CN202786519U - 太阳能电池扩散用石英源瓶 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种太阳能电池扩散用石英源瓶，包括瓶身（1），进气管（2），出气管（3）和热电偶探头套管（4），其特征在于：所述的进气管（2）包括竖管（2-1），连接于竖管（2-1）下端与竖管连通的横管（2-2），所示的横管（2-2）上设置有若干出气孔（2-3）。本实用新型具有使得瓶内液面在很低的时候也能保证足够的源蒸汽，提高了三氯氧磷使用率的同时，也可以减小环境压力的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，具体为一种太阳能电池扩散用石英源瓶。
背景技术
太阳能电池制作过程中的扩散工序是在P型硅上沉积一层磷原子来形成PN结，现在大部分采用液态源进行扩散。主要是利用氮气通入盛有三氯氧磷的石英源瓶中携带三氯氧磷蒸汽到扩散炉管内。三氯氧磷与氧气反应生成单质磷，并在高温下趋入硅基体内形成N型半导体。
在现有技术中，扩散工序所用的石英源瓶如图1所示，包括石英源瓶瓶身1-1，源瓶的进气管1-2、出气管1-3、热电偶探头套管1-4。进气管1-2和出气管1-3在源瓶顶面的两侧，进气管1-2底部不密封，进气管1-2底部距源瓶底10mm，用于通入氮气携带三氯氧磷蒸汽经源瓶出气管1-3进入高位扩散炉内。热电偶探头套管1-4底部密封，使用过程中向热电偶探头套管里加入导热油后将热电偶探头插入该套管1-4中，用于检测液态源的温度。
在生产过程中，随着液态源（三氯氧磷）逐渐减少，由于采用单根进气管通氮气的方式，则进入瓶中的氮气与液态源的接触面积也减少，产生的源蒸汽（三氯氧磷蒸汽）变少，因此带入高温扩散炉管内的蒸汽逐渐变少。通常源瓶中液面高度在20mm时就需要更换三氯氧磷，这样不仅增加生产中三氯氧磷的耗损量，也会因废弃的三氯氧磷不便处理，给环境带来压力。
实用新型内容
本实用新型针对现有技术的上述不足，提供一种使得瓶内液面在很低（20mm）的时候也能保证足够的源蒸汽，提高了三氯氧磷使用率的同时，也可以减小环境压力的太阳能电池扩散用石英源瓶。
为实现上述技术效果，本实用新型采用的技术方案为：一种太阳能电池扩散用石英源瓶，包括瓶身，进气管，出气管和热电偶探头套管；所述的进气管包括竖管，连接于竖管下端与竖管连通的横管，所示的横管上设置若干出气孔。
采用上述结构，当进气管通入氮气时，氮气就可以沿着竖管进入横管再经过设置的若干出气孔均匀而又全方位的鼓出，与周围的液态源充分接触，增加了接触面积，当液态源在液面很低时仍可增加液态源的蒸汽，从而减少三氯氧磷的损失。
作为优选，所述的横管与瓶身的底部距离为2~6mm，目的是可以使横管上的出气孔在源瓶内的位置尽量低，从而可以增加氮气在液态源中的行程，增加液态源产生的蒸汽。
作为优选，所述的横管为环形管或多边形管，这样均可以达到增加氮气与液体源接触面积的效果。
作为进一步优选，所述的横管为环形管，所述的环形管上的出气孔沿着环形管圆周均匀分布，从而充分保证氮气与液态源均匀接触。
作为优选，所述的横管上均匀分布10～50个直径1mm～5mm的出气孔。
作为优选，所述横管上的出气孔其出气口竖直向下，以增加氮气在液体源中的行程，从而更加充分的利用液态源。
附图说明
图1现有技术中的石英源瓶结构示意图。
如图所示：1-1.瓶身、1-2.进气管、1-3.出气管、1-4.热电偶探头套管。
图2本实用新型石英源瓶结构示意图。
图3本实用新型石英源瓶仰视图结构示意图（瓶身以透明材料示例）。
如图所示：1.瓶身、2.进气管、2-1.竖管、2-2.横管、2-3.出气孔、3.出气管、4.热电偶探头套管。
具体实施方法
下面结合附图对本实用新型作进一步的详细描述。
如图2和图3所示，本实用新型的太阳能电池扩散用石英源瓶，包括瓶身1，设置于瓶身1上部的进气管2、出气管3和热电偶探头套管4；所述的进气管2包括竖管2-1，和连接于竖管2-1下端与竖管连通的横管2-2，所示的横管2-2上设置有若干出气孔2-3。
采用上述结构，当向进气管2通入氮气时，氮气就可以沿着竖管2-1进入横管2-2再经过设置的若干出气孔2-3均匀而又全方位的鼓出，与周围的液态源充分接触，增加了接触面积，当液态源在液面很低时仍可增加液态源的蒸汽，从而减少三氯氧磷的损失。
为了可以使横管上的出气孔在源瓶内位置处于低位、增加氮气在液态源中的行程，充分利用液态源，从而增加液态源产生的蒸汽，作为优选，所述的横管2-3与瓶身1的底部距离为5mm。
本实用新型所述的横管如图3所示优选为环形管，环形管上的出气孔沿着管体圆周均匀分布，从而充分保证氮气与液态源均匀接触。
如图3所示，本实用新型的出气孔设置有15个。出气孔的出气口方向竖直向下，从而增加鼓出的氮气在液态源中的行程。
本实用新型的石英源瓶的横管可以为三角形、四角形等等，不仅仅局限于环形管。
Claims (6)
1.一种太阳能电池扩散用石英源瓶，包括瓶身（1），进气管（2），出气管（3）和热电偶探头套管（4），其特征在于：所述的进气管（2）包括竖管（2-1），连接于竖管（2-1）下端与竖管连通的横管（2-2），所示的横管（2-2）上设置有若干出气孔（2-3）。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池扩散用石英源瓶，其特征在于：所述的横管（2-2）与瓶身（1）的底部距离为2~6mm。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池扩散用石英源瓶，其特征在于：所述的横管（2-2）为环形管或多边形管。
4.根据权利要求1所述的太阳能电池扩散用石英源瓶，其特征在于：所述的横管（2-2）为环形管，所述的环形管上的出气孔（2-3）沿着环形管圆周均匀分布。
5.根据权利要求1所述的太阳能电池扩散用石英源瓶，其特征在于：所述的横管（2-2）上均匀分布10～50个直径1mm～5mm的出气孔（2-3）。
6.根据权利要求1所述的太阳能电池扩散用石英源瓶，其特征在于：所述横管（2-2）上的出气孔（2-3）的出气口方向竖直向下。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN2012204559641U CN202786519U (zh) | 2012-09-07 | 2012-09-07 | 太阳能电池扩散用石英源瓶 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN2012204559641U CN202786519U (zh) | 2012-09-07 | 2012-09-07 | 太阳能电池扩散用石英源瓶 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202786519U true CN202786519U (zh) | 2013-03-13 |
Family
ID=47813815
Family Applications (1)
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| CN2012204559641U Expired - Lifetime CN202786519U (zh) | 2012-09-07 | 2012-09-07 | 太阳能电池扩散用石英源瓶 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202786519U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106978631A (zh) * | 2016-01-15 | 2017-07-25 | 天津爱丽琪科技发展有限公司 | 一种太阳能电池扩散用盛源装置 |
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2012
- 2012-09-07 CN CN2012204559641U patent/CN202786519U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Granted publication date: 20130313 |
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