CN202816877U - 一种用于装载扩散液态源的源瓶 - Google Patents
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Abstract
一种用于装载扩散液态源的源瓶，包括瓶体，该瓶体设置有出口位于所述瓶体底部的进气管和入口位于所述瓶体上部的出气管，其特征在于：所述瓶体的底部设置有集源槽，所述进气管下端的进气孔设置于所述集源槽内；所述瓶体底部设置有加厚部，所述加厚部与所述集源槽位于所述瓶体底部的不同位置。本实用新型瓶底的加厚部抬高了瓶内液体的液面，减少了残留液体的浪费；气体通过两个方向不同的进气孔分流，增大了气体与液体的接触面积，增大了携液量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种生产用化学药品的容器，尤其涉及一种用于装载扩散液态源的源瓶。
背景技术
目前太阳能电池生产制造扩散过程中，多采用液态源POCl3作为磷源掺杂剂。在实际生产过程中，源瓶的进气管通入气体的N2，由N2携带POCl3通过源瓶的出气管送出，进入下一道工序进行生产，随生产的进行，液态源的液面在不断下降，从而减小了，N2的携源量，从而进入扩散炉管的POCl3量减少。
为保证产品质量，得到稳定的方块电阻，要求源瓶液位高度必须≧3cm，即淹没进气管道2cm以上，这样对于源瓶内部剩余的POCl3只能报废处理，造成了生产成本的增加，以1500ml源瓶为例，其在3cm液位时溶液体积为400ml，这些被浪费的POCl3也会在废液处理过程对环境的污染。
如专利公告号为CN201804844的专利公开了一种用于扩散工艺的源瓶，在瓶体底面局部向下凹陷形成一集源槽，进气管向瓶体内部延伸至接近所述集源槽的底面。该实用新型提高了源的利用率，降低了生产成本，但这种结构的集源瓶需要在瓶体底部加装支撑，放置稳固度不高，在通入气体时易引起震动，降低了可靠性。
实用新型内容
本实用新型为解决现有技术问题，提供一种利用率高、生产成本低、可靠性好的用于装载扩散液态源的源瓶。
本实用新型的技术方案是：一种用于装载扩散液态源的源瓶，包括瓶体，该瓶体设置有出口位于所述瓶体底部的进气管和入口位于所述瓶体上部的出气管，其特征在于：所述瓶体的底部设置有集源槽，所述进气管下端的进气孔设置于所述集源槽内；所述瓶体底部设置有加厚部，所述加厚部与所述集源槽位于所述瓶体底部的不同位置。
在源瓶的瓶底设置集源槽，并使进气管的管口处于集源槽内，以保持进气管的管口处于瓶体的最底部，气体在瓶内持续时间长，携液量大，加厚部用于提升瓶内非集源槽部位的液面高度，以减少瓶底残留液体的量。
作为优选，所述集源槽呈柱形。
作为优选，所述瓶体还设置有温度感应器，该温度感应器的探头设置于所述集源槽内。温度感应器的探头设置于瓶体的最底部，使得探头始终处于液面以下。
作为优选，所述温度感应器设置于所述进气管和出气管之间。湿度感应器设置于气体行进的行程中间，测量的数据为气体与液体充分混合后的湿度。
作为优选，所述进气孔设置有两个，且方向不同。通过进气管进入的气体从两个不同方向的进气孔进入源瓶，因此气体与液体接触的面积更大，混合更充分。
作为优选，两个所述进气孔的出气方向相反。
作为优选，两个所述进气孔的出气方向均沿所述集源槽的轴向。
作为优选，所述进气孔呈半圆形。
作为优选，所述瓶体的底部为平面。
作为优选，所述出气管的入口设置于所述瓶体内的上表面。
综上所述，本实用新型具有以下优点：
1、瓶底的加厚部抬高了瓶内液体的液面，减少了残留液体的浪费；
2、气体通过两个方向不同的进气孔分流，增大了气体与液体的接触面积，增大了携液量。
附图说明
图1为本实用新型结构解剖图。
图中，1、瓶体，2、进气管，21、进气孔，3、出气管，4、温度感应器，5、集源槽，6、加厚部。
具体实施方式
下面以实施例对本实用新型作进一步说明。
实施例一：
一种用于装载扩散液态源的源瓶，包括瓶体1，该瓶体1设置有出口位于瓶体1底部的进气管2和入口位于瓶体1上部的出气管3，瓶体1的底部设置有柱形的集源槽5，进气管2下端的两个方向沿集源槽5轴向相反的半圆形的进气孔21设置于集源槽5内；瓶体1底部设置有加厚部6，加厚部6与集源槽5位于瓶体1底部的不同位置；进气管2和出气管3之间还设置有温度感应器4，该温度感应器4的探头设置于集源槽5内。
工作时，瓶体1内承载着POCl3，从进气管2充入气态的N2，N2通过进气孔21进入瓶体2内，向出气管3流动，在流动过程中，N2与瓶体1内的液体POCl3相混合，并携带一部分液体POCl3分子，从出气管3流出。
以常规1500ml源瓶为例，传统的源瓶更换时残留液体POCl3含400ml，本实用新型源瓶更换时残留液体POCl3仅含170ml，可节约230ml POCl3，源液体POCl3的利用率从传统源瓶的73~77%提升至89%。
Claims (10)
1.一种用于装载扩散液态源的源瓶，包括瓶体（1），该瓶体（1）设置有出口位于所述瓶体（1）底部的进气管（2）和入口位于所述瓶体（1）上部的出气管（3），其特征在于：所述瓶体（1）的底部设置有集源槽（5），所述进气管（2）下端的进气孔（21）设置于所述集源槽（5）内；所述瓶体（1）底部设置有加厚部（6），所述加厚部（6）与所述集源槽（5）位于 所述瓶体（1）底部的不同位置。
2.根据权利要求1所述用于装载扩散液态源的源瓶，其特征在于：所述集源槽（5）呈柱形。
3.根据权利要求1或2所述用于装载扩散液态源的源瓶，其特征在于：所述瓶体（1）还设置有温度感应器（4），该温度感应器（4）的探头设置于所述集源槽（5）内。
4.根据权利要求3所述用于装载扩散液态源的源瓶，其特征在于：所述温度感应器（4）设置于所述进气管（2）和出气管（3）之间。
5.根据权利要求1所述用于装载扩散液态源的源瓶，其特征在于：所述进气孔（21）设置有两个，且方向不同。
6.根据权利要求5所述用于装载扩散液态源的源瓶，其特征在于：两个所述进气孔（21）的出气方向相反。
7.根据权利要求6所述用于装载扩散液态源的源瓶，其特征在于：两个所述进气孔（21）的出气方向均沿所述集源槽（5）的轴向。
8.根据权利要求7所述用于装载扩散液态源的源瓶，其特征在于：所述进气孔（21）呈半圆形。
9.根据权利要求1所述用于装载扩散液态源的源瓶，其特征在于：所述瓶体（1）的底部为平面。
10.根据权利要求1所述用于装载扩散液态源的源瓶，其特征在于：所述出气管（3）的入口设置于所述瓶体（1）内的上表面。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109440082A (zh) * | 2019-01-09 | 2019-03-08 | 合肥安德科铭半导体科技有限公司 | 一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶 |
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2012
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| CN109440082A (zh) * | 2019-01-09 | 2019-03-08 | 合肥安德科铭半导体科技有限公司 | 一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶 |
| CN109440082B (zh) * | 2019-01-09 | 2024-05-28 | 合肥安德科铭半导体科技有限公司 | 一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶 |
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