CN215362995U - 一种具有稳定饱和蒸汽饱和度的mo源钢瓶 - Google Patents
一种具有稳定饱和蒸汽饱和度的mo源钢瓶 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种具有稳定饱和蒸汽饱和度的MO源钢瓶，钢瓶本体的上端固定安装有惰性气体进气管和MO源蒸汽出气管，惰性气体进气管包括位于MO源封装空间外部的外进气管段和位于MO源封装空间的内进气管段，内进气管段包括第一内进气管段单元和第二内进气管段单元，第一内进气管段单元与钢瓶本体密封固定连接，第二内进气管段单元的下端部靠近MO源封装空间的底部，同时下端部设有若干呈间隔分布的出气孔，出气孔的孔径范围不超过2mm；本实用新型明显增加了惰性气体与MO源混合溶液的接触面积，进而有效提高了MO源钢瓶输出的MO源蒸汽饱和度。
Description
技术领域
本实用新型属于MO源封装容器技术领域，具体涉及了一种具有稳定饱和蒸汽饱和度的MO源钢瓶。
背景技术
液态MO源作为一种应用于制备金属氧化物薄膜，它能很好地避免多源输送面临的复杂性问题。其方法是将各种MO源（比如液态镁源、液态铟源、电子级三甲基铝、液态膦源等）溶入有机溶剂，得到良好的MO源混合溶液并注入MO源钢瓶内，然后通过向MO源钢瓶的混合溶液内注入惰性气体得到气态MO源蒸汽，再经过流量控制送入反应室，这种方法的优点是简化了MO源输送方式，便于实现多种薄膜的交替沉积以获得超晶格结构。
由于单位体积的惰性气体与MO源混合溶液的接触面积越大，产生的蒸汽饱和度就越高，单位体积的惰性气体带出的MO源成分也就越多，因此MO源的交替沉积以及获得超晶格结构效果就更佳。然而本申请人发现:常规的惰性气体进气管采用大口径的出气口，惰性气体进入MO源混合溶液时容易形成单个大气泡，致使惰性气体的利用率较低，导致惰性气体带出的MO源成分偏少，进而造成生的蒸汽饱和度偏低、难于满足生产需求。
因此，本申请人希望寻求技术方案对以上技术问题进行改进。
发明内容
有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种具有稳定饱和蒸汽饱和度的MO源钢瓶，在避免产生单个大气泡的条件下，可以有效快速地向MO源封装空间注入惰性气体，明显增加了惰性气体与MO源混合溶液的接触面积，进而可以有效提高MO源钢瓶输出的MO源蒸汽饱和度。
本实用新型采用的技术方案如下：
一种具有稳定饱和蒸汽饱和度的MO源钢瓶，包括具有MO源封装空间的钢瓶本体，所述钢瓶本体的上端固定安装有惰性气体进气管和MO源蒸汽出气管，所述惰性气体进气管包括位于MO源封装空间外部的外进气管段和位于MO源封装空间的内进气管段，所述内进气管段包括第一内进气管段单元和第二内进气管段单元，所述第一内进气管段单元与所述钢瓶本体密封固定连接，所述第二内进气管段单元的下端部靠近所述MO源封装空间的底部，同时所述下端部设有若干呈间隔分布的出气孔，所述出气孔的孔径范围不超过2mm。
优选地，所述出气孔的内径范围为0.3-1mm。
优选地，所述下端部的侧壁设有若干沿轴向阵列分布的第一出气孔，所述下端部的底部设有若干沿径向阵列分布的第二出气孔。
优选地，所述第一出气孔的数量为4-30个，第二出气孔部的数量范围为3-8个。
优选地，所述第二内进气管段单元的下端部与所述MO源封装空间的底部之间具有间距，所述间距的范围为1-10mm，有利于惰性气体与MO源溶液的充分接触。
优选地，所述惰性气体进气管与所述钢瓶本体的中心线具有第一间距，所述第一间距的范围为15-40mm。
优选地，所述MO源蒸汽出气管与所述钢瓶本体的中心线具有第二间距，所述第二间距的范围为15-40mm。
优选地，所述MO源蒸汽出气管与所述惰性气体进气管相对于所述钢瓶本体的中心线呈对称分布，有效地提高MO源的蒸汽饱和度。
优选地，所述钢瓶本体的上端部安装有液位计和压力计，分别用于监测所述MO源钢瓶的液位以及监测所述MO源钢瓶的压力。
本申请通过特别提出在靠近MO源封装空间底部的惰性气体进气管下端部设置若干呈间隔分布的出气孔结构，确保出气孔的孔径范围不超过2mm，在实际工作时，当向惰性气体进气管实施注入惰性气体时，惰性气体通过第一内进气管段单元进入第二内进气管段单元，然后通过各出气孔将惰性气体注入MO源混合溶液中，在避免产生单个大气泡的条件下，可以有效快速地向MO源封装空间注入惰性气体，明显增加了惰性气体与MO源混合溶液的接触面积，进而可以有效提高MO源钢瓶输出的MO源蒸汽饱和度。
附图说明
图1是本申请具体实施方式下MO源钢瓶的结构示意图（带剖视效果）；
图2是图1的俯视图；
图3是图1中的A处结构放大图。
具体实施方式
本实用新型实施例公开了一种具有稳定饱和蒸汽饱和度的MO源钢瓶，包括具有MO源封装空间的钢瓶本体，钢瓶本体的上端固定安装有惰性气体进气管和MO源蒸汽出气管，惰性气体进气管包括位于MO源封装空间外部的外进气管段和位于MO源封装空间的内进气管段，内进气管段包括第一内进气管段单元和第二内进气管段单元，第一内进气管段单元与钢瓶本体密封固定连接，第二内进气管段单元的下端部靠近MO源封装空间的底部，同时下端部设有若干呈间隔分布的出气孔，出气孔的孔径范围不超过2mm。
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型中的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。
请参见图1、图2和图3所示，一种具有稳定饱和蒸汽饱和度的MO源钢瓶1，包括具有MO源封装空间10的钢瓶本体20，钢瓶本体20的上端固定安装有惰性气体进气管30和MO源蒸汽出气管40，优选地，在本实施方式中，钢瓶本体20的上端部安装有液位计50和压力计60，分别用于监测MO源钢瓶1的液位以及监测MO源钢瓶1的压力；
在本实施方式中，惰性气体进气管30包括位于MO源封装空间10外部的外进气管段31和位于MO源封装空间10的内进气管段，内进气管段包括第一内进气管段单元32a和第二内进气管段单元32b，第一内进气管段单元32a与钢瓶本体20密封固定连接，第二内进气管段单元32b的下端部靠近MO源封装空间10的底部，同时下端部设有若干呈间隔分布的出气孔，出气孔的孔径范围不超过2mm；
优选地，在本实施方式中，下端部的侧壁设有若干沿轴向阵列分布的第一出气孔33，下端部的底部设有若干沿径向阵列分布的第二出气孔34；具体优选地，第一出气孔33的数量为4-30个，在下端部34的轴向上呈阵列分布，第二出气孔部的数量范围为3-8个；更优选地，在本实施方式中，第一出气孔33、第二出气孔34的内径范围为0.3-1mm,两者的孔径规格可以相同，也可以不相同，保证惰性气体快速输出的同时避免了单个大气泡的产生；
优选地，在本实施方式中，第二内进气管段单元32b的下端部与MO源封装空间10的底部之间具有间距，间距的范围为1-10mm，有利于惰性气体与MO源溶液的充分接触；
优选地，为了进一步利于蒸汽饱和度，在本实施方式中，惰性气体进气管30与钢瓶本体20的中心线具有第一间距，第一间距的范围为15-40mm；MO源蒸汽出气管40与钢瓶本体20的中心线具有第二间距，第二间距的范围为15-40mm；MO源蒸汽出气管40与惰性气体进气管30相对于钢瓶本体20的中心线呈对称分布，有效地提高MO源的蒸汽饱和度。
本实施例通过特别提出在靠近MO源封装空间10底部的惰性气体进气管30下端部设置若干呈间隔分布的出气孔结构，确保出气孔的孔径范围不超过2mm，在实际工作时，当向惰性气体进气管30实施注入惰性气体时，惰性气体通过第一内进气管段单元32a进入第二内进气管段单元32b，然后通过各出气孔将惰性气体注入MO源混合溶液中，在避免产生单个大气泡的条件下，可以有效快速地向MO源封装空间10注入惰性气体，明显增加了惰性气体与MO源混合溶液的接触面积，进而可以有效提高MO源钢瓶1输出的MO源蒸汽饱和度。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (9)
1.一种具有稳定饱和蒸汽饱和度的MO源钢瓶，包括具有MO源封装空间的钢瓶本体，所述钢瓶本体的上端固定安装有惰性气体进气管和MO源蒸汽出气管，所述惰性气体进气管包括位于MO源封装空间外部的外进气管段和位于MO源封装空间的内进气管段，其特征在于，所述内进气管段包括第一内进气管段单元和第二内进气管段单元，所述第一内进气管段单元与所述钢瓶本体密封固定连接，所述第二内进气管段单元的下端部靠近所述MO源封装空间的底部，同时所述下端部设有若干呈间隔分布的出气孔，所述出气孔的孔径范围不超过2mm。
2.根据权利要求1所述的MO源钢瓶，其特征在于，所述出气孔的内径范围为0.3-1mm。
3.根据权利要求1所述的MO源钢瓶，其特征在于，所述下端部的侧壁设有若干沿轴向阵列分布的第一出气孔，所述下端部的底部设有若干沿径向阵列分布的第二出气孔。
4.根据权利要求3所述的MO源钢瓶，其特征在于，所述第一出气孔的数量为4-30个，第二出气孔部的数量范围为3-8个。
5.根据权利要求1所述的MO源钢瓶，其特征在于，所述第二内进气管段单元的下端部与所述MO源封装空间的底部之间具有间距，所述间距的范围为1-10mm，有利于惰性气体与MO源溶液的充分接触。
6.根据权利要求1所述的MO源钢瓶，其特征在于，所述惰性气体进气管与所述钢瓶本体的中心线具有第一间距，所述第一间距的范围为15-40mm。
7.根据权利要求6所述的MO源钢瓶，其特征在于，所述MO源蒸汽出气管与所述钢瓶本体的中心线具有第二间距，所述第二间距的范围为15-40mm。
8.根据权利要求6所述的MO源钢瓶，其特征在于，所述MO源蒸汽出气管与所述惰性气体进气管相对于所述钢瓶本体的中心线呈对称分布，有效地提高MO源的蒸汽饱和度。
9.根据权利要求1所述的MO源钢瓶，其特征在于，所述钢瓶本体的上端部安装有液位计和压力计，分别用于监测所述MO源钢瓶的液位以及监测所述MO源钢瓶的压力。
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| CN202121754779.8U CN215362995U (zh) | 2021-07-30 | 2021-07-30 | 一种具有稳定饱和蒸汽饱和度的mo源钢瓶 |
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2021
- 2021-07-30 CN CN202121754779.8U patent/CN215362995U/zh active Active
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