CN202067824U - 石英源瓶 - Google Patents

Abstract

一种石英源瓶，包括源瓶本体、进气管和出气管，以及分别设置在进气管和出气管上端口的进气控制阀和出气控制阀，其特征是：所述源瓶本体的底壁呈漏斗状，该源瓶本体的环壁延伸至所述漏斗底壁的最低部位以下而形成一个支撑壁；所述进气管的管身经所述源瓶本体的内腔穿越所述漏斗底壁后，其下端口与所述漏斗底壁的出口相联通。本实施新型将源瓶的底壁设计成漏斗状结构，使氮气由下往上鼓入液体，既加长了气体的工作行程，提高了混合蒸汽浓度均匀性，使上部混合气体更饱和浓度更稳定，又解决了源瓶结束使用后残留液体多的问题，不会出现浪费现象。

Description

石英源瓶

 【技术领域】 

本实用新型涉及一种在IT产业太阳能电池片生产工艺中使用，用于盛放三氯氧磷等有毒化学品的石英源瓶。 

【背景技术】 

在太阳能电池片生产工艺中，涉及一步扩散工序，即：在P型硅的表面上渗透一层很薄的磷层，使该表面变成N型，成为PN结。其基本原理是通过气体(通常选用氮气)携带三氯氧磷(POCL3)溶液进入扩散炉管，使之反应生成磷沉淀在表层，磷在高温下渗透入硅片内部从而形成N区。

图1示出了现有技术中用于盛放三氯氧磷的石英源瓶结构，它由石英玻璃制成的源瓶本体e、进气管c和出气管d，以及分别设置在进气管c和出气管d上端口的控制阀a和b构成，进气管c的下端口c1通入液面f以下。为运输和放置方便，该源瓶本体e的瓶底e1为平面底；为防止气体瞬间压力造成瓶底e1碎裂，所以进气管c的下端口c1与瓶底e1之间，具有一定的安全距离，通常为4-6mm。应用时，氮气经进气管被鼓入三氯氧磷液面下，形成气泡的氮气从进气管下端口出来后，在上升过程(即工作行程)中，携带POCL3溶液中的蒸气分子脱离液面后，经出气管及其控制阀离开源瓶本体输往扩散炉管。这种结构的石英源瓶在实际应用中，存在如下问题：随着反应进程POCL3液量的逐渐减少，当液面f降至最低有效反应液面g时，残留的液体将不再参加反应，因此，这种源瓶使用结束后，瓶内仍然会留下很多的POCL3液体，由于其价格昂贵，又不能重复利用而出现浪费。 

【发明内容】 

为克服现有技术存在的上述问题，本实用新型旨在提供一种结构新型的石英源瓶，利用该源瓶盛放三氯氧磷等有毒化学品，使用结束后，源瓶内不会留下很多的三氯氧磷液体。

为解决上述问题，本实用新型采用了如下技术方案：这种石英源瓶的结构，包括源瓶本体、进气管和出气管，以及分别设置在进气管和出气管上端口的进气控制阀和出气控制阀，其特征是：所述源瓶本体的底壁呈漏斗状，该源瓶本体的环壁延伸至所述漏斗底壁的最低部位以下而形成一个支撑壁；所述进气管的管身经所述源瓶本体的内腔穿越所述漏斗底壁后，其下端口与所述漏斗底壁的出口相联通。 

具体实施时，所述进气管穿越所述漏斗底壁后的一段管身呈“U”字形。 

具体实施时，所述出气管控制阀为单向控制阀。 

具体实施时，所述源瓶本体的环壁上设有液面高度显示刻度。 

有益效果：与现有技术相比，本实施新型将源瓶的底壁设计成漏斗状结构，使氮气由下往上鼓入液体，既加长了气体的工作行程，提高了混合蒸汽浓度均匀性，使上部混合气体更饱和浓度更稳定，又解决了源瓶结束使用后残留液体多的问题，不会出现浪费现象。 

下面通过实施例并结合附图对本实用新型作进一步描述。 

【附图说明】 

图1为现有技术中石英源瓶结构示意图。

图2为本实用新型的结构示意图。

附图为本实用新型一个实施例的局部结构示意图。

图1中：控制阀a，控制阀b，进气管c，下端口c1，出气管d，源瓶本体e，瓶底e1，液面f，最低有效反应液面g。 

图2中：源瓶本体1，漏斗底壁11，瓶底环壁12，进气管2，U形弯部21，进气控制阀3，出气控制阀31，出气管4，刻度5，液面6。 

【具体实施方式】 

参见图2。该源瓶本体1呈圆形筒状，其上部结构基本与现有技术相一致，设有进气管2、出气管4，该进气管2和出气管4的上端口分别密封连接进气控制阀3、出气控制阀31。其中出气控制阀31可选用单向出气控制阀，以避免气体倒流，危及设备和作业人员。

本实用新型的关键创新处在于液面6以下部位。从图2中可见，同样由石英玻璃制成的进气管2管身穿越漏斗底壁11后，形成一个U形弯部21，U形弯部21的底部要低于漏斗底壁11的出口。U形弯部21折回与漏斗底壁11的出口相通，制作时它们是整体件。瓶底环壁12垂直向下延伸，在U形弯部21的外围形成支撑壁，且支撑壁的下沿周向端壁要低于U形弯部21的最低部位，以便放置时不会影响U形弯部21。 

由于石英源瓶为全透明，因此，在瓶壁上设置刻度5后，既能在发应中观察液面6的动态变化情况，也方便POCL3的灌装，有利于消除因灌装液面过高，而出现三氯氧磷飞溅、直接从出气管鼓出和氮气直接从出气管鼓出的安全隐患。 

工作时，气体从进气控制阀3鼓入通过进气管2压入U形弯部21 的管道内，气泡在浮力的作用下通过三氯氧磷将其蒸气带出并混合。再由出气管4鼓出进入扩散炉管。由于漏斗状的底壁设计比传统源瓶增加了气泡到液面6之间的工作行程，使其蒸发时间增加、液面6上部的混合气体更饱和浓度更稳定。随着三氯氧磷的不断消耗液面6也不断降低。当气泡的行程达到最低工作液面时，由于漏斗状的底部和U形弯部21 的管道截面积都非常小，所以剩余的三氯氧磷非常少。 

而传统的源瓶随着三氯氧磷的消耗液面降低，气泡的工作行程会也随之降低，当降到接近最低工作液位的时候，因气泡的携带能力不足致使混合蒸汽很不稳定，且残留三氯氧磷量在，不但造成浪费还会污染环境。 

Claims (4)

1.一种石英源瓶，包括源瓶本体(1)、进气管(2)和出气管(4)，以及分别设置在进气管(2)和出气管(4)上端口的进气控制阀(3)和出气控制阀(31)，其特征是：所述源瓶本体(1)的底壁呈漏斗状，该源瓶本体(1)的环壁延伸至所述漏斗底壁(11)的最低部位以下而形成一个支撑壁；所述进气管(2)的管身经所述源瓶本体(1)的内腔穿越所述漏斗底壁(11)后，其下端口与所述漏斗底壁(11)的出口相联通。

2.如权利要求1所述的石英源瓶，其特征是：所述进气管(2)穿越所述漏斗底壁(11)后的一段管身呈“U”字形。

3.如权利要求1所述的石英源瓶，其特征是：所述出气管控制阀(31)为单向控制阀。

4.如权利要求1所述的石英源瓶，其特征是：所述源瓶本体(1)的环壁上设有液面高度显示刻度(5)。

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