应，提升反应效率。

Description

一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构

技术领域

本实用新型涉及管式PECVD设备领域。更具体地说，本实用新型涉及一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构。

背景技术

在管式PECVD设备领域中，采用不同结构形式的炉门移动装置来实现炉门的移动是众所周知的。在研究和实现炉门的移动的过程中，发明人发现现有技术中的炉门移动装置至少存在如下问题：

现有的装置在进行炉门移动时会产生巨大的冲击力，时间长久后会对炉门产生损伤，以导致炉门与炉体关闭时不能较好的闭合，进而导致炉体内气体不能较好的反应，降低反应效率。

有鉴于此，实有必要开发一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，用以解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术中存在的不足之处，本实用新型的主要目的是，提供一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，其通过在炉门与支架之间设有多个弹性件，以减少驱动模组驱动炉门分别沿X轴方向及Y轴方向活动时产生的冲击力，使得炉门得到较好的缓冲，从而保证了炉门与炉体关闭时炉体内气体更好的反应，提升反应效率。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，包括：驱动模组；

转接模组，其与所述驱动模组传动连接；以及

炉门模组，其与所述转接模组固定连接；

其中，所述炉门模组包括：炉门；以及

支架，其固定安装于所述炉门的前端；

所述炉门与所述支架之间设有至少两个弹性件。

优选的是，所述炉门的表面设置有至少两个支柱部，所述支柱部沿与所述炉门竖直的方向延伸，且所述支柱部规则阵列；

每个所述弹性件套接于相应一个所述支柱部表面。

优选的是，所述支架包括：连接部，其与所述转接模组固定连接；以及

至少两个固定部，每个所述固定部一体式的结合于所述连接部的外周且沿所述连接部的外周向外延伸；

每个所述固定部与相应一个所述支柱部固定连接。

优选的是，所述驱动模组包括：X向驱动器，其沿X轴方向设置；以及

Y向驱动器，其沿Y轴方向设置，且所述Y向驱动器与所述X向驱动器的动力输出端传动连接，所述Y向驱动器的动力输出端与所述转接模组传动连接；

其中，所述X向驱动器驱动所述炉门沿X轴方向往复运动，所述Y向驱动器驱动所述炉门沿Y轴方向往复运动。

优选的是，所述X向驱动器沿Y轴方向的两侧均设有第一导向导轨，所述第一导向导轨的活动部与所述Y向驱动器传动连接。

优选的是，所述第一导向导轨的沿X轴方向两侧端部设有至少两个第一限位件。

优选的是，所述Y向驱动器的旁侧设有第二导向导轨，所述第二导向导轨的活动部与所述转接模组传动连接。

优选的是，所述第二导向导轨沿Y轴方向两侧端部设有至少两个第二限位件。

上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：本实用新型通过在炉门与支架之间设有多个弹性件，以减少驱动模组驱动炉门分别沿X轴方向及Y轴方向活动时产生的冲击力，使得炉门得到较好的缓冲，从而保证了炉门与炉体关闭时炉体内气体更好的反应，提升反应效率。

本实用新型的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本实用新型的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本实用新型的一些实施例，而非对本实用新型的限制，其中：

图1为根据本实用新型一个实施方式提出的适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构的三维结构视图；

图2为根据本实用新型一个实施方式提出的适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构的爆炸结构视图；

图3为根据本实用新型一个实施方式提出的适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构中炉门模组的三维结构视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。

除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

在下列描述中，诸如中心、厚度、高度、长度、前部、背部、后部、左边、右边、顶部、底部、上部、下部等用词是相对于各附图中所示的构造进行定义的，特别地，“高度”相当于从顶部到底部的尺寸，“宽度”相当于从左边到右边的尺寸，“深度”相当于从前到后的尺寸，它们是相对的概念，因此有可能会根据其所处不同位置、不同使用状态而进行相应地变化，所以，也不应当将这些或者其他的方位用于解释为限制性用语。

涉及附接、联接等的术语(例如，“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接的关系，除非以其他方式明确地说明。

根据本实用新型的一实施方式结合图1～3的示出，可以看出，适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，其包括：驱动模组11；转接模组12，其与所述驱动模组11传动连接；以及炉门模组13，其与所述转接模组12固定连接；

其中，所述炉门模组13包括：炉门131；以及支架132，其固定安装于所述炉门131的前端；所述炉门131与所述支架132之间设有至少两个弹性件133。

可理解的是，本实用新型通过在所述炉门131与所述支架132之间设有多个弹性件133，以减少所述驱动模组11驱动所述炉门131分别沿X轴方向及Y轴方向活动时产生的冲击力，使得所述炉门131得到较好的缓冲，从而保证了炉门与炉体关闭时炉体内气体更好的反应，提升反应效率。

进一步，所述炉门131的表面设置有至少两个支柱部1311，所述支柱部1311沿与所述炉门131竖直的方向延伸，且所述支柱部1311规则阵列；

每个所述弹性件133套接于相应一个所述支柱部1311表面。

在优选的实施方式中，所述支柱部1311呈三角形规则阵列。

所述弹性件133为缓冲弹簧。

进一步，所述支架132包括：连接部1321，其与所述转接模组12固定连接；以及至少两个固定部1322，每个所述固定部1322一体式的结合于所述连接部1321的外周且沿所述连接部1321的外周向外延伸；每个所述固定部1322与相应一个所述支柱部1311固定连接。

进一步，所述驱动模组11包括：X向驱动器111，其沿X轴方向设置；以及

Y向驱动器112，其沿Y轴方向设置，且所述Y向驱动器112与所述X向驱动器111的动力输出端传动连接，所述Y向驱动器112的动力输出端与所述转接模组12传动连接；

其中，所述X向驱动器111驱动所述炉门131沿X轴方向往复运动，所述Y向驱动器112驱动所述炉门131沿Y轴方向往复运动。

可理解的是，所述X向驱动器111驱动所述炉门131沿X轴方向往复运动，所述Y向驱动器112驱动所述炉门131沿Y轴方向往复运动，以驱动所述炉门131打开或关闭。

在优选的实施方式中，本实用新型在安装所述X向驱动器111及所述Y向驱动器112时增加了浮动接头，以使得炉门的移动更加顺畅。

进一步，所述X向驱动器111沿Y轴方向的两侧均设有第一导向导轨113，所述第一导向导轨113的活动部与所述Y向驱动器112传动连接，所述第一导向导轨113对所述炉门131沿X轴方向进行导向。

进一步，所述第一导向导轨113的沿X轴方向两侧端部设有至少两个第一限位件1131。

可理解的是，所述第一限位件1311对所述炉门131沿X轴方向进行限位，以防止所述炉门131在X轴方向过度移动。

进一步，所述Y向驱动器112的旁侧设有第二导向导轨114，所述第二导向导轨114的活动部与所述转接模组12传动连接，所述第二导向导轨114对所述炉门131沿Y轴方向进行导向。

进一步，所述第二导向导轨114沿Y轴方向两侧端部设有至少两个第二限位件1141。

可理解的是，所述第二限位件1141对所述炉门131沿Y轴方向进行限位，以防止所述炉门131在Y轴方向过度移动。

在优选的实施方式中，所述转接模组12包括：转接座121，其与所述Y向驱动器112的动力输出端传动连接；以及

转接臂122，其一端部与所述转接座121固定连接，另一端部与所述支架132固定连接。

综上所述，本实用新型提供了一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，其通过在炉门与支架之间设有多个弹性件，以减少驱动模组驱动炉门分别沿X轴方向及Y轴方向活动时产生的冲击力，使得炉门得到较好的缓冲，从而保证了炉门与炉体关闭时炉体内气体更好的反应，提升反应效率。

这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本实用新型的说明的。对本实用新型的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用。它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域。对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改。因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

Claims (8)

1.一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，其特征在于，包括：驱动模组(11)；

转接模组(12)，其与所述驱动模组(11)传动连接；以及

炉门模组(13)，其与所述转接模组(12)固定连接；

其中，所述炉门模组(13)包括：炉门(131)；以及

支架(132)，其固定安装于所述炉门(131)的前端；

所述炉门(131)与所述支架(132)之间设有至少两个弹性件(133)。

2.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，其特征在于，所述炉门(131)的表面设置有至少两个支柱部(1311)，所述支柱部(1311)沿与所述炉门(131)竖直的方向延伸，且所述支柱部(1311)规则阵列；

每个所述弹性件(133)套接于相应一个所述支柱部(1311)表面。

3.如权利要求2所述的适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，其特征在于，所述支架(132)包括：连接部(1321)，其与所述转接模组(12)固定连接；以及

至少两个固定部(1322)，每个所述固定部(1322)一体式的结合于所述连接部(1321)的外周且沿所述连接部(1321)的外周向外延伸；

每个所述固定部(1322)与相应一个所述支柱部(1311)固定连接。

4.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，其特征在于，所述驱动模组(11)包括：X向驱动器(111)，其沿X轴方向设置；以及

Y向驱动器(112)，其沿Y轴方向设置，且所述Y向驱动器(112)与所述X向驱动器(111)的动力输出端传动连接，所述Y向驱动器(112)的动力输出端与所述转接模组(12)传动连接；

其中，所述X向驱动器(111)驱动所述炉门(131)沿X轴方向往复运动，所述Y向驱动器(112)驱动所述炉门(131)沿Y轴方向往复运动。

5.如权利要求4所述的适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，其特征在于，所述X向驱动器(111)沿Y轴方向的两侧均设有第一导向导轨(113)，所述第一导向导轨(113)的活动部与所述Y向驱动器(112)传动连接。

6.如权利要求5所述的适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，其特征在于，所述第一导向导轨(113)的沿X轴方向两侧端部设有至少两个第一限位件(1131)。

7.如权利要求4所述的适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，其特征在于，所述Y向驱动器(112)的旁侧设有第二导向导轨(114)，所述第二导向导轨(114)的活动部与所述转接模组(12)传动连接。

8.如权利要求7所述的适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，其特征在于，所述第二导向导轨(114)沿Y轴方向两侧端部设有至少两个第二限位件(1141)。

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