CN215469955U - 便于清理工作台的超声波打孔机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种便于清理工作台的超声波打孔机，应用在硅片超声波打孔设备领域，解决了现有超声波打孔机工作台上悬浮液难清理的问题，其技术方案要点是包括机架和工作台，机架上方设置有支撑架，支撑架滑动连接有打孔机头；工作台上设有夹持组件，夹持组件包括固定板、开设于工作台的滑道和与工作台滑动连接的滑块；工作台外周延伸有挡板，工作台开设有与滑道连通的排水孔，排水孔连接有悬浮液循环组件和清洗组件；清洗组件包括出水管和与排水孔连接的废液箱；具有的技术效果是通过设置夹持组件，将夹持组件的固定方式由螺栓固定更改为滑动抵压方式，同时使滑道与排水孔相连，便于对滑道内的杂物进行清理。

Description

便于清理工作台的超声波打孔机

技术领域

本实用新型涉及硅片超声波打孔设备领域，特别涉及一种便于清理工作台的超声波打孔机。

背景技术

目前，公告号为CN204844523U的中国专利申请公布了一种超声波打孔机，包括工作台面，工作台面一侧安装钢立柱，钢立柱的顶部设置有控制钢立柱伸缩的升降手轮，钢立柱的衔接杆上安装有波头安装桶，波头安装桶的顶部设置有散热风扇，波头安装通的底部设置有锁紧机构，锁紧机构通过超声波变幅杆衔接工具头，工具头下方设置有水箱，工作台面的表面安装有超声波发生器面板。

这种超声波打孔机虽然实现了打孔功能，但在实际的使用过程中，超声波打孔是磨料在超声波振动作用下的机械撞击和剖磨作用与超声波空化作用的综合结果，磨料的连续冲击是打孔的主要因素；在这一过程中，磨料不断损耗而变钝，因此需要不断更新循环携带磨料的悬浮工作液，工作台上往往设置有诸多固定工件的夹具，为了固定这些夹具，工作台台面上设有许多螺栓孔，磨料流入这些螺纹孔内往往很难进行清理。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种便于清理工作台的超声波打孔机，其优点是便于清理工作台面。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种便于清理工作台的超声波打孔机，包括机架和设置在机架上的工作台，所述机架上方设置有支撑架，所述支撑架滑动连接有打孔机头，所述打孔机头上设置有打孔针头；所述支撑架内设有超声波发生器；所述工作台上设有用于夹持工件的夹持组件，所述夹持组件包括固定于工作台的固定板、开设于工作台的滑道和沿滑道与工作台滑动连接的滑块；所述工作台外周向上延伸有挡板，所述工作台的边缘处开设有排水孔，所述滑道与排水孔连通；所述排水孔连接有悬浮液循环组件和清洗组件；所述清洗组件包括设置在打孔机头上的出水管和与排水孔连接的废液箱。

通过上述技术方案，固定板固定于工作台，用于固定工件一侧，滑块沿滑道滑动，固定工件的其他侧面，从而将工件固定；挡板设置在工作台的外周，防止悬浮液流出；排水孔设置在工作台的内侧边缘处，用于排出工作台内的悬浮液；滑道和排水孔连通，便于滑道内的杂物排至排水孔处；出水管设置在打孔机头上，便于对工作台和滑道进行冲洗；废液箱与排水孔连接，用于收集工作台和滑道内的杂物；悬浮液循环组件用于工作台内悬浮液的循环更换。

本实用新型进一步设置为：所述悬浮液循环组件包括喷嘴朝向工件的喷头、与排水孔连通的水箱和连通喷头与水箱的输水管。

通过上述技术方案，喷头的喷嘴朝向工件，便于更换工件处的悬浮液，加快悬浮液中磨料的更换速度，进而提高开孔速度；水箱用于收集循环过的悬浮液，便于再次使用；输水管设置在水箱和喷头之间，用于连接喷头和水箱。

本实用新型进一步设置为：所述排水孔连接有排水管，所述排水管与水箱、废液箱之间设有变换阀门。

通过上述技术方案，排水管与水箱、废液箱之间设有变换阀门，排水管可调整与水箱、废液箱两者其中之一连通；清理工作台和滑道时，排水管与废料箱连通收集废料；打孔过程中，排水管与水箱连通循环悬浮液。

本实用新型进一步设置为：所述滑块包括设置在滑道内的滑动部、与滑动部连接的抵接板和贯穿抵接板的旋紧螺栓。

通过上述技术方案，滑动部沿滑道滑动，限定滑块移动的方向；固定板与滑动部连接，防止滑块脱离滑道；锁紧螺栓贯穿固定板与滑动部连接，用于固定滑块位置。

本实用新型进一步设置为：所述工作台为圆形工作台，所述挡板上方设有防止悬浮液溅出的环形挡块。

通过上述技术方案，工作台为圆形工作台，便于加工硅盘；环形挡块设置在挡板上方，防止悬浮液由喷头喷至工件和针头后，反弹溅射至工作台外。

本实用新型进一步设置为：所述打孔机头设有安装板，所述安装板上设有安装孔，所述出水管插接于安装孔内。

通过上述技术方案，出水管固定安装孔处，随打孔针头的移动而清理工作台；出水管与打孔针头插接配合，便于取下出水管，对工作台和滑道未清理干净处再次冲洗。

本实用新型进一步设置为：所述工作台与工件之间设有垫板。

通过上述技术方案，工件打孔打穿后，针头和磨料撞击垫板，进而保护工作台，防止工作台损坏。

本实用新型进一步设置为：所述机架下方设有水平调节脚。

通过上述技术方案，水平调节脚设置在机架下方，便于将工作台调整为水平，防止打孔时孔深度大小不一，打出的孔倾斜。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1.通过设置夹持组件，便于对工件进行夹持，夹持组件的固定方式由螺栓固定更改为滑动抵压方式，同时使滑道与排水孔相连，便于对滑道内的杂物进行清理；

2.通过设置废液箱和水箱，废液箱便于收集废液、杂物，水箱用于悬浮液循环；排水管与水箱、废液箱之间设有变换阀门，便于调整排水管的连接对象，进而便于打孔机在打孔和清理两种状态之间转换。

附图说明

图1是本实施例的整体结构示意图；

图2是本实施例的悬浮液循环组件的结构示意图；

图3是本实施例的夹持组件的爆炸示意图；

图4是本实施例的变换阀门与排水管的爆炸示意图。

附图标记：1、机架；2、工作台；3、支撑架；4、悬浮液循环组件；5、清洗组件；6、超声波发生器；7、夹持组件；8、固定板；9、滑道；10、滑块；11、挡板；13、打孔机头；14、打孔针头；15、出水管；16、废液箱；17、喷头；18、水箱；19、输水管；20、排水管；21、变换阀门；22、滑动部；23、抵接板；24、旋紧螺栓；25、环形挡块；26、水平调节脚；27、支撑板；28、连接板；29、第一丝杆；30、伺服电机；31、滑动架；32、主轴箱；33、安装板；34、垫板；35、连接管；36、废液管；37、悬浮液管；38、连通管；39、旋转螺栓。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

实施例：

参考图1、图2和图3，一种便于清理工作台的超声波打孔机，包括机架1和与机架1连接的工作台2、支撑架3、超声波发生器6、悬浮液循环组件4、清洗组件5，工作台2内设有夹持组件7，支撑架3上连接有打孔机头13；机架1用于安装其他组件，工作台2为工件加工面；支撑架3与机架1固定连接，用于安装打孔机头13；超声波发生器6设置在机架1内，用于控制超声波频率；悬浮液循环组件4用于工作台2内悬浮液的循环，清理组件设置在工作台2上，用于清理工作台2；夹持组件7固定于工作台2上方，打孔机头13与支撑架3滑动连接。

参考图1，机架1正方体框状，其底部四角设有水平调节脚26，水平调节脚26包括与机架1固定连接的螺纹套和与螺纹套螺纹连接的螺纹杆，螺纹杆远离螺纹套的一端设有端帽；超声波发生器6固定于机架1上侧；支撑架3包括设置在机架1上方的两根支撑板27和连接两支撑板27的连接板28，两支撑板27靠近连接板28的一端设有轴承座，轴承座连接有第一丝杆29，第一丝杆29一端连接有伺服电机30；打孔机头13上设有滑动架31，滑动架31开有供连接板28穿过的通孔和与第一丝杆29螺纹配合的螺纹孔；打孔机头13上滑动连接有主轴箱32，主轴箱32下方设有打孔针头14；打孔机头13上开有滑轨，主轴箱32设置在滑轨内，主轴箱32的两侧设有安装板33，安装板33远离主轴箱32的一端开有安装孔；打孔机头13的上方固定连接有动力源，动力源连接有第二丝杆，主轴箱32开有与第二丝杆螺纹连接的螺纹孔。

参考图2和图3，工作台2呈圆形，其外侧向上延伸有挡板11，挡板11远离支撑板27的一侧还向上延伸有环形挡块25；夹持组件7包括设置在工作台2上靠近环形挡块25的固定板8、开设在工作台2上的滑道9和沿滑道9滑动的滑块10，固定板8与滑块10之间还设有垫板34，垫板34与工作台2相抵；滑道9设置有三条，三条滑道9相互连通；其中两条滑道9靠近挡板11处开有排水孔，排水孔贯穿工作台2，便于悬浮液流出工作台2；固定板8呈圆弧形，便于夹持圆盘状工件;滑块10包括沿滑轨滑动的滑动部22、设置在工作台2上方的抵接板23和贯穿抵接板23的旋紧螺栓24；滑动部22呈T字形，其下侧固定于滑道9内，其上侧开有与旋紧螺栓24匹配的螺栓孔，抵接板23与滑动部22相抵于滑道9上壁的上下两侧；抵接板23呈圆盘形，其与旋紧螺栓24固定连接；旋紧螺栓24一端设置于螺栓孔，另一端设有螺帽。

参考图1和图2，悬浮液循环组件4包括喷嘴朝向工件的喷头17、设置在机架1内的水箱18和连通喷头17和水箱18的输水管19；输水管19包括软管与拉伸管两部分，拉伸管为不锈钢制成，拉伸管固定于安装板33的安装孔内；水箱18后方设有水泵，水泵与软管连通，用于抽取水箱18内的悬浮液；清洗组件5包括设置在另一侧安装板33的出水管15和设置在机架1内的废液箱16，出水管15与安装板33插接配合，出水管15与自来水管连通，出水管15靠近端头处设有限位环。

参考图4，排水孔下方连接有排水管20，排水管20与水箱18、废液箱16之间设有变换阀门21;排水孔设置有两个，排水管20同样设有两个，两根排水管20在超声波发生器6下方交汇为一根，排水管20连接有连接管35，连接管35与排水管20密封连接，同时连接管35还密封连接有废液管36和悬浮液管37，废液管36与废液箱16连通，悬浮液管37与水箱18连通；变换阀门21包括与连接管35转动连接的连通管38和设置在远离连接管35一侧的旋转螺栓39；连通管38内设有L形的流道，L形流道顶端与排水管20连通。

本实用新型的工作过程和原理

工件放置在垫板34上方，工件一侧与固定板8贴合，其他侧与旋紧螺栓24的螺杆相抵，将工件固定，将连通管38内流道对准悬浮液管37，伺服电机30驱动第一丝杆29转动，带动打孔机头13左右移动，调整位置，动力源驱动第二丝杆转动，带动主轴箱32上下移动，超声波发生器6控制打孔针头14的振动频率，水泵抽取水箱18内的悬浮液，由喷头17喷至工件处，悬浮液内的磨料撞击工件，对工件开孔，多余的悬浮液穿过排水孔进入排水管20进而流入水箱18；开孔结束后，将连通管38内流道切换至对准废液箱16，出水管15喷出清水，冲洗工作台2面和滑道9，滑道9内的杂物随水流流至排水孔处，进而流入排水管20，最后流入废液箱16内。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (8)

1.一种便于清理工作台的超声波打孔机，

其特征在于，包括机架(1)和设置在机架(1)上的工作台(2)，所述机架(1)上方设置有支撑架(3)，所述支撑架(3)滑动连接有打孔机头(13)，所述打孔机头(13)上设置有打孔针头(14)；所述机架(1)内设有超声波发生器(6)；

所述工作台(2)上设有用于夹持工件的夹持组件(7)，所述夹持组件(7)包括固定于工作台(2)的固定板(8)、开设于工作台(2)的滑道(9)和沿滑道(9)与工作台(2)滑动连接的滑块(10)；

所述工作台(2)外周向上延伸有挡板(11)，所述工作台(2)内侧边缘处开设有排水孔，所述滑道(9)与排水孔连通；所述排水孔连接有悬浮液循环组件(4)和清洗组件(5)；

所述清洗组件(5)包括设置在打孔机头(13)上的出水管(15)和与排水孔连接的废液箱(16)。

2.根据权利要求1所述的便于清理工作台的超声波打孔机，其特征在于，所述悬浮液循环组件(4)包括喷嘴朝向工件的喷头(17)、与排水孔连通的水箱(18)和连通喷头(17)与水箱(18)的输水管(19)。

3.根据权利要求2所述的便于清理工作台的超声波打孔机，其特征在于，所述排水孔连接有排水管(20)，所述排水管(20)与水箱(18)、废液箱(16)之间设有变换阀门(21)。

4.根据权利要求3所述的便于清理工作台的超声波打孔机，其特征在于，所述滑块(10)包括设置在滑道(9)内的滑动部(22)、与滑动部(22)连接的抵接板(23)和贯穿抵接板(23)的旋紧螺栓(24)。

5.根据权利要求2所述的便于清理工作台的超声波打孔机，其特征在于，所述工作台(2)为圆形工作台，所述挡板(11)上方设有防止悬浮液溅出的环形挡块(25)。

6.根据权利要求1所述的便于清理工作台的超声波打孔机，其特征在于，所述打孔机头(13)设有安装板(33)，所述安装板(33)上设有安装孔，所述出水管(15)插接于安装孔内。

7.根据权利要求1所述的便于清理工作台的超声波打孔机，其特征在于，所述工作台(2)与工件之间设有垫板(34)。

8.根据权利要求1所述的便于清理工作台的超声波打孔机，其特征在于，所述机架(1)下方设有水平调节脚(26)。

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