CN215560621U - 一种电子束蒸发台冷泵密封法兰装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种电子束蒸发台冷泵密封法兰装置，包括密封法兰盖板，密封法兰盖板顶部中央处固定连接有气缸轴固定法兰，气缸轴固定法兰顶部设置有固定压板，气缸轴固定法兰两侧均设置有拉动组件，密封法兰盖板底部开设有密封圈槽，密封圈槽内部设置有第一密封条和第二密封条。本实用新型中将密封法兰盖板代替传统的炉门，在密封圈槽内部设置第一密封条和第二密封条，第一密封条和第二密封条错位分布，密封法兰盖板在与腔体连接时，第一密封条首先与腔体接触，紧接其后第二密封条与腔体进行接触，在密封法兰盖板与腔体连接处的内侧边和外侧边的形成两道密封线，实现高真空工艺腔体炉门的密封。
Description
技术领域
本实用新型涉及电子束蒸发台工艺腔体炉门铰链领域，具体涉及一种电子束蒸发台冷泵密封法兰装置。
背景技术
金属化是半导体芯片制造过程中在绝缘介质薄膜上沉积金属薄膜以及随后刻印图形以便形成金属互连金属线和集成电路的孔填充塞的过程。半导体制造设备电子束蒸发台是将待蒸发的材料放置进坩埚，在真空系统中用电子束加热并使其蒸发，撞击到硅片表面凝结形成金属薄膜。
在一个高真空腔体内蒸镀金属膜，工艺腔体要安装一套电子枪，4个坩埚旋转机构蒸镀不同金属，2套加热灯，1套行星盘装置的固定安装，冷却水管路等等。
现有技术存在以下不足：目前设备炉门都是采用优质不锈钢材质焊接而成，为了保证密封性，在焊接法兰焊接时要考虑炉门的受热形变等因素，不得不加固加厚板材的厚度，所以一个腔体的炉门将近50公斤，在生产中炉门铰链是要频繁的开合的，所以铰链的可调节，稳定性是很有必要的，目前市面上的铰链性能无法满足实际使用去修。
因此，发明一种电子束蒸发台冷泵密封法兰装置很有必要。
实用新型内容
为此，本实用新型提供一种电子束蒸发台冷泵密封法兰装置，通过在密封法兰盖板底部开设密封圈槽，并且在密封圈槽内部设置第一密封条和第二密封条；在密封法兰盖板顶部固定连接气缸轴固定法兰，以解决以往的需要加厚炉门而造成，炉门频繁的开合，使得铰链稳定性较差，影响炉门与腔体之间连接密封性的问题。
为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种电子束蒸发台冷泵密封法兰装置，包括密封法兰盖板，所述密封法兰盖板顶部中央处固定连接有气缸轴固定法兰，所述气缸轴固定法兰顶部设置有固定压板，所述气缸轴固定法兰两侧均设置有拉动组件，所述拉动组件包括两个连接件，所述连接件包括固定底板，所述固定底板与密封法兰盖板固定连接，所述固定底板顶部固定设置有连接部，所述连接部一侧开设有连接槽口，所述连接槽口内部设置有旋转轴，两个所述连接件之间设置有把手，所述把手两端分别嵌入两个所述连接部的连接槽口内部；
所述密封法兰盖板底部开设有密封圈槽，由密封圈槽和密封法兰盖板在密封法兰盖板底部形成外环和内盘，所述密封圈槽内部设置有第一密封条和第二密封条。
优选的，所述旋转轴贯穿把手并通过轴承与把手连接，所述旋转轴与连接部固定连接。
优选的，所述第一密封条沿与外环内壁环状设置，所述第一密封条与外环固定连接。
优选的，所述第二密封条与内盘外壁环状设置，所述第二密封条与内盘固定连接。
优选的，所述第一密封条和第二密封条错位分布。
优选的，两组所述拉动组件沿气缸轴固定法兰中心线对称设置。
优选的，所述固定压板的数量有两个，所述固定压板与气缸轴固定法兰固定连接。
优选的，两个所述固定压板之间设置有一定间距，两个所述固定压板沿气缸轴固定法兰中心线对称设置。
优选的，所述固定压板上开设有多个连接孔，多个所述连接孔等距均匀设置。
本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型中将密封法兰盖板代替传统的炉门，同时将密封法兰盖板与腔体炉门处连接，在密封法兰盖板底部开设环状密封圈槽，并且在密封圈槽内部设置第一密封条和第二密封条，并且第一密封条和第二密封条错位分布，第一密封条和第二密封条的错位分布使得密封法兰盖板在与腔体连接时，第一密封条首先与腔体接触，紧接其后第二密封条与腔体进行接触，进而提供了密封法兰盖板与腔体连接处的内侧边和外侧边的两道密封线，可以实现高真空工艺腔体炉门的密封；
2、本实用新型中通过在密封法兰盖板上设置气缸轴固定法兰，并且在气缸轴固定法兰顶部固定连接固定压板，进而通过气缸轴固定法兰和固定压板的配合使用，将密封法兰盖板与外界气缸的输出轴固定连接，从而通过气缸作为驱动力源，推动密封法兰盖板进行移动，使之与腔体连接，摒弃传统的采用铰链，通过气缸作为动力源，便于开启炉门的开启安装和调整便捷，同时稳定性好。
附图说明
图1为本实用新型提供的电子束蒸发台冷泵密封法兰装置的整体结构示意图；
图2为本实用新型提供的电子束蒸发台冷泵密封法兰装置仰视结构示意图；
图3为本实用新型提供的电子束蒸发台冷泵密封法兰装置的剖视图；
图4为本实用新型提供的图1中A处的放大图；
图中：1、密封法兰盖板；2、气缸轴固定法兰；3、固定压板；4、固定底板；5、连接部；6、连接槽口；7、旋转轴；8、把手；9、密封圈槽；10、外环；11、内盘；12、第一密封条；13、第二密封条；14、连接孔。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
参照附图1-4，本实用新型提供的一种电子束蒸发台冷泵密封法兰装置，包括密封法兰盖板1，所述密封法兰盖板1顶部中央处固定连接有气缸轴固定法兰2，所述气缸轴固定法兰2顶部设置有固定压板3，所述气缸轴固定法兰2两侧均设置有拉动组件，所述拉动组件包括两个连接件，所述连接件包括固定底板4，所述固定底板4与密封法兰盖板1固定连接，所述固定底板4顶部固定设置有连接部5，所述连接部5一侧开设有连接槽口6，所述连接槽口6内部设置有旋转轴7，两个所述连接件之间设置有把手8，所述把手8两端分别嵌入两个所述连接部5的连接槽口6内部；
所述密封法兰盖板1底部开设有密封圈槽9，由密封圈槽9和密封法兰盖板1在密封法兰盖板1底部形成外环10和内盘11，所述密封圈槽9内部设置有第一密封条12和第二密封条13。
进一步地，所述旋转轴7贯穿把手8并通过轴承与把手8连接，所述旋转轴7与连接部5固定连接；将连接件设置在气缸轴固定法兰2两侧，并且连接件上设置有把手8，旋转轴7的设置使得把手8可与两个连接件进行活动连接，进而从而通过两个把手8方便在对密封法兰盖板1进行转运运输；
进一步地，所述第一密封条12沿与外环10内壁环状设置，所述第一密封条12与外环10固定连接，第一密封条12在密封圈槽9内部环状设置，进而在密封法兰盖板1在意腔体连接时，第一密封条12首先与腔体接触，为密封法兰盖板1与腔体之间构建第一道密封线；
进一步地，所述第二密封条13与内盘11外壁环状设置，所述第二密封条13与内盘11固定连接，在密封法兰盖板1在意腔体连接的过程中，第一密封条12首先与腔体接触构建第一道密封线，紧接其后第二密封条13与腔体进行接触，进而通过密封法兰盖板1中的第二密封条13与腔体之间发生接触，形成第二道密封线，进而提供了密封法兰盖板1与腔体连接处的内侧边和外侧边的两道密封线，实现高真空工艺腔体炉门的密封；
进一步地，所述第一密封条12和第二密封条13错位分布，第一密封条12和第二密封条13错位分布，最大化的提高第一密封条12和第二密封条13的实际使用效果；
进一步地，两组所述拉动组件沿气缸轴固定法兰2中心线对称设置，拉动组件中的把手8通过旋转轴7与连接部5连接，从而使得把手8可与连接件之间为活动连接，通过两个把手8方便在对密封法兰盖板1进行转运运输；
进一步地，所述固定压板3的数量有两个，所述固定压板3与气缸轴固定法兰2固定连接，固定压板3的设置方便将气缸轴固定法兰2与外界气缸的输出轴进行限位连接，同时固定压板3上开设的多个连接孔14，进一步可将气缸轴固定法兰2通过固定压板3与气缸输出轴连接；
进一步地，两个所述固定压板3之间设置有一定间距，两个所述固定压板3沿气缸轴固定法兰2中心线对称设置；
进一步地，所述固定压板3上开设有多个连接孔14，多个所述连接孔14等距均匀设置。
本实用新型的使用过程如下：在使用本实用新型时由于密封法兰盖板1上设置有气缸轴固定法兰2，并且在气缸轴固定法兰2固定连接有多个固定压板3，通过固定压板3上开设的多个连接孔14与外界气缸输出轴固定连接，进而通过外界气缸作为驱动力源，推动密封法兰盖板1进行移动，使之与腔体连接摒弃传统的采用铰链，通过气缸作为动力源，便于开启炉门的开启安装和调整便捷，密封法兰盖板1一侧开设有环状密封圈槽9，并且在密封圈槽9内部设置第一密封条12和第二密封条13，并且第一密封条12和第二密封条13错位分布，第一密封条12和第二密封条13的错位分布使得密封法兰盖板1在与腔体连接时，第一密封条12首先与腔体接触，紧接其后第二密封条13与腔体进行接触，进而提供了密封法兰盖板1与腔体连接处的内侧边和外侧边的两道密封线，可以实现高真空工艺腔体炉门的密封，进一步提高了密封法兰盖板1与腔体之间连接的密封性。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，任何熟悉本领域的技术人员均可能利用上述阐述的技术方案对本实用新型加以修改或将其修改为等同的技术方案。因此，依据本实用新型的技术方案所进行的任何简单修改或等同置换，尽属于本实用新型要求保护的范围。
Claims (9)
1.一种电子束蒸发台冷泵密封法兰装置，包括密封法兰盖板(1)，其特征在于：所述密封法兰盖板(1)顶部中央处固定连接有气缸轴固定法兰(2)，所述气缸轴固定法兰(2)顶部设置有固定压板(3)，所述气缸轴固定法兰(2)两侧均设置有拉动组件，所述拉动组件包括两个连接件，所述连接件包括固定底板(4)，所述固定底板(4)与密封法兰盖板(1)固定连接，所述固定底板(4)顶部固定设置有连接部(5)，所述连接部(5)一侧开设有连接槽口(6)，所述连接槽口(6)内部设置有旋转轴(7)，两个所述连接件之间设置有把手(8)，所述把手(8)两端分别嵌入两个所述连接部(5)的连接槽口(6)内部；
所述密封法兰盖板(1)底部开设有密封圈槽(9)，由密封圈槽(9)和密封法兰盖板(1)在密封法兰盖板(1)底部形成外环(10)和内盘(11)，所述密封圈槽(9)内部设置有第一密封条(12)和第二密封条(13)。
2.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台冷泵密封法兰装置，其特征在于：所述旋转轴(7)贯穿把手(8)并通过轴承与把手(8)连接，所述旋转轴(7)与连接部(5)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台冷泵密封法兰装置，其特征在于：所述第一密封条(12)沿与外环(10)内壁环状设置，所述第一密封条(12)与外环(10)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台冷泵密封法兰装置，其特征在于：所述第二密封条(13)与内盘(11)外壁环状设置，所述第二密封条(13)与内盘(11)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台冷泵密封法兰装置，其特征在于：所述第一密封条(12)和第二密封条(13)错位分布。
6.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台冷泵密封法兰装置，其特征在于：两组所述拉动组件沿气缸轴固定法兰(2)中心线对称设置。
7.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台冷泵密封法兰装置，其特征在于：所述固定压板(3)的数量有两个，所述固定压板(3)与气缸轴固定法兰(2)固定连接。
8.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台冷泵密封法兰装置，其特征在于：两个所述固定压板(3)之间设置有一定间距，两个所述固定压板(3)沿气缸轴固定法兰(2)中心线对称设置。
9.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台冷泵密封法兰装置，其特征在于：所述固定压板(3)上开设有多个连接孔(14)，多个所述连接孔(14)等距均匀设置。
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| CN202121895576.0U CN215560621U (zh) | 2021-08-13 | 2021-08-13 | 一种电子束蒸发台冷泵密封法兰装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115233180A (zh) * | 2022-06-06 | 2022-10-25 | 无锡芯谱半导体科技有限公司 | 电子束蒸发台工艺真空腔体炉门 |
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