CN215628265U - 一种镜片双舱真空镀膜机定位升降转运平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种镜片双舱真空镀膜机定位升降转运平台，包括机架，机架内设有辅舱平台和主舱平台，机架与辅舱平台、主舱平台之间设有用于驱动辅舱平台或主舱平台升降的驱动机构，辅舱平台包括至少两个平台架，平台架、主舱平台上的转运机构包括位于平台架或主舱平台两侧同步旋转的至少两排第一滚轮，机架上设有位于辅舱平台与主舱平台之间的第二滚轮，移动平台与第一滚轮、第二滚轮顶部滚动配合，在真空下通过驱动机构对辅舱平台和主舱平台的升降驱动使辅舱平台或主舱平台对应、与转运机构对移动平台的往复移动驱动、实现镜片架在镜片双舱真空镀膜机主舱与辅舱之间高效、稳定的转运作业，利于提高镀膜效率，满足镜片双舱真空镀膜机应用需求。

Description

一种镜片双舱真空镀膜机定位升降转运平台

技术领域

本实用新型涉及一种镜片双舱真空镀膜机定位升降转运平台，属于镜片真空镀膜设备技术领域。

背景技术

真空镀膜的镜片应用在包括眼镜、仪器等各种光学产品中，镜片表面镀膜包括增透膜、防水膜、硬膜、减反射膜，用于增加透光率、防止杂散光干扰影影像、提高清晰度、减少炫光、增加耐磨损性等。现有技术中的镜片真空镀膜机一般采用单舱结构，将装载多个镜片的镜片架置于镀膜机内平台并转运至镀膜工位，抽真空设备抽真空使镀膜机内达到适应镀膜的真空环境等条件参数后，经镀膜机电子束蒸发系统、热电阻蒸发系统、离子源辅助系统等将镀膜材料在真空室内离析并打在镜片表面形成镀膜，再进行达到环境压力后，开门将镀膜好的镜片架取出，再放入载由待镀膜镜片的镜片架重复抽真空、镀膜和进气重复作业，由于每次均需进行抽真空和进气作业，导致相邻批次镀膜时准备工序和时间较长、增加了生产周期，使效率降低，为此申请人研发了镜片双舱真空镀膜机来解决镀膜室抽真空问题，但现有技术中缺乏在真空双舱之间转运镜片架的机械装置，部分驱动结构无法在真空下稳定运行。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种镜片双舱真空镀膜机定位升降转运平台，在真空下通过驱动机构对辅舱平台和主舱平台的升降驱动、转运机构对移动平台的往复移动驱动、实现镜片架在镜片双舱真空镀膜机主舱与辅舱之间高效、稳定的转运作业，利于提高镀膜效率，满足镜片双舱真空镀膜机应用需求。

本实用新型是通过如下的技术方案予以实现的：

一种镜片双舱真空镀膜机定位升降转运平台，包括机架，其中，所述机架内设有水平设置的辅舱平台和主舱平台，机架与辅舱平台、主舱平台之间设有用于驱动辅舱平台或主舱平台升降的驱动机构；

所述驱动机构包括水平旋转的驱动轴、与驱动轴两侧同步垂直旋转的两个传动轴，两个传动轴上同轴设有位于辅舱平台或主舱平台顶部四角处的第一链轮，所述第一链轮外设有啮合的第一链条，所述第一链条一端与第一链轮相连、另一端与辅舱平台或主舱平台四角处相连；、

所述机架顶部设有双出轴步进电机，所述双出轴步进电机的双电机轴分别与两个共轴线的驱动轴相连，所述机架上设有竖直设置的导轨，所述辅舱平台或主舱平台四角处设有与导轨滚动配合的靠轮；

所述机架顶部设有位于第一链轮和第一链条外部的传动壳体，所述传动轴设置在传动壳体上，靠近驱动轴的传动壳体一侧设有蜗轮蜗杆减速机，所述蜗轮蜗杆减速机的蜗杆与驱动轴同轴相连、蜗轮蜗杆减速机的蜗轮与传动轴同轴相连；

所述辅舱平台包括至少两个相连的平台架，所述平台架、主舱平台上均设有转运机构，所述转运机构包括位于平台架或主舱平台两侧同步旋转的至少两排第一滚轮；

所述平台架或主舱平台一侧均设有伺服电机，所述伺服电机的电机轴同轴连接有第二链轮，所述第一滚轮外侧设有同轴相连的第三链轮和第四链轮，所述第二链轮与任意一个第三链轮之间、相邻第三链轮与第四链轮之间均设有啮合的第二链条，位于平台架或主舱平台两侧的任意一组对应第一滚轮之间设有同轴相连的联动轴；

所述机架上设有位于辅舱平台与主舱平台之间、且与第一滚轮对应设置的第二滚轮，至少一个平台架或主舱平台上设有与第一滚轮、第二滚轮顶部滚动配合的移动平台，所述机架上设有位于辅舱平台或主舱平台侧部的测距仪安装孔。

本实用新型的有益效果为：

(1)在真空下驱动机构通过双出轴步进电机带动驱动轴正向或反向旋转，传动至蜗轮蜗杆减速机带动两个传动轴同步减速旋转，传动轴上的第一链轮正反转时，使与辅舱平台或主舱平台相连的第一链条相应绕卷或放卷、对吊连的辅舱平台或主舱平台整体、在靠轮与导轨滚动配合下进行平稳地升降驱动，在移动平台上装载镜片架，升降使辅舱平台中的平台架第一滚轮、机架上的第二滚轮、主舱平台的第一滚轮处于同一平面，以便定位转运；

(2)在真空下转运机构由伺服电机带动第二链轮正向或反向旋转、在第二链轮与任一第三链轮、相邻第三链轮与第四链轮的第二链条传动中带动同排的若干第一滚轮同步旋转，并由联动轴传动至另一侧的若干第一滚轮，使移动平台在与第一滚轮、第二滚轮的滚动配合支撑下可往复移动，实现镜片架在镜片双舱真空镀膜机主舱与辅舱之间高效、稳定的转运作业，结构紧凑、特别是在真空下驱动布置合理利于减小镀膜机尺寸、提高镀膜效率，满足镜片双舱真空镀膜机应用需求。

附图说明

图1为本实用新型前视立体图。

图2为本实用新型后视立体图。

图3为本实用新型前视结构图。

图4为本实用新型后视结构图。

图5为本实用新型辅舱平台立体图。

图6为本实用新型辅舱平台正视结构图。

图中标记：机架1，辅舱平台2和主舱平台3，驱动机构4，驱动轴41、传动轴42，第一链轮6，第一链条7，双出轴步进电机8，导轨9，靠轮10，传动壳体11，蜗轮蜗杆减速机12，平台架21，转运机构5，第一滚轮51，伺服电机13，第二链轮14，第三链轮15和第四链轮16，第二链条17，联动轴18，第二滚轮19，移动平台20，测距仪安装孔22，滑轨23，限位凸台24，轮轴25，轴承座26，罩壳27。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。

一种镜片双舱真空镀膜机定位升降转运平台，包括机架1，其中，所述机架1内设有水平设置的辅舱平台2和主舱平台3，机架1与辅舱平台2、主舱平台3之间设有用于驱动辅舱平台2或主舱平台3升降的驱动机构4；

所述驱动机构4包括水平旋转的驱动轴41、与驱动轴41两侧同步垂直旋转的两个传动轴42，两个传动轴42上同轴设有位于辅舱平台2或主舱平台3顶部四角处的第一链轮6，所述第一链轮6外设有啮合的第一链条7，所述第一链条7一端与第一链轮6相连、另一端与辅舱平台2或主舱平台3四角处相连；、

所述机架1顶部设有双出轴步进电机8，所述双出轴步进电机8的双电机轴分别与两个共轴线的驱动轴41相连，所述机架1上设有竖直设置的导轨9，所述辅舱平台2或主舱平台3四角处设有与导轨9滚动配合的靠轮10；

所述机架1顶部设有位于第一链轮6和第一链条7外部的传动壳体11，所述传动轴42设置在传动壳体11上，靠近驱动轴41的传动壳体11一侧设有蜗轮蜗杆减速机12，所述蜗轮蜗杆减速机12的蜗杆与驱动轴41同轴相连、蜗轮蜗杆减速机12的蜗轮与传动轴42同轴相连；

所述辅舱平台2包括至少两个相连的平台架21，所述平台架21、主舱平台3上均设有转运机构5，所述转运机构5包括位于平台架21或主舱平台3两侧同步旋转的至少两排第一滚轮51；

所述平台架21或主舱平台3一侧均设有伺服电机13，所述伺服电机13的电机轴同轴连接有第二链轮14，所述第一滚轮51外侧设有同轴相连的第三链轮15和第四链轮16，所述第二链轮14与任意一个第三链轮15之间、相邻第三链轮15与第四链轮16之间均设有啮合的第二链条17，位于平台架21或主舱平台3两侧的任意一组对应第一滚轮51之间设有同轴相连的联动轴18；

所述机架1上设有位于辅舱平台2与主舱平台3之间、且与第一滚轮51对应设置的第二滚轮19，至少一个平台架21或主舱平台3上设有与第一滚轮51、第二滚轮19顶部滚动配合的移动平台20，所述机架1上设有位于辅舱平台2或主舱平台3侧部的测距仪安装孔22；

所述移动平台20底部两侧设有滑轨23，所述第一滚轮51和第二滚轮19两侧设有位于滑轨23两侧的限位凸台24，第一滚轮51和第二滚轮19内设有水平设置的轮轴25，所述轮轴25与平台架21、主舱平台3或机架1之间设有轴承座26，所述平台架21或主舱平台3上设有与若干第一滚轮51让位设置的罩壳27。

本实用新型的工作原理为：

参见附图，将机架1作为镜片双舱真空镀膜机的外架，辅舱平台2和主舱平台3分别设置于镀膜机的辅舱与主舱中，将装载有待镀膜镜片的镜片架放置在辅舱平台2任意一个平台架21的移动平台20上，在测距仪安装孔22上安装测距仪、可以通过对镜片架的测距控制转运平台定位运行；

驱动机构4通过设置在机架1顶部的双出轴步进电机8的双电机轴与两个共轴线的驱动轴41同轴相连、带动驱动轴41正向或反向旋转，传动至蜗轮蜗杆减速机12的蜗杆、并在啮合的蜗杆与蜗轮减速传动下带动与驱动轴41同轴的两个传动轴42、在传动轴42体上同步旋转，使两个传动轴42上同轴的第一链轮6在传动壳体11内正向或反向旋转，使通过传动壳延伸至机架1内部与辅舱平台2或主舱平台3相连的第一链条7相应绕卷或放卷、对吊连的辅舱平台2或主舱平台3整体进行升降驱动，辅舱平台2或主舱平台3升降时还通过四角处的靠轮10与导轨9滚动配合，保证升降平稳性；

当辅舱平台2中装载镜片架的平台架21的第一滚轮51、机架1上的第二滚轮19、主舱平台3的第一滚轮51处于同一平面时，转运机构5由伺服电机13的电机轴带动第二链轮14旋转、在第二链轮14与任一第三链轮15、相邻第三链轮15与第四链轮16的第二链条17传动中带动伺服电机13侧同排的若干第一滚轮51同步旋转，由两侧对应任意一组第一滚轮51的联动轴18传动至另一侧的若干第一滚轮51，实现两侧第一滚轮51在辅舱平台2或主舱平台3上的同步旋转；

移动平台20通过滑轨23与第一滚轮51、第二滚轮19的限位凸台24限位，第一滚轮51、第二滚轮19通过水平设置的轮轴25外的轴承座26支撑安装，并以罩壳27与第一滚轮51让位保证美观防护性，处于辅舱平台2上的移动平台20在两侧旋转第一滚轮51的滚动摩擦作用下、向辅舱与主舱之间的第二滚轮19前进输送、并经主舱平台3上的第一滚轮51滚动摩擦继续前进直至转运至主舱平台3上，经主舱平台3的升降作用送至镜片双舱真空镀膜机的镀膜工位进行镜片镀膜加工；

同理，通过辅舱平台2与主舱平台3的升降运动至主舱平台3的第一滚轮51、第二滚轮19与辅舱平台2的空平台架21的第一滚轮51处于同一平面，通过伺服电机13的电机轴反向旋转使第一滚轮51反向旋转，将主舱平台3上镀膜好的镜片架回运至辅舱平台2；

通过辅舱平台2的升降运动使平台架21对应辅舱进出料口，以便待镀膜的镜片架进料、镀膜好的镜片架出料，从而综上通过定位升降转运平台实现镜片架在镜片双舱真空镀膜机主舱与辅舱之间高效、稳定的转运作业，结构紧凑、驱动布置合理利于减小镀膜机尺寸、提高镀膜效率，满足镜片双舱真空镀膜机应用需求。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“若干”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种镜片双舱真空镀膜机定位升降转运平台，包括机架(1)，其特征在于，所述机架(1)内设有水平设置的辅舱平台(2)和主舱平台(3)，机架(1)与辅舱平台(2)、主舱平台(3)之间设有用于驱动辅舱平台(2)或主舱平台(3)升降的驱动机构(4)，所述辅舱平台(2)包括至少两个相连的平台架(21)，所述平台架(21)、主舱平台(3)上均设有转运机构(5)；

所述转运机构(5)包括位于平台架(21)或主舱平台(3)两侧同步旋转的至少两排第一滚轮(51)，所述机架(1)上设有位于辅舱平台(2)与主舱平台(3)之间、且与第一滚轮(51)对应设置的第二滚轮(19)，至少一个平台架(21)或主舱平台(3)上设有与第一滚轮(51)、第二滚轮(19)顶部滚动配合的移动平台(20)。

2.根据权利要求1所述的一种镜片双舱真空镀膜机定位升降转运平台，其特征在于，所述驱动机构(4)包括水平旋转的驱动轴(41)、与驱动轴(41)两侧同步垂直旋转的两个传动轴(42)，两个传动轴(42)上同轴设有位于辅舱平台(2)或主舱平台(3)顶部四角处的第一链轮(6)，所述第一链轮(6)外设有啮合的第一链条(7)，所述第一链条(7)一端与第一链轮(6)相连、另一端与辅舱平台(2)或主舱平台(3)四角处相连。

3.根据权利要求2所述的一种镜片双舱真空镀膜机定位升降转运平台，其特征在于，所述机架(1)顶部设有双出轴步进电机(8)，所述双出轴步进电机(8)的双电机轴分别与两个共轴线的驱动轴(41)相连。

4.根据权利要求2所述的一种镜片双舱真空镀膜机定位升降转运平台，其特征在于，所述机架(1)顶部设有位于第一链轮(6)和第一链条(7)外部的传动壳体(11)，所述传动轴(42)设置在传动壳体(11)上，靠近驱动轴(41)的传动壳体(11)一侧设有蜗轮蜗杆减速机(12)，所述蜗轮蜗杆减速机(12)的蜗杆与驱动轴(41)同轴相连、蜗轮蜗杆减速机(12)的蜗轮与传动轴(42)同轴相连。

5.根据权利要求1所述的一种镜片双舱真空镀膜机定位升降转运平台，其特征在于，所述机架(1)上设有竖直设置的导轨(9)，所述辅舱平台(2)或主舱平台(3)四角处设有与导轨(9)滚动配合的靠轮(10)。

6.根据权利要求1所述的一种镜片双舱真空镀膜机定位升降转运平台，其特征在于，所述平台架(21)或主舱平台(3)一侧均设有伺服电机(13)，所述伺服电机(13)的电机轴同轴连接有第二链轮(14)，所述第一滚轮(51)外侧设有同轴相连的第三链轮(15)和第四链轮(16)，所述第二链轮(14)与任意一个第三链轮(15)之间、相邻第三链轮(15)与第四链轮(16)之间均设有啮合的第二链条(17)，位于平台架(21)或主舱平台(3)两侧的任意一组对应第一滚轮(51)之间设有同轴相连的联动轴(18)。

7.根据权利要求1所述的一种镜片双舱真空镀膜机定位升降转运平台，其特征在于，所述移动平台(20)底部两侧设有滑轨(23)，所述第一滚轮(51)和第二滚轮(19)两侧设有位于滑轨(23)两侧的限位凸台(24)，第一滚轮(51)和第二滚轮(19)内设有水平设置的轮轴(25)，所述轮轴(25)与平台架(21)、主舱平台(3)或机架(1)之间设有轴承座(26)。

8.根据权利要求1所述的一种镜片双舱真空镀膜机定位升降转运平台，其特征在于，所述平台架(21)或主舱平台(3)上设有与若干第一滚轮(51)让位设置的罩壳(27)。

9.根据权利要求1～8任意一项所述的一种镜片双舱真空镀膜机定位升降转运平台，其特征在于，所述机架(1)上设有位于辅舱平台(2)或主舱平台(3)侧部的测距仪安装孔(22)。

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