CN115233180A - 电子束蒸发台工艺真空腔体炉门 - Google Patents
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- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims abstract description 20
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 20
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 9
- 244000309464 bull Species 0.000 claims description 7
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 3
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 210000005069 ears Anatomy 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
本发明涉及电子束蒸发台技术领域，且公开了电子束蒸发台工艺真空腔体炉门，包括真空腔体主体所述真空腔体主体的上端固定连接有支撑环，所述支撑环的上端活动连接有固定圈，所述固定圈的外侧设置有能够将支撑环和固定圈之间缝隙密封的遮挡组件，所述固定圈的内侧设置有能够将真空腔体主体密封的密封组件，所述密封组件的包括炉门主体，所述炉门主体的上端设置有用于将炉门主体和真空腔体主体活动连接的连接组件，该电子束蒸发台工艺真空腔体炉门，能够随意固定炉门位置，防止炉门影响工作人员的操作，且能够将炉门与腔体之间的缝隙进一步密封，防止真空腔体泄漏。
Description
技术领域
本发明涉及电子束蒸发台技术领域，具体为电子束蒸发台工艺真空腔体炉门。
背景技术
电子束蒸发台是一种用于信息科学与系统科学、物理学、化学、材料科学领域的工艺试验仪器，电子束蒸发台常见于镀膜工艺流程，其原理是利用加速后的电子能量打击材料标靶，使材料标靶蒸发升腾，最终沉积到目标基底上，因为电子束直接加热在被蒸发材料上且一般装被蒸发材坩锅之基座都有水冷装置，比起热电阻加热法污染较少，所以膜品质较高；
电子束蒸发台工作时需要用炉门将真空腔体密封，现有的炉门存在以下缺点：1、炉门在打开时位置固定，影响真空腔体内的物品取出；2、真空腔体工作时腔体内压强较大导致腔体与炉门之间的缝隙容易泄漏，影响腔体的工作；为此，我们提出了电子束蒸发台工艺真空腔体炉门。
发明内容
解决的技术问题
针对现有技术的不足，本发明提供了电子束蒸发台工艺真空腔体炉门，能够随意固定炉门位置，防止炉门影响工作人员的操作，且能够将炉门与腔体之间的缝隙进一步密封。
技术方案
为实现上述，能够随意固定炉门位置，防止炉门影响工作人员的操作，且能够将炉门与腔体之间的缝隙进一步密封，本发明提供如下技术方案：电子束蒸发台工艺真空腔体炉门，包括真空腔体主体所述真空腔体主体的上端固定连接有支撑环，所述支撑环的上端活动连接有固定圈，所述固定圈的外侧设置有能够将支撑环和固定圈之间缝隙密封的遮挡组件，所述固定圈的内侧设置有能够将真空腔体主体密封的密封组件，所述密封组件的包括炉门主体，所述炉门主体的上端设置有用于将炉门主体和真空腔体主体活动连接的连接组件。
优选的，所述遮挡组件包括滑动连接在固定圈外侧的遮挡圈，所述遮挡圈的外侧固定连接有六组转块，每两组转块之间固定连接有连接轴，所述连接轴的外侧转动连接有卡勾，所述卡勾为L形，所述连接轴的外侧卡勾的内侧设置有弹片，所述弹片的一端与连接轴固定连接，所述弹片的另一端与卡勾固定连接。
优选的，所述卡勾的上端固定连接有拨块，所述遮挡圈的外侧转块的上端固定连接有卡架，所述卡架为L形，所述卡架的一端为圆弧状，所述卡架为塑料材质。
优选的，所述固定圈的外侧开设有滑槽，所述滑槽的内侧滑动连接有滑块，所述滑块为T字形，所述滑块的后端与遮挡圈固定连接。
优选的，所述炉门主体的外侧固定连接有转环，所述固定圈的内壁开设有卡槽，所述转环转动连接在卡槽的内侧，所述转环与卡槽相契合。
优选的，所述炉门主体的外侧转环的下方开设有卡口，所述支撑环的上端固定连接有卡杆，所述卡杆为L形，所述卡杆的外侧为弧面，所述卡口包括竖槽和横槽，所述横槽与卡杆相契合，所述炉门主体的下端固定连接有密封圈，所述密封圈与真空腔体主体相契合。
优选的，所述连接组件包括U型板，所述U型板的内侧通过阻尼转轴转动连接有转杆。所述转杆的前后两端通过阻尼转轴转动连接有两组转筒，两组所述转筒共同固定连接有转板，所述固定圈的上端固定连接有连接板，所述连接板的上端固定连接有两组固定块，所述固定块的内侧通过阻尼转轴转动连接有连接筒，所述连接筒与转板固定连接。
优选的，所述连接板的上端转动连接有连接柱，所述连接柱的上端固定连接有转耳，所述连接柱的下端与炉门主体固定连接。
有益效果
与现有技术相比，本发明提供了电子束蒸发台工艺真空腔体炉门，具备以下有益效果：
1、该电子束蒸发台工艺真空腔体炉门，拉动炉门主体时连接板会带动连接筒在两组固定块之间转动，能够保证炉门主体始终与真空腔体主体垂直，方便炉门主体安装到真空腔体主体的上端，扳动转板能够带动转筒在转杆的前后两端转动，转动转杆在U型板的内侧转动，能够调整转杆的角度，方便调整炉门主体的位置，防止炉门主体影响工作人员操作真空腔体主体。
2、该电子束蒸发台工艺真空腔体炉门，按压炉门主体带动密封圈插入真空腔体主体的内侧，将真空腔体主体密封，卡杆卡入卡口的内侧，通过转耳能够方便连接柱带动炉门主体转动，可以带动炉门主体在支撑环上转动使卡杆卡入横槽内侧，将炉门主体固定，防止炉门主体从真空腔体主体上脱落，炉门主体转动的同时会带动转环在卡槽的内侧转动，通过转环能够进一步的将真空腔体主体密封，防止真空腔体主体泄漏，推动遮挡圈使滑块在滑槽的内侧滑动，使遮挡圈将固定圈与支撑环之间的缝隙密封，然后拉动拨块使卡勾从卡架的内侧移出，通过弹片能够卡勾在连接轴上转动，使卡勾卡到支撑环的下端，使遮挡圈固定，防止遮挡圈从缝隙上移开，且能够进一步的使固定圈与支撑环相互连接；进一步的使炉门主体固定。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明的剖视图一；
图3为本发明的A部分放大结构示意图；
图4为本发明的剖视图二；
图5为本发明的B部分放大结构示意图；
图6为本发明的剖视图三；
图7为本发明的部分结构示意图。
图中：1、真空腔体主体；2、支撑环；3、固定圈；4、遮挡组件；41、遮挡圈；42、转块；43、连接轴；44、卡勾；45、弹片；46、卡架；47、拨块；48、滑槽；49、滑块；5、密封组件；51、炉门主体；52、转环；53、卡口；54、卡杆；55、卡槽；56、密封圈；6、连接组件；61、U型板；62、转杆；63、转筒；64、转板；65、连接板；66、固定块；67、连接筒；68、连接柱；69、转耳。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-7，电子束蒸发台工艺真空腔体炉门，包括真空腔体主体1真空腔体主体1的上端固定连接有支撑环2，支撑环2的上端活动连接有固定圈 3，固定圈3的外侧设置有能够将支撑环2和固定圈3之间缝隙密封的遮挡组件4，固定圈3的内侧设置有能够将真空腔体主体1密封的密封组件5，密封组件5的包括炉门主体51，炉门主体51的上端设置有用于将炉门主体51和真空腔体主体1活动连接的连接组件6。
本实施例中，遮挡组件4包括滑动连接在固定圈3外侧的遮挡圈41，遮挡圈41的外侧固定连接有六组转块42，每两组转块42之间固定连接有连接轴43，连接轴43的外侧转动连接有卡勾44，卡勾44为L形，连接轴43的外侧卡勾44的内侧设置有弹片45，弹片45的一端与连接轴43固定连接，弹片45的另一端与卡勾44固定连接。
卡勾44的上端固定连接有拨块47，遮挡圈41的外侧转块42的上端固定连接有卡架46，卡架46为L形，卡架46的一端为圆弧状，卡架46为塑料材质。
具体的，拉动拨块47使卡勾44从卡架46的内侧移出，通过弹片45能够卡勾44在连接轴43上转动，使卡勾44卡到支撑环2的下端，使遮挡圈41 固定，防止遮挡圈41从缝隙上移开，且能够进一步的使固定圈3与支撑环2 相互连接；进一步的使炉门主体51固定，通过拨块47能够方便卡勾44的拉动，通过卡架46能够将卡勾44卡住，方便卡勾44固定。
本实施例中，固定圈3的外侧开设有滑槽48，滑槽48的内侧滑动连接有滑块49，滑块49为T字形，滑块49的后端与遮挡圈41固定连接。
具体的，推动遮挡圈41使滑块49在滑槽48的内侧滑动，使遮挡圈41 将固定圈3与支撑环2之间的缝隙密封，通过滑块49、滑槽48能够方便遮挡圈41滑动，方便遮挡圈41收回。
本实施例中，炉门主体51的外侧固定连接有转环52，固定圈3的内壁开设有卡槽55，转环52转动连接在卡槽55的内侧，转环52与卡槽55相契合。
具体的，炉门主体51转动的同时会带动转环52在卡槽55的内侧转动，通过转环52能够进一步的将真空腔体主体1密封，防止真空腔体主体1泄漏。
本实施例中，炉门主体51的外侧转环52的下方开设有卡口53，支撑环 2的上端固定连接有卡杆54，卡杆54为L形，卡杆54的外侧为弧面，卡口 53包括竖槽和横槽，横槽与卡杆54相契合，炉门主体51的下端固定连接有密封圈56，密封圈56与真空腔体主体1相契合。
具体的，按压炉门主体51带动密封圈56插入真空腔体主体1的内侧，将真空腔体主体1密封，卡杆54卡入卡口53的内侧，通过转耳69能够方便连接柱68带动炉门主体51转动，可以带动炉门主体51在支撑环2上转动使卡杆54卡入横槽内侧，将炉门主体51固定，防止炉门主体51从真空腔体主体1上脱落。
本实施例中，连接组件6包括U型板61，U型板61的内侧通过阻尼转轴转动连接有转杆62。转杆62的前后两端通过阻尼转轴转动连接有两组转筒 63，两组转筒63共同固定连接有转板64，固定圈3的上端固定连接有连接板 65，连接板65的上端固定连接有两组固定块66，固定块66的内侧通过阻尼转轴转动连接有连接筒67，连接筒67与转板64固定连接。
具体的，扳动转板64能够带动转筒63在转杆62的前后两端转动，转动转杆62在U型板61的内侧转动，能够调整转杆62的角度，方便调整炉门主体51的位置，防止炉门主体51影响工作人员操作真空腔体主体1。
本实施例中，连接板65的上端转动连接有连接柱68，连接柱68的上端固定连接有转耳69，连接柱68的下端与炉门主体51固定连接。
具体的，拉动炉门主体51时连接板65会带动连接筒67在两组固定块66 之间转动，能够保证炉门主体51始终与真空腔体主体1垂直，方便炉门主体 51安装到真空腔体主体1的上端。
工作时，按压炉门主体51带动密封圈56插入真空腔体主体1的内侧，使卡杆54卡入卡口53的内侧，转动转耳69带动连接柱68在连接板65上转动，可以带动炉门主体51在支撑环2上转动使卡杆54卡入横槽内侧，将炉门主体51固定，炉门主体51转动的同时会带动转环52在卡槽55的内侧转动，推动遮挡圈41使滑块49在滑槽48的内侧滑动，使遮挡圈41将固定圈3 与支撑环2之间的缝隙密封，然后拉动拨块47使卡勾44从卡架46的内侧移出，弹片45会收缩带动卡勾44在连接轴43上转动，使卡勾44卡到支撑环2 的下端，拉动炉门主体51时连接板65会带动连接筒67在两组固定块66之间转动，能够保证炉门主体51始终与真空腔体主体1垂直，扳动转板64能够带动转筒63在转杆62的前后两端转动，转动转杆62在U型板61的内侧转动，能够调整转杆62的角度，方便调整炉门主体51的位置。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (8)
1.电子束蒸发台工艺真空腔体炉门，包括真空腔体主体(1)，其特征在于：所述真空腔体主体(1)的上端固定连接有支撑环(2)，所述支撑环(2)的上端活动连接有固定圈(3)，所述固定圈(3)的外侧设置有能够将支撑环(2)和固定圈(3)之间缝隙密封的遮挡组件(4)，所述固定圈(3)的内侧设置有能够将真空腔体主体(1)密封的密封组件(5)，所述密封组件(5)的包括炉门主体(51)，所述炉门主体(51)的上端设置有用于将炉门主体(51)和真空腔体主体(1)活动连接的连接组件(6)。
2.根据权利要求1所述的电子束蒸发台工艺真空腔体炉门，其特征在于，所述遮挡组件(4)包括滑动连接在固定圈(3)外侧的遮挡圈(41)，所述遮挡圈(41)的外侧固定连接有六组转块(42)，每两组转块(42)之间固定连接有连接轴(43)，所述连接轴(43)的外侧转动连接有卡勾(44)，所述卡勾(44)为L形，所述连接轴(43)的外侧卡勾(44)的内侧设置有弹片(45)，所述弹片(45)的一端与连接轴(43)固定连接，所述弹片(45)的另一端与卡勾(44)固定连接。
3.根据权利要求2所述的电子束蒸发台工艺真空腔体炉门，其特征在于，所述卡勾(44)的上端固定连接有拨块(47)，所述遮挡圈(41)的外侧转块(42)的上端固定连接有卡架(46)，所述卡架(46)为L形，所述卡架(46)的一端为圆弧状，所述卡架(46)为塑料材质。
4.根据权利要求3所述的电子束蒸发台工艺真空腔体炉门，其特征在于，所述固定圈(3)的外侧开设有滑槽(48)，所述滑槽(48)的内侧滑动连接有滑块(49)，所述滑块(49)为T字形，所述滑块(49)的后端与遮挡圈(41)固定连接。
5.根据权利要求1所述的电子束蒸发台工艺真空腔体炉门，其特征在于：所述炉门主体(51)的外侧固定连接有转环(52)，所述固定圈(3)的内壁开设有卡槽(55)，所述转环(52)转动连接在卡槽(55)的内侧，所述转环(52)与卡槽(55)相契合。
6.根据权利要求5所述的电子束蒸发台工艺真空腔体炉门，其特征在于：所述炉门主体(51)的外侧转环(52)的下方开设有卡口(53)，所述支撑环(2)的上端固定连接有卡杆(54)，所述卡杆(54)为L形，所述卡杆(54)的外侧为弧面，所述卡口(53)包括竖槽和横槽，所述横槽与卡杆(54)相契合，所述炉门主体(51)的下端固定连接有密封圈(56)，所述密封圈(56)与真空腔体主体(1)相契合。
7.根据权利要求1所述的电子束蒸发台工艺真空腔体炉门，其特征在于：所述连接组件(6)包括U型板(61)，所述U型板(61)的内侧通过阻尼转轴转动连接有转杆(62)，所述转杆(62)的前后两端通过阻尼转轴转动连接有两组转筒(63)，两组所述转筒(63)共同固定连接有转板(64)，所述固定圈(3)的上端固定连接有连接板(65)，所述连接板(65)的上端固定连接有两组固定块(66)，所述固定块(66)的内侧通过阻尼转轴转动连接有连接筒(67)，所述连接筒(67)与转板(64)固定连接。
8.根据权利要求7所述的电子束蒸发台工艺真空腔体炉门，其特征在于：所述连接板(65)的上端转动连接有连接柱(68)，所述连接柱(68)的上端固定连接有转耳(69)，所述连接柱(68)的下端与炉门主体(51)固定连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210628794.0A CN115233180A (zh) | 2022-06-06 | 2022-06-06 | 电子束蒸发台工艺真空腔体炉门 |
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|---|---|---|---|
| CN202210628794.0A CN115233180A (zh) | 2022-06-06 | 2022-06-06 | 电子束蒸发台工艺真空腔体炉门 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN115233180A true CN115233180A (zh) | 2022-10-25 |
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ID=83668665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202210628794.0A Pending CN115233180A (zh) | 2022-06-06 | 2022-06-06 | 电子束蒸发台工艺真空腔体炉门 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN115233180A (zh) |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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