CN215510300U - 全自动单面减薄系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种全自动单面减薄系统，包括多轴机械手、承载单元及减薄单元，所述承载单元与所述多轴机械手对应设置；所述减薄单元的数量至少设置有两个，两个所述减薄单元与所述多轴机械手对应设置；每个所述减薄单元均包括砂轮件、与所述砂轮件对应设置的固定件；所述多轴机械手能够抓取位于所述承载单元上的料件并转移至所述固定件上；所述砂轮件能够与位于固定件上的料件抵接，所述砂轮件能够绕顺时针方向转动；所述固定件能够带动料件相对所述砂轮件绕逆时针方向转动。本实用新型至少包括以下优点：利用多轴机械手配合多个减薄单元，且利用减薄单元的双向旋转，能够有效实现上料及加工的高效性。

Description

全自动单面减薄系统

技术领域

本实用新型涉及自动化技术领域，具体的是一种全自动单面减薄系统。

背景技术

本部分的描述仅提供与本实用新型公开相关的背景信息，而不构成现有技术。

随着科技的快速发展，工业自动化的普及程度越来越高，但是如何合理配置各工位之间的关联，以有效保证高效率的生产，是目前需要解决的技术问题。

其中以晶元的生产加工为例，晶元成薄片状材料，在加工的过程中对其厚度具有预设要求，通常将晶元从承载工位转移至加工工位后，会对晶元的表面进行磨削处理。现有的生产流水线，一个承载工位通常只能对应一个料件，进而一个承载工位通常只对应一个加工工位，为了保证高效生产效率，通常会设置有多个相同的流水线。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本实用新型的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

实用新型内容

为了克服现有技术中的缺陷，本实用新型实施例提供了一种全自动单面减薄系统，其利用多轴机械手配合多个减薄单元，且利用减薄单元的双向旋转，能够有效实现上料及加工的高效性。

本申请实施例公开了：一种全自动单面减薄系统，包括多轴机械手、承载单元及减薄单元，

所述承载单元能够承载至少两个料件，所述承载单元与所述多轴机械手对应设置；

所述减薄单元的数量至少设置有两个，两个所述减薄单元分别位于所述承载单元的两侧，且与所述多轴机械手对应设置；

每个所述减薄单元均包括砂轮件、与所述砂轮件对应设置的固定件；

所述多轴机械手能够抓取位于所述承载单元上的料件并转移至所述固定件上；

所述砂轮件能够与位于固定件上的料件抵接，所述砂轮件能够绕顺时针方向转动；

所述固定件能够带动料件相对所述砂轮件绕逆时针方向转动，

所述砂轮件包括调节部、位于调节件输出端上的驱动部、设置在所述驱动部上的金刚石砂轮，所述调节部能够带动所述驱动部朝向料件移动，所述调节部在所述金刚石砂轮与料件抵接后带动驱动部朝向料件移动的距离与所述金刚石砂轮转动的时间呈正比。

进一步地，所述驱动部的转速在2400-2600rmp之间。

进一步地，所述调节部包括伺服电机、与所述伺服电机驱动连接的滚珠丝杠及导轨，所述驱动部设置在所述滚珠丝杠上，所述驱动部相对所述导轨滑动设置。

进一步地，所述承载单元包括承载平台、位于所述承载平台上的卡塞式承载架，所述承载架上设置有多个能够承载料件的承载板，多个所述承载板沿竖直方向间隔设置。

进一步地，还包括与所述砂轮件对应设置的冷却件，所述冷却件能够对所述砂轮件喷淋冷却液。

进一步地，所述冷却件的喷淋压力在0.2-0.3Mpa之间，喷淋流速在6.5-7.5L/min之间。

进一步地，还包括清洗单元，所述清洗单元与所述多轴机械手对应设置，所述清洗单元用于对经过所述减薄单元工序后的料件进行清洗。

借由以上的技术方案，本实用新型的有益效果如下：利用多轴机械手配合多个减薄单元，且利用减薄单元的双向旋转，能够有效实现上料及加工的高效性。

为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例中的整体装置结构示意图；

图2是本实用新型实施例中的整体装置结构俯视图；

图3是本实用新型实施例中的部分装置结构示意图。

以上附图的附图标记：1、多轴机械手；2、承载单元；3、减薄单元；4、砂轮件；5、固定件；6、滚珠丝杠；7、导轨；8、承载架；9、承载板；10、清洗单元。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，在本实用新型的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的和区别类似的对象，两者之间并不存在先后顺序，也不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

结合图1至图3所示，本实施例中公开了一种全自动单面减薄系统，包括多轴机械手1、承载单元2及减薄单元3。所述承载单元2能够承载至少两个料件，该承载单元2位于所述多轴机械手1的左侧，且所述承载单元2能够与所述多轴机械手1对应设置。所述减薄单元3的数量设置有两个，两个所述减薄单元3分别位于所述承载单元2的前侧和后侧，且两个所述减薄单元3能够分别与所述多轴机械手1对应设置。通过上述的设置方式，利用多轴机械手1配合两个减薄单元3，间隔地从所述承载单元2上进行持续取料，进而分步运行两个所述减薄单元3以能够有效实现料件加工的高效性。

本实施方式中，所述承载单元2包括承载平台、位于所述承载平台上的卡塞式承载架8，所述承载架8上设置有多个能够承载料件的承载板9，多个所述承载板9沿竖直方向间隔设置。具体地，多个所述承载板9均位于水平面内，每个所述承载板9上均承载有对应的料件。其中所述多轴机械手1能够夹取其中一个所述承载板9，然后将该承载板9和位于该承载板9上的料件一起转移至对应的所述减薄单元3上。值得注意的是，该料件可以为晶元。

本实施方式中，所述减薄单元3包括砂轮件4和固定件5，其中所述砂轮件4位于所述固定件5的上方，优选地，两者正对设置。其中所述固定件5采用负压吸附的方式能够分别对所述承载板9、位于所述承载板9上的料件进行固定。

所述砂轮件4包括调节部、位于调节件输出端上的驱动部、设置在所述驱动部上的金刚石砂轮。所述调节部能够带动所述驱动部朝向料件移动，且能够使得所述金刚石砂轮与晶元的上表面抵触。上述的设置方式中，所述砂轮件4能够绕顺时针方向转动，进而能够对晶元表面进行有效地磨削。值得注意的是，所述调节部在所述金刚石砂轮与料件抵接后带动驱动部朝向料件移动的距离与所述金刚石砂轮转动的时间呈正比。可以理解为，在磨削的过程中，所述调节部能够驱动所述金刚石砂轮缓慢向下匀速移动，进而将晶元加工呈预设厚度，满足使用需求。本方式中的所述驱动部采用高精密的电主轴，其转速在2400-2600rmp之间。

值得注意的是，本实施方式中，所述固定件5能够带动料件相对所述砂轮件4绕逆时针方向转动，结合所述砂轮件4事绕顺时针方向转动的设置，相对于之前仅砂轮件4转动的方式，本申请可以提高一倍的加工速率，进而能够保持较好的高效性。

本实施方式中，所述调节部包括伺服电机、与所述伺服电机驱动连接的滚珠丝杠6及导轨7。其中所述滚珠丝杠6沿上下方向延伸，所述驱动部固定设置在所述滚珠丝杠6的滑动上，进而使得所述滚珠丝杠6能够带动所述驱动部在上下方向上精密移动。优选地，所述导轨7固定设置在外部设备上，且沿上下方向延伸。所述驱动部通过滑块件能够滑动设置在所述导轨7的轨道上，进而使得所述驱动部在上下方向上移动的过程中，具有较好的导向作用，也能够降低所述驱动件摆动现象的产生。

本实施方式中，该系统还包括与所述砂轮件4对应设置的冷却件，所述冷却件能够对所述砂轮件4喷淋冷却液。优选地，所述冷却件的喷淋压力在0.2-0.3Mpa之间，喷淋流速在6.5-7.5L/min之间。通过上述的设置方式，该冷却件能够在加工过程处于低负荷状态，使得晶元上的切削力较为均匀平稳。

本实施方式中，该系统还包括清洗单元10，所述清洗单元10位于所述多轴机械手1的右侧，且与所述多轴机械手1对应设置。所述清洗单元10用于对经过所述减薄单元3工序后的料件进行清洗，通常是采用毛刷对切削后的晶元进行刷洗，以保证减薄完成后晶元表面的初步清洁。

本实用新型中应用了具体实施例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (7)

1.一种全自动单面减薄系统，其特征在于，包括多轴机械手、承载单元及减薄单元，

所述承载单元能够承载至少两个料件，所述承载单元与所述多轴机械手对应设置；

所述减薄单元的数量至少设置有两个，两个所述减薄单元分别位于所述承载单元的两侧，且与所述多轴机械手对应设置；

每个所述减薄单元均包括砂轮件、与所述砂轮件对应设置的固定件；

所述多轴机械手能够抓取位于所述承载单元上的料件并转移至所述固定件上；

所述砂轮件能够与位于固定件上的料件抵接，所述砂轮件能够绕顺时针方向转动；

所述固定件能够带动料件相对所述砂轮件绕逆时针方向转动；

所述砂轮件包括调节部、位于调节件输出端上的驱动部、设置在所述驱动部上的金刚石砂轮，所述调节部能够带动所述驱动部朝向料件移动，所述调节部在所述金刚石砂轮与料件抵接后带动驱动部朝向料件移动的距离与所述金刚石砂轮转动的时间呈正比。

2.如权利要求1所述的全自动单面减薄系统，其特征在于，所述驱动部的转速在2400-2600rmp之间。

3.如权利要求2所述的全自动单面减薄系统，其特征在于，所述调节部包括伺服电机、与所述伺服电机驱动连接的滚珠丝杠及导轨，所述驱动部设置在所述滚珠丝杠上，所述驱动部相对所述导轨滑动设置。

4.如权利要求1所述的全自动单面减薄系统，其特征在于，所述承载单元包括承载平台、位于所述承载平台上的卡塞式承载架，所述承载架上设置有多个能够承载料件的承载板，多个所述承载板沿竖直方向间隔设置。

5.如权利要求1所述的全自动单面减薄系统，其特征在于，还包括与所述砂轮件对应设置的冷却件，所述冷却件能够对所述砂轮件喷淋冷却液。

6.如权利要求5所述的全自动单面减薄系统，其特征在于，所述冷却件的喷淋压力在0.2-0.3Mpa之间，喷淋流速在6.5-7.5L/min之间。

7.如权利要求1所述的全自动单面减薄系统，其特征在于，还包括清洗单元，所述清洗单元与所述多轴机械手对应设置，所述清洗单元用于对经过所述减薄单元工序后的料件进行清洗。

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