CN215325637U - 一种晶片吹砂传送装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶片吹砂传送装置，包括安装板、主体箱和收集箱，所述收集箱安装在主体箱的下端面，收集箱与主体箱通过管道连通，且收集箱内设置有第二导料板，所述主体箱的两侧端面均开设有开口，两个开口的两侧分别安装有对称分布的第一固定板和第二固定板，所述第一固定板之间转动安装有主动轮，第二固定板之间转动安装有从动轮，所述主动轮与从动轮之间连接有传送带，传送带上开设对称且均匀等距分布的晶片槽，所述安装板安装主体箱的上端内壁，安装板与主体箱的内壁之间转动安装有软毛转筒，软毛转筒上设置有软毛，且软毛与传送带的上端面接触。本实用新型具备便于对细砂进行回收、回收效率高，且便于对传送带进行清理的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶片加工设备技术领域，具体为一种晶片吹砂传送装置。
背景技术
在半导体生产制造初期,晶圆片均需要减薄以达到需要的厚度,目前多数减薄方式为采用吹砂机吹砂减薄,属于物理方法的减薄。即通过向晶片表面均匀喷射高速的细小颗粒的金刚砂,通过高速的碰撞达到减薄的目的。
现有的吹砂传送装置结构复杂，在使用中细砂回收不便于进行回收，回收的效率较低，而且吹砂时细砂会位于传送带上，且传送带不便于进行清理，清理起来较为耗费时间，影响设备正常使用。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶片吹砂传送装置，具备便于对细砂进行回收、回收效率高，且便于对传送带进行清理的优点，解决了上述技术背景所提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶片吹砂传送装置，包括安装板、主体箱和收集箱，所述主体箱的下端面安装有支撑腿，主体箱的底端内壁设置有第一导料板，所述收集箱安装在主体箱的下端面，收集箱与主体箱通过管道连通，且收集箱内设置有第二导料板，所述主体箱的两侧端面均开设有开口，两个开口的两侧分别安装有对称分布的第一固定板和第二固定板，所述第一固定板之间转动安装有主动轮，第二固定板之间转动安装有从动轮，所述主动轮与从动轮之间连接有传送带，传送带上开设对称且均匀等距分布的晶片槽，所述安装板安装主体箱的上端内壁，安装板与主体箱的内壁之间转动安装有软毛转筒，软毛转筒上设置有软毛，且软毛与传送带的上端面接触。
优选的，所述支撑腿共设有四个，且四个支撑腿关于主体箱呈矩形阵列分布。
优选的，所述收集箱的下端面设置有排料管，排料管上设置有卸料阀。
优选的，所述主体箱的上端内嵌安装有三组吹砂管，一组吹砂管设置有两个，且吹砂管位于传送带的正上方。
优选的，所述第一固定板的侧端面安装有第二驱动箱，第二驱动箱内设置有驱动设备，且驱动设备主轴与主动轮的轴心连接。
优选的，所述主体箱的一侧端面安装有第一驱动箱，第一驱动箱内设置有驱动设备，且驱动设备主轴与软毛转筒的轴心连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：在使用中通过第一驱动箱内的驱动设备工作可以使软毛转筒转动，软毛转筒转动下可以对传送带上的细砂进行清扫，同时可以将位于晶片上的细砂进行清扫，清扫后的细砂会从传送带两侧落到主体箱内，便于对传送带进行清理和便于细砂的回收，细砂通过清扫落到主体箱内后，通过第一导料板可以将细砂导入至中间的管道内，通过管道可以进入到收集箱内，细砂回收时打开收集箱下端的卸料管，细砂便会从排料管排出，提高了细砂的回收效率。
附图说明
图1为本实用新型的侧视的剖视结构示意图；
图2为本实用新型的俯视结构示意图；
图3为本实用新型的传送带结构示意图；
图4为本实用新型的正视结构示意图。
图中的附图标记及名称如下：
1、第一驱动箱；2、软毛转筒；3、安装板；4、吹砂管；5、传送带；6、主体箱；7、第一固定板；8、主动轮；9、第一导料板；10、收集箱；11、第二导料板；12、支撑腿；13、排料管；14、第二固定板；15、从动轮；16、第二驱动箱；17、晶片槽；18、开口。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1至图4，本实用新型提供的一种实施例：一种晶片吹砂传送装置，包括安装板3、主体箱6和收集箱10，所述主体箱6的下端面安装有支撑腿12，支撑腿12共设有四个，且四个支撑腿12关于主体箱6呈矩形阵列分布，所述主体箱6的上端内嵌安装有三组吹砂管4，一组吹砂管4设置有两个，且吹砂管4位于传送带5的正上方，主体箱6的底端内壁设置有第一导料板9，所述收集箱10安装在主体箱6的下端面，收集箱10与主体箱6通过管道连通，且收集箱10内设置有第二导料板11，所述收集箱10的下端面设置有排料管13，排料管13上设置有卸料阀，细砂通过清扫落到主体箱6内后，通过第一导料板9可以将细砂导入至中间的管道内，通过管道可以进入到收集箱10内，细砂回收时打开收集箱10下端的卸料管，细砂便会从排料管13排出，提高了细砂的回收效率。
所述主体箱6的两侧端面均开设有开口18，两个开口18的两侧分别安装有对称分布的第一固定板7和第二固定板14，所述第一固定板7之间转动安装有主动轮8，所述第一固定板7的侧端面安装有第二驱动箱16，第二驱动箱16内设置有驱动设备，且驱动设备主轴与主动轮8的轴心连接，第二固定板14之间转动安装有从动轮15，所述主动轮8与从动轮15之间连接有传送带5，传送带5上开设对称且均匀等距分布的晶片槽17。
所述安装板3安装主体箱6的上端内壁，安装板3与主体箱6的内壁之间转动安装有软毛转筒2，软毛转筒2上设置有软毛，且软毛与传送带5的上端面接触，所述主体箱6的一侧端面安装有第一驱动箱1，第一驱动箱1内设置有驱动设备，且驱动设备主轴与软毛转筒2的轴心连接，本实用新型中的两个驱动设备为本领域技术人员所熟知的，均属于常规手段或者公知常识，在此就不再赘述，本领域技术人员可以根据其需要或者便利进行任意的选配，在使用中通过第一驱动箱1内的驱动设备工作可以使软毛转筒2转动，软毛转筒2转动下可以对传送带5上的细砂进行清扫，同时可以将位于晶片上的细砂进行清扫，清扫后的细砂会从传送带5两侧落到主体箱6内，便于对传送带5进行清理和便于细砂的回收。
工作原理：本实用新型工作中，将外部的吹砂机喷枪头与吹砂管4连接，通过第二驱动箱16内的驱动设备工作可以使传送带5运动，通过将晶片从传送带5的始端放置在晶片槽17内，在晶片传送中通过外部吹砂机工作将细砂从吹砂管4喷出可以对晶片进行加工，在对晶片加工的同时通过第一驱动箱1内的驱动设备工作可以使软毛转筒2转动，软毛转筒2转动下可以对传送带5上的细砂进行清扫，同时可以将位于晶片上的细砂进行清扫，清扫后的细砂会从传送带5两侧落到主体箱6内，便于对传送带5进行清理和便于细砂的回收，细砂通过清扫落到主体箱6内后，通过第一导料板9可以将细砂导入至中间的管道内，通过管道可以进入到收集箱10内，细砂回收时打开收集箱10下端的卸料管，细砂便会从排料管13排出，提高了细砂的回收效率。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (6)
1.一种晶片吹砂传送装置，包括安装板(3)、主体箱(6)和收集箱(10)，其特征在于：所述主体箱(6)的下端面安装有支撑腿(12)，主体箱(6)的底端内壁设置有第一导料板(9)，所述收集箱(10)安装在主体箱(6)的下端面，收集箱(10)与主体箱(6)通过管道连通，且收集箱(10)内设置有第二导料板(11)，所述主体箱(6)的两侧端面均开设有开口(18)，两个开口(18)的两侧分别安装有对称分布的第一固定板(7)和第二固定板(14)，所述第一固定板(7)之间转动安装有主动轮(8)，第二固定板(14)之间转动安装有从动轮(15)，所述主动轮(8)与从动轮(15)之间连接有传送带(5)，传送带(5)上开设对称且均匀等距分布的晶片槽(17)，所述安装板(3)安装主体箱(6)的上端内壁，安装板(3)与主体箱(6)的内壁之间转动安装有软毛转筒(2)，软毛转筒(2)上设置有软毛，且软毛与传送带(5)的上端面接触。
2.根据权利要求1所述的一种晶片吹砂传送装置，其特征在于：所述支撑腿(12)共设有四个，且四个支撑腿(12)关于主体箱(6)呈矩形阵列分布。
3.根据权利要求1所述的一种晶片吹砂传送装置，其特征在于：所述收集箱(10)的下端面设置有排料管(13)，排料管(13)上设置有卸料阀。
4.根据权利要求1所述的一种晶片吹砂传送装置，其特征在于：所述主体箱(6)的上端内嵌安装有三组吹砂管(4)，一组吹砂管(4)设置有两个，且吹砂管(4)位于传送带(5)的正上方。
5.根据权利要求1所述的一种晶片吹砂传送装置，其特征在于：所述第一固定板(7)的侧端面安装有第二驱动箱(16)，第二驱动箱(16)内设置有驱动设备，且驱动设备主轴与主动轮(8)的轴心连接。
6.根据权利要求1所述的一种晶片吹砂传送装置，其特征在于：所述主体箱(6)的一侧端面安装有第一驱动箱(1)，第一驱动箱(1)内设置有驱动设备，且驱动设备主轴与软毛转筒(2)的轴心连接。
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