CN206266747U - 一种扩散源瓶 - Google Patents

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晏文春
党继东
郑旭然
刘东旭
李栋
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Abstract

本实用新型公开了一种扩散源瓶,包括源瓶本体,所述源瓶本体的相对的两端均开设有通气孔,一端的通气孔连接进气管,另一端的通气孔连接出气管,所述出气管的连接的通气孔的位于底部,所述进气管的连接的通气孔的位于顶部。在实际使用的时候,不需要区分进气管和出气管与源瓶本体上的通气孔的连接关系,将进气管和出气管分别连接在源瓶本体的两端的通气孔上,再放置源瓶本体,使与进气管连接的通气孔位于下端,与出气管连接的通气孔位于上端即可,使用方便,不存在连接出错的问题,避免了危险,且进气管和出气管直接连接在通气孔,不需要深入到源瓶本体中,气体直接从源瓶本体的底端的通气孔直接进入溶液中,能最大限度的利用溶液,减少浪费。

Description

一种扩散源瓶
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片生产设备技术领域,尤其涉及一种扩散源瓶。
背景技术
太阳能电池片的生产工艺中,包括扩散工序,即:在P型硅的表面上渗透一层很薄的磷层,使该表面变成N型,成为PN结。其基本原理是通过气体(通常选用氮气)携带三氯氧磷(POCl3)溶液进入扩散炉管,使之反应生成磷沉淀在表层,磷在高温下渗透入硅片内部从而形成N区。
现有的用于装载三氯氧磷(POCl3)溶液的扩散源瓶如图1所示,包括源瓶本体1′,源瓶本体1′的上端布置有进气管2′和出气管3′,进气管2′一般伸入到源瓶本体1′的底部,气体通过进气管2′进入溶液中形成气泡,气泡在上升的过程中携带POCl3的蒸气分子,脱离液面后,POCl3的蒸气分子经过出气管进入扩散炉管,在进气管2′和出气管3′上还设置有阀门4′。为了使得气泡容易携带POCl3的蒸气分子,气泡在溶液中需要较长的行程,因此进气管2′会比较接近瓶底,且位于进气管2′底部的溶液无法通过气泡带入到出气管3′中,因此,为避免浪费,进气管2′会尽量靠近瓶底。在实际使用过程中,进气管2′和出气管3′与源瓶本体1′上的进气口和出气口的连接关系不能出错,一旦接错后,会导致气体从出气管3′中进入,将溶液直接压入进气管2′,对操作人员造成危险。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提出一种扩散源瓶,进气管和出气管只需要分别与源瓶本体上的两个通气孔连接即可,不存在连接出错的问题,避免了危险。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种扩散源瓶,包括源瓶本体,所述源瓶本体的相对的两端均开设有通气孔,一端的所述通气孔连接进气管,另一端的所述通气孔连接出气管,工作时,所述出气管连接的所述通气孔位于上端,所述进气管连接的所述通气孔位于下端。
其中,所述源瓶本体的两端的所述通气孔对称设置。
其中,两个所述通气孔分别设置在源瓶本体的顶面和底面。
其中,所述源瓶本体的两端的所述通气孔到所述源瓶本体的中部均形成横截面逐渐变大的漏斗形结构。
其中,所述漏斗形结构的圆锥角为60°到75°。
其中,所述漏斗形结构的圆锥角为60°。
其中,所述源瓶本体的两端的所述漏斗形结构对称设置。
其中,两个所述通气孔分别设置于所述源瓶本体的相对的两侧,且一个所述通气孔靠近所述源瓶本体顶面设置,另一个所述通气孔靠近所述源瓶本体的底面设置。
其中,所述源瓶本体的顶面的内侧和底面的内侧均设置为斜面,所述顶面的所述斜面的顶端与相应侧的所述通气孔连通,所述底面的所述斜面的底端与相应侧的所述通气孔连通。
其中,所述进气管和出气管上均设置有阀门。
有益效果:本实用新型提供了一种扩散源瓶,包括源瓶本体,所述源瓶本体的相对的两端均开设有通气孔,一端的通气孔连接进气管,另一端的通气孔连接出气管,工作时,所述出气管连接的通气孔的位于上端,所述进气管连接的通气孔位于下端。在实际使用的时候,不需要区分进气管和出气管与源瓶本体上的通气孔的连接关系,直接将进气管和出气管分别连接在源瓶本体的两端的通气孔上,再放置源瓶本体,使得与进气管连接的通气孔位于下端,与出气管连接的通气孔位于上端即可,使用方便,不存在连接出错的问题,避免了危险,且进气管和出气管都直接连接在通气孔的外部,不需要伸入到源瓶本体中,气体直接从源瓶本体的底端的通气孔直接进入溶液中,能最大限度的利用溶液,减少浪费。
附图说明
图1是现有技术的扩散源瓶的结构示意图。
图2是本实用新型的实施例1提供的扩散源瓶的结构示意图。
图3是本实用新型的实施例2提供的扩散源瓶的结构示意图。
其中:
1-源瓶本体,2-通气孔,3-进气管,4-出气管,5-漏斗形结构,6-阀门,7-斜面,1′-源瓶本体,2′-进气管,3′-出气管,5′-阀门。
具体实施方式
为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚,下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
实施例1
本实施例提供了一种扩散源瓶,如图2所示,包括源瓶本体1,源瓶本体1的相对的两端均开设有通气孔2,一端的通气孔2连接进气管3,另一端的通气孔2连接出气管4,工作时,出气管4连接的通气孔位于上端,进气管3连接的通气孔位于下端。在实际使用的时候,不需要区分进气管3和出气管4与源瓶本体1上的通气孔2的连接关系,直接将进气管3和出气管4分别连接在源瓶本体1的两端的通气孔2上,再放置源瓶本体1,使得与进气管3连接的通气孔2位于下端,与出气管4连接的通气孔2位于上端即可,使用方便,不存在连接出错的问题,避免了危险,且进气管3和出气管4都直接连接在通气孔的外部,不需要深入到源瓶本体1中,气体直接从源瓶本体1的底端的通气孔2直接进入溶液中,能最大限度的利用溶液,减少浪费。
源瓶本体1的两端的通气孔2可以对称设置,在实际使用时完全不需要区分,更便于使用。也可以不完全对称,是要位于相对的两端即可,并不影响其使用。
源瓶本体1的两端的通气孔2到源瓶本体1的中部还形成横截面逐渐变大的漏斗形结构5。溶液在使用时液面会逐渐降低,直至液面到进气管3的通气孔2接近某一距离时,液面低于最低有效反应液面,残留的溶液无法再参与反应,只能被浪费。在同样的液面高度下,漏斗形结构5可以减少剩余溶液的体积,且由于进气管3直接连接在通气孔2的外部,从源瓶本体1的最底端进入,进一步降低了最低有效反应液面,减少了浪费。本实施的通气孔2分别设置在源瓶本体1的顶面和底面的中间位置,利于与漏斗形结构5配合,连接在漏斗形结构5的最底端。漏斗形结构5的圆锥角可以为60°到75°。此角度下的漏斗形结构的斜面度比较合适,即有利于减少残留溶液的体积,也不会由于角度太小而导致漏斗形结构太长,导致源瓶本体1内的装载空间太小。具体的,漏斗形圆锥角可以为60°,残留溶液比较少。源瓶本体1的两端的漏斗形结构5可以对称设置,既便于加工,也便于使用,无论进气管2和出气管3和通气孔2的连接关系,使用的效果一致。
在进气管3和出气管4上均设置有阀门6,便于控制其通断,保证在连接、断开以及其他情况下的安全。
源瓶本体1的外侧还套接有固定环,固定环的外侧固定有支撑腿,以支撑固定环和源瓶本体1。支撑腿和固定环之间可以可转动的连接,在源瓶本体1和进气管3以及出气管4均连接好后,调整固定环,使得进气管3所在的通气孔2位于底端后,再通过固定环与支撑腿之间的锁紧装置锁紧即可。支撑腿和固定环之间也可以直接固定,可以设置两侧对称的支撑腿,使用时根据情况使用不同侧的支撑腿支撑源瓶本体1即可。固定环内还可以设置防滑橡胶垫,固定环将防滑橡胶垫压紧于源瓶本体1的表面,加强固定环与源瓶本体1之间的摩擦力,避免源瓶本体1掉落。
实施例2
与实施例1不同的是,如图3所示,本实施例的两个通气孔2分别设置于源瓶本体1的相对的两侧,且一个通气孔2靠近源瓶本体1顶面设置,另一个通气孔2靠近源瓶本体1的底面设置。在实际使用的时候,不需要区分进气管3和出气管4与源瓶本体1上的通气孔2的连接关系,直接将进气管3和出气管4分别连接在源瓶本体1的两端的通气孔2上,再放置源瓶本体1,使得与进气管3连接的通气孔2位于下端,与出气管4连接的通气孔2位于上端即可,使用方便,不存在连接出错的问题,避免了危险。
为了更大限度的利用溶液,减少浪费,源瓶本体1的顶面的内侧和底面的内侧均设置为斜面7,顶面的斜面7的顶端与相应侧的通气孔2连通,底面的斜面7的底端与相应侧的通气孔2连通。此时进气管3内的气体仍然是从最低点进入到溶液中,减少溶液的浪费。斜面7可以为斜平面,也可以是倾斜的曲面。源瓶本体1的顶部和底部可以是与斜面7平行设置,即保持源瓶本体1的顶部的厚度一致、底部的厚度一致,此时可以在源瓶本体1的底部垫上相应的垫块支撑源瓶本体1,或者设置相应的支架。顶部和底部也可以设置为厚度不一致,例如将顶面和底面的外表面设置为可以水平放置,而由其内侧形成斜面7,此时有利于源瓶本体1放置。
实际上,本实施例1和实施例2的通气孔的位置还可以组合,即可以一端通气孔2设置在源瓶本体1的顶面或底面,相对的另一端的通气孔2设置在源瓶本体1的侧部,在使用时也可以随意连接,只需要连接好后,将与进气管3连接的通气孔2放置在下端,与出气管4连接的通气孔2放置在上端即可。为了减少溶液浪费,可以将位于源瓶本体1的中部的通气孔2与漏斗形结构5结合,位于源瓶本体1的侧部的通气孔2与斜面7结合。
以上内容仅为本实用新型的较佳实施例,对于本领域的普通技术人员,依据本实用新型的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种扩散源瓶,其特征在于,包括源瓶本体(1),所述源瓶本体(1)的相对的两端均开设有通气孔(2),一端的所述通气孔(2)连接进气管(3),另一端的所述通气孔(2)连接出气管(4),工作时,所述出气管(4)连接的所述通气孔(2)位于上端,所述进气管(3)连接的所述通气孔(2)位于下端。
2.如权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述源瓶本体(1)的两端的所述通气孔(2)对称设置。
3.如权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,两个所述通气孔(2)分别设置在源瓶本体(1)的顶面和底面。
4.如权利要求3所述的扩散源瓶,其特征在于,所述源瓶本体(1)的两端的所述通气孔(2)到所述源瓶本体(1)的中部均形成横截面逐渐变大的漏斗形结构(5)。
5.如权利要求4所述的扩散源瓶,其特征在于,所述漏斗形结构(5)的圆锥角为60°到75°。
6.如权利要求5所述的扩散源瓶,其特征在于,所述漏斗形结构的圆锥角为60°。
7.如权利要求4所述的扩散源瓶,其特征在于,所述源瓶本体(1)的两端的所述漏斗形结构(5)对称设置。
8.如权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,两个所述通气孔(2)分别设置于所述源瓶本体(1)的相对的两侧,且一个所述通气孔(2)靠近所述源瓶本体(1)顶面设置,另一个所述通气孔(2)靠近所述源瓶本体(1)的底面设置。
9.如权利要求8所述的扩散源瓶,其特征在于,所述源瓶本体(1)的顶面的内侧和底面的内侧均设置为斜面(7),所述顶面的所述斜面(7)的顶端与相应侧的所述通气孔(2)连通,所述底面的所述斜面(7)的底端与相应侧的所述通气孔(2)连通。
10.如权利要求1至9任一项所述的扩散源瓶,其特征在于,所述进气管(3)和出气管(4)上均设置有阀门(6)。
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