CN215314572U - 光罩夹具 - Google Patents

Abstract

本公开提供一种光罩夹具，其包括横梁以及两个竖梁，横梁具有上表面；两个竖梁从横梁的两端沿上下方向向上延伸并沿横向间隔开；两个竖梁和横梁形成沿前后方向开口且沿上下方向向上开口的腔体，前后方向垂直于横向和上下方向；各竖梁设置有槽道，槽道沿上下方向延伸，槽道沿上下方向均开口且沿横向向腔体开口；两个竖梁的槽道在上下方向的投影落在横梁的上表面的前后方向的范围内且沿前后方向至少具有共同的涵盖光罩的厚度的尺寸。光罩在横向上受到两个竖梁的横向的形成槽道的壁面的限制，光罩在前后方向上受到形成槽道的壁面限制，光罩在上下方向的底面受横梁的上表面的支撑，由此在前后方向上清洁(例如吹气清洁)光罩时，光罩不会掉落。

Description

光罩夹具

技术领域

本公开涉及半导体领域，更具体地涉及一种光罩夹具。

背景技术

目前，半导体光刻工艺，离不开光罩(掩模板)。在产线连续生产达到一定数量的时候，光罩必然产生污染使得产品产生缺陷，需要对光罩进行必要的周期性清洗，这种清理是需要专业设备的。而有时候，一些灰尘颗粒立即体现出来的污染，可以用氮气枪吹掉。通常是手拿着光罩的边或者用夹子夹住光罩的边进行吹洗动作，光罩在这种被拿着或被夹着的情况下因氮气枪的作用下很容易造成滑落，进而导致光罩受到损伤。

实用新型内容

鉴于背景技术中存在的问题，本公开的目的在于提供一种光罩夹具，其能避免清洁光罩时光罩掉落的风险。

由此，在一些实施例中，一种光罩夹具包括横梁以及两个竖梁，横梁具有上表面；两个竖梁从横梁的两端沿上下方向向上延伸并沿横向间隔开；两个竖梁和横梁形成沿前后方向开口且沿上下方向向上开口的腔体，前后方向垂直于横向和上下方向；各竖梁设置有槽道，槽道沿上下方向延伸，槽道沿上下方向均开口且沿横向向腔体开口；两个竖梁的槽道在上下方向的投影落在横梁的上表面的前后方向的范围内且沿前后方向至少具有共同的涵盖光罩的厚度的尺寸。

在一些实施例中，各竖梁具有一个槽道，该槽道与对应竖梁的上端缘和下端缘间隔开。

在一些实施例中，各竖梁的槽道位于各竖梁的上下方向中心线的上侧或下侧。

在一些实施例中，各竖梁具有一个槽道，该槽道从对应竖梁的上端缘一直延伸向下至对应竖梁的下端缘延伸，各竖梁的下端缘位于横梁的上表面上。

在一些实施例中，各竖梁具有两个槽道，两个槽道沿上下方向彼此间隔开且彼此对准。在一些实施例中，各竖梁的两个槽道与对应竖梁的上端缘和下端缘间隔开。

在一些实施例中，各竖梁的两个槽道分别位于对应竖梁的上下方向中心线的上侧和下侧。

在一些实施例中，各竖梁的两个槽道中的位于上侧的槽道围绕对应竖梁的上下方向中心线翻转度后，不与对应竖梁的位于下侧的槽道重叠。

在一些实施例中，各竖梁的形成槽道的边缘均倒角。

在一些实施例中，光罩夹具还包括两个上止挡机构，各上止挡机构设置在对应竖梁的上端部，各上止挡机构能够在对应竖梁的上端部在横向方向和前后方向构成的平面内旋转以在上下方向不遮挡腔体或遮挡腔体。

本公开的有益效果如下：在需要对光罩清洁(例如吹气)时，光罩从上向下插入腔体、进而插入到两个竖梁的槽道中并受横梁的上表面的支撑，具体地，光罩在横向上受到两个竖梁的横向的形成槽道的壁面的限制，光罩在前后方向上受到形成槽道的壁面限制，光罩在上下方向的底面受横梁的上表面的支撑，由此在前后方向上清洁(例如吹气清洁)光罩时，光罩不会掉落。

附图说明

图1是本公开的光罩夹具的一实施例的立体图，上止挡机构处于遮蔽腔体位置。

图2是图1的前视图；

图3是图1的前视图且上止挡机构处于未遮蔽腔体位置；

图4是图1的前视图，且示出了被夹持的光罩。

图5是图1的一变形例。

图6是图1的另一变形例。

图7是图1的再一变形例。

图8是图1的又一变形例。

其中，附图标记说明如下：

100光罩夹具 25上端部

D1上下方向 251凹槽

D2横向 26顶面

D3前后方向 L1上下方向中心线

1横梁 L2横向中心线

11上表面 S腔体

R范围 3上止挡机构

2竖梁 31上挡块

21槽道 311下表面

22上端缘 32轴

23下端缘 4握柄

24边缘 200光罩

具体实施方式

附图示出本公开的实施例，且将理解的是，所公开的实施例仅仅是本公开的示例，本公开可以以各种形式实施，因此，本文公开的具体细节不应被解释为限制，而是仅作为权利要求的基础且作为表示性的基础用于教导本领域普通技术人员以各种方式实施本公开。

此外，用于说明实施例中的各构件的操作和构造的指示方向的表述(例如上下)不是绝对的而是相对的，且尽管各构件处于图中所示的位置时这些指示是恰当的，但是当这些位置改变时，这些方向应有不同的解释，以对应所述改变。

在一些实施例中，参照图1至图8，光罩夹具100包括横梁1以及两个竖梁2，横梁1具有上表面11；两个竖梁2从横梁1的两端沿上下方向D1向上延伸并沿横向D2间隔开；两个竖梁2和横梁1形成沿前后方向D3开口且沿上下方向D1向上开口的腔体S，前后方向D3垂直于横向D2和上下方向D1；各竖梁2设置有槽道21，槽道21沿上下方向D1延伸，槽道21沿上下方向D1均开口且沿横向D2向腔体S开口；两个竖梁2的槽道21在上下方向D1的投影落在横梁1的上表面11的前后方向D3的范围R内且沿前后方向D3至少具有共同的涵盖光罩200的厚度的尺寸。

在需要对光罩200清洁(例如吹气)时，光罩200从上向下插入腔体S、进而插入到两个竖梁2的槽道21中并受横梁1的上表面11的支撑，具体地，光罩200在横向D2上受到两个竖梁2的横向D2的形成槽道21的壁面的限制，光罩200在前后方向D上受到形成槽道21的壁面限制，光罩200在上下方向D1的底面受横梁1的上表面11的支撑，由此在前后方向D上清洁(例如吹气清洁)光罩200时，光罩200不会掉落。

各竖梁2的槽道21的数量和设置可以采用多种形式。

在一些实施例中，参照图6和图7，各竖梁2具有一个槽道21，该槽道21与对应竖梁2的上端缘22和下端缘23间隔开。进一步地，在图6和图7的示例中，各竖梁2的槽道21位于各竖梁2的上下方向中心线L1的上侧或下侧。由此，在光罩200插入到两个竖梁2的槽道21中进行双面清洁(例如采用吹气)时，在第一次清洁之后，将光罩200上下颠倒，再次插入两个竖梁2的槽道21，从而光罩200的在第一次清洁时遮挡的部位进行清洁，由此实现光罩200的前后方向D3上的两个表面的整个面的清洁。

在一些实施例中，参照图5，各竖梁2具有一个槽道21，该槽道21从对应竖梁2的上端缘22一直延伸向下至对应竖梁2的下端缘23延伸，各竖梁2的下端缘23位于横梁1的上表面11上。采用这种槽道21，增加了槽道21在上下方向D1的尺寸，增强了在前后方向D3的遮挡，从而在光罩200插入槽道21后，光罩200的左右方向D1的两侧缘附近的部分被完全遮挡，增强对吹气清洁的抵抗力，使得光罩200在槽道21的位置稳定性增强，进而提高吹气清洁的清洁效果。

在一些实施例中，参照图1和图8，各竖梁2具有两个槽道21，两个槽道21沿上下方向D1彼此间隔开且彼此对准。

在图1和图8的示例中，各竖梁2的两个槽道21与对应竖梁2的上端缘22和下端缘23间隔开。由此，相对光罩200在竖梁2的上下两端处受到槽道21的限位，在光罩200的清洁光罩200的前后方向D3的表面时，各竖梁2的两个槽道21与对应竖梁2的上端缘22和下端缘23间隔开的设置能够降低光罩200在前后方向D3的挠曲程度，有利于提高光罩200的位置稳定性，进而提高清洁效果。

在图1和图8的示例中，各竖梁2的两个槽道21分别位于对应竖梁2的上下方向中心线L1的上侧和下侧。进一步地，各竖梁2的两个槽道21中的位于上侧的槽道21围绕对应竖梁2的上下方向中心线L1翻转180度后，不与对应竖梁2的位于下侧的槽道21重叠。由此，如前述一样，能够通过两次清洁，实现光罩200的前后方向D3上的两个表面的整个面的清洁。

在一些实施例中，各竖梁2的形成槽道21的边缘24均倒角。由此避免各竖梁2的形成槽道21的边缘24因为锋利而对插入的光罩200的前后方向D3上的两个表面刮伤。

在一些实施例中，参照图1至图8，光罩夹具100还包括两个上止挡机构3，各上止挡机构3设置在对应竖梁2的上端部25，各上止挡机构3能够在对应竖梁2的上端部25在横向D2方向和前后方向D3构成的平面内旋转以在上下方向D1不遮挡腔体S或遮挡腔体S。两个上止挡机构3与横梁1的上表面11形成在上下方向D1的限位机构，由此在光罩200插入光罩夹具100进行清洁时，在上下方向D1、横向D2方向和前后方向D3的三个方向上被限位，提高了光罩200在光罩夹具100的稳定性，由此采用吹气清洁时，吹气吹到的光罩200上的部位稳定，从而提高了清洁效率。

在一些实施例中，参照图1至图8，各上止挡机构3包括上挡块31和轴32；上挡块31沿横向D2延伸，上挡块31具有下表面311，下表面311与横梁1的上表面11在上下方向D1上相对；轴32沿上下方向D1穿设上挡块31；对应的竖梁2的上端部25设有凹槽251，凹槽251从竖梁2的顶面26向下延伸，凹槽251用于收容轴32以供上挡块31围绕在凹槽251内的轴32旋转，上挡块31在横向D2方向和前后方向D3构成的所述平面内旋转。

在一实施例中，轴32和上挡块31是彼此独立的部件且轴32能够沿上下方向D1插入或拔出于上挡块31。在操作时，上挡块31置于竖梁2的顶端、轴32并未落下进入凹槽251，之后滑动上挡块31，当轴32对准凹槽251时，轴32落下并进入凹槽251。当然，轴32和上挡块31可以是一体且相对彼此固定不动且轴3的一部分露出在上挡块31的下方的结构，使用使将轴32和上挡块31一起置于竖梁2的顶端的上方，之后将轴32插入凹槽251。

在一些实施例中，光罩夹具100还包括握柄4，设置在横梁1的下方并固定连接于横梁1。握柄4便于操作人员手持或者插入到工作台(例如工作台设置有插入孔，握柄4插入工作台的插孔)。

采用上面详细的说明描述多个示范性实施例，但本文不意欲限制到明确公开的组合。因此，除非另有说明，本文所公开的各种特征可以组合在一起而形成出于简明目的而未示出的多个另外组合。

Claims (10)

1.一种光罩夹具(100)，其特征在于，包括横梁(1)以及两个竖梁(2)，

横梁(1)具有上表面(11)；

两个竖梁(2)从横梁(1)的两端沿上下方向(D1)向上延伸并沿横向(D2)间隔开；

两个竖梁(2)和横梁(1)形成沿前后方向(D3)开口且沿上下方向(D1)向上开口的腔体(S)，前后方向(D3)垂直于横向(D2)和上下方向(D1)；

各竖梁(2)设置有槽道(21)，槽道(21)沿上下方向(D1)延伸，槽道(21)沿上下方向(D1)均开口且沿横向(D2)向腔体(S)开口；

两个竖梁(2)的槽道(21)在上下方向(D1)的投影落在横梁(1)的上表面(11)的前后方向(D3)的范围(R)内且沿前后方向(D3)至少具有共同的涵盖光罩(200)的厚度的尺寸。

2.根据权利要求1所述的光罩夹具(100)，其特征在于，

各竖梁(2)具有一个槽道(21)，该槽道(21)与对应竖梁(2)的上端缘(22)和下端缘(23)间隔开。

3.根据权利要求2所述的光罩夹具(100)，其特征在于，

各竖梁(2)的槽道(21)位于各竖梁(2)的上下方向中心线(L1)的上侧或下侧。

4.根据权利要求1所述的光罩夹具(100)，其特征在于，

各竖梁(2)具有一个槽道(21)，该槽道(21)从对应竖梁(2)的上端缘(22)一直延伸向下至对应竖梁(2)的下端缘(23)延伸，各竖梁(2)的下端缘(23)位于横梁(1)的上表面(11)上。

5.根据权利要求1所述的光罩夹具(100)，其特征在于，

各竖梁(2)具有两个槽道(21)，两个槽道(21)沿上下方向(D1)彼此间隔开且彼此对准。

6.根据权利要求5所述的光罩夹具(100)，其特征在于，各竖梁(2)的两个槽道(21)与对应竖梁(2)的上端缘(22)和下端缘(23)间隔开。

7.根据权利要求5所述的光罩夹具(100)，其特征在于，各竖梁(2)的两个槽道(21)分别位于对应竖梁(2)的上下方向中心线(L1)的上侧和下侧。

8.根据权利要求6所述的光罩夹具(100)，其特征在于，各竖梁(2)的两个槽道(21)中的位于上侧的槽道(21)围绕对应竖梁(2)的上下方向中心线(L1)翻转180度后，不与对应竖梁(2)的位于下侧的槽道(21)重叠。

9.根据权利要求1所述的光罩夹具(100)，其特征在于，各竖梁(2)的形成槽道(21)的边缘(24)均倒角。

10.根据权利要求1所述的光罩夹具(100)，其特征在于，光罩夹具(100)还包括两个上止挡机构(3)，各上止挡机构(3)设置在对应竖梁(2)的上端部(25)，各上止挡机构(3)能够在对应竖梁(2)的上端部(25)在横向(D2)方向和前后方向(D3)构成的平面内旋转以在上下方向(D1)不遮挡腔体(S)或遮挡腔体(S)。

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