CN219619678U - 光掩模板放置盒 - Google Patents

Abstract

本公开提供的一种光掩模板放置盒，涉及半导体技术领域。该光掩模板放置盒包括存储盒、前盖、后盖和保护治具，前盖连接于存储盒的一侧；后盖连接于存储盒的另一侧；保护治具包括保护板，保护板设有放置槽和第一卡持部，保护板设于存储盒内，且第一卡持部连接于存储盒，放置槽用于放置光罩板。可实现光罩板在运输、存储或取放时不被污染。

Description

光掩模板放置盒

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种光掩模板放置盒。

背景技术

随着半导体行业的快速发展，晶圆制作过程中通常利用光刻技术将设计好的线路图形层完整且精确地转移到晶片上，主要在光掩模板上形成图形层，利用光学成像的原理将图形层投影至晶片上。其中光掩模板的存储以及运输极其重要，一般在制作工艺中使用完或尚未使用的光掩模是存放于光掩模盒中的。然而在运输以及取放时，使用者容易接触光掩模板的边缘区域造成图形层污染，以及在搬运过程中的环境落尘以及光线污染等都会造成图形层污染，进而导致晶圆表面布线层成型不佳的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光掩模板放置盒，其能够更好地保护光罩板，提高晶圆表面布线层的成型质量。

本实用新型的实施例是这样实现的：

本实用新型提供一种光掩模板放置盒，包括：

存储盒；

前盖，所述前盖连接于所述存储盒的一侧；

后盖，所述后盖连接于所述存储盒的另一侧；

保护治具，所述保护治具包括保护板，所述保护板设有放置槽和第一卡持部，所述保护板设于所述存储盒内，且所述第一卡持部连接于所述存储盒，所述放置槽用于放置光罩板。

在可选的实施方式中，所述存储盒的内壁设有第二卡持部，所述第一卡持部和所述第二卡持部中，其中一个采用凸块，另一个采用卡槽，所述凸块滑动设于所述卡槽内。

在可选的实施方式中，所述存储盒内间隔设有多个卡槽，每个所述卡槽用于放置一个所述保护板。

在可选的实施方式中，所述前盖和所述后盖分别卡接于所述存储盒。

在可选的实施方式中，所述存储盒和所述前盖两者中，其中一个设有插槽，另一个设有与所述插槽对应的插块；所述插块卡接于所述插槽。

在可选的实施方式中，所述保护治具还包括与所述保护板连接的推拉板，所述推拉板上设有手持部。

在可选的实施方式中，所述手持部包括开设在所述推拉板上的通孔。

在可选的实施方式中，所述后盖设有凹槽，所述后盖与所述存储盒连接的状态下，所述推拉板置于所述凹槽内。

在可选的实施方式中，所述前盖、所述后盖和所述存储盒中的至少一者设有防反部。

在可选的实施方式中，所述防反部包括所述存储盒靠近所述前盖的一侧设置的弧形开口，所述前盖设有与所述弧形开口对应的弧形块，所述弧形块设于所述弧形开口中。

本实用新型实施例的有益效果包括：

本实用新型实施例提供的光掩模板放置盒，保护板设有放置槽，用于放置光罩板，保护板设于存储盒内，实现对光罩板的有效保护，防止光罩板在存储、运输过程中受到污染，避免环境落尘以及光线污染等造成光罩板上图形层的污染。保护板与存储盒采用第一卡持部连接，便于保护板在存储盒中的取放，操作方便。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例提供的光掩模板放置盒的整体结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的光掩模板放置盒的拆分结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的光掩模板放置盒的存储盒的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的光掩模板放置盒的保护治具的结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的光掩模板放置盒的后盖的结构示意图。

图标：100-光掩模板放置盒；101-光罩板；110-存储盒；111-弧形开口；120-前盖；121-弧形块；130-后盖；131-凹槽；140-保护治具；141-保护板；142-放置槽；143-推拉板；145-通孔；151-凸块；153-卡槽；161-插槽；163-插块。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

随着半导体行业的快速发展，晶圆制作过程中通常利用光刻技术将设计好的线路图形层完整且精确地转移到晶片上，主要在光掩模板上形成图形层，利用光学成像的原理将图形层投影至晶片上。其中光掩模板的存储以及运输极其重要，一般在制作工艺中使用完或尚未使用的光掩模是存放于光掩模盒中的。然而在运输以及取放时，使用者容易接触光掩模板的边缘区域造成图形层污染，以及在搬运过程中的环境落尘以及光线污染等都会造成图形层污染，进而导致晶圆表面布线层成型不佳的问题。

为了克服现有技术中的至少一个缺陷，本实用新型实施例提供的光掩模板放置盒，能够有效地保护光罩板，即光掩模板，防止光罩板在搬运过程中由于环境落尘以及光线污染等造成的图形层污染，提高晶圆表面布线层的成型质量。

请参照图1至图5，本实施例提供一种光掩模板放置盒100，包括存储盒110、前盖120、后盖130和保护治具140，前盖120连接于存储盒110的一侧；后盖130连接于存储盒110的另一侧；保护治具140包括保护板141，保护板141设有放置槽142和第一卡持部，保护板141设于存储盒110内，且第一卡持部连接于存储盒110，放置槽142用于放置光罩板101。保护板141设有放置槽142，用于放置光罩板101，保护板141设于存储盒110内，可实现光罩板101在运输、存储或取放时不被污染，提高晶圆表面布线层的成型质量。

本实施例中，保护治具140在存储盒110中采用抽拉式取放。存储盒110的内壁设有第二卡持部，第一卡持部和第二卡持部中，其中一个采用凸块151，另一个采用卡槽153，凸块151滑动设于卡槽153内。若以前盖120所在的位置为前方，后盖130所在的位置为后方，则保护治具140沿前后方向移动，可实现在前后方向的抽拉。可选地，保护板141上设置凸块151，存储盒110的内壁设置卡槽153，凸块151的形状和尺寸分别与卡槽153的形状和尺寸相适应，凸块151可滑动地设于卡槽153中，以实现保护板141沿卡槽153在前后方向上移动。当然，在其它一些实施方式中，可以在保护板141上设置卡槽153，存储盒110的内壁设置凸块151，以实现保护板141在存储盒110内的移动。或者，在保护板141上设置卡槽153和凸块151，存储盒110的内壁设置凸块151和卡槽153，保护板141上的卡槽153和存储盒110内的凸块151相对应，保护板141上的凸块151和存储盒110内的卡槽153相对应，只要能实现保护板141在存储盒110内前后移动即可。

可以理解，保护板141采用可抽拉式的移动设计，能够便于光罩板101的存放和取用，操作方便。并且无需手拿光罩板101的边缘，防止用户操作不当对光罩板101上图形层的污染。也能实现光罩板101在搬运过程中不受环境落尘以及光线等的污染，提高晶圆表面布线层的成型质量。

可选的，存储盒110内间隔设有多个卡槽153，每个卡槽153用于放置一个保护板141。多个卡槽153沿存储盒110的内壁在高度方向上间隔设置，这样，一个存储盒110内可以容置多层保护治具140，即可以放置多个保护板141，充分利用存储盒110的收容空间，一次性存放或搬运更多数量的光罩板101。多个保护治具140在前后抽拉时相互独立，互不干涉影响。

为了便于保护板141的抽拉动作，保护治具140还包括与保护板141连接的推拉板143，推拉板143上设有手持部，手持部便于移动保护板141沿卡槽153移动。可选的，手持部包括开设在推拉板143上的通孔145。设置通孔145后，便于用户的手指放入通孔145中，推入或拉出保护板141，以取放光罩板101。当然，在一些实施方式中，手持部也可以设计为手柄或手持块或槽口等结构，这里不作具体限定。

容易理解，保护板141和推拉板143可以采用一体成型设计或分体连接成型。推拉板143上设置手持部还能起到防反或误操作的作用，由于设置手持部后，用户可以清楚地知道保护板141的抽取方向，操作更加便捷、顺畅，避免反向抽取。手持部也能区分光罩板101在保护治具140中的方向，便于取放使用。

其次，本实施例中的保护板141，在放置于存储盒110后，保护板141相对靠近存储盒110的顶部，即保护板141朝上放置，放置槽142位于保护板141的下方。光罩板101设于放置槽142后，光罩板101位于保护板141远离存储盒110顶部的一侧。这样，保护板141能更好地防止表面落尘以及环境光线等对光罩板101的影响。光罩板101需要在黄光环境下工作，避免在未使用前受到环境光线的影响而曝光。

可选的，前盖120和后盖130分别卡接于存储盒110。采用卡接方式，安装方便，安装效率高，无需额外零件。比如，存储盒110和前盖120两者中，其中一个设有插槽161，另一个设有与插槽161对应的插块163；插块163卡接于插槽161。本实施例中，插块163设置在前盖120上，插槽161开设在存储盒110的外表面，前盖120安装时，将插块163对准插槽161并插入插槽161中，即可实现前盖120和存储盒110的卡接，连接操作快捷，结构可靠。当然，在其它一些实施方式中，也可以将插槽161设置在前盖120上，将插块163设置在存储盒110上，这里不作具体限定。

安装后盖130时，后盖130设有凹槽131，后盖130与存储盒110连接的状态下，推拉板143置于凹槽131内。可以理解，在保护板141设于存储盒110后，推拉板143与存储盒110抵持，实现对保护板141的限位，防止保护板141被过度推入卡槽153。即推拉板143至少部分露出于存储盒110，这样也便于对推拉板143的推拉操作。安装后盖130后，露出存储盒110的推拉板143置于后盖130的凹槽131内，使得整个盒体结构更加完整、表面光洁，无凸出结构。

可选的，前盖120、后盖130和存储盒110中的至少一者设有防反部，防反部可明确区分出存储盒110的前方和后方，避免保护治具140错放。可选的，防反部包括存储盒110靠近前盖120的一侧设置的弧形开口111，前盖120设有与弧形开口111对应的弧形块121，弧形块121设于弧形开口111中。本实施例中，存储盒110的前侧设有弧形开口111，后侧没有，可以明确保护治具140的放置方向，从后侧向前侧插入。同时，也能用于区别光罩板101的方向。当然，在其它一些实施方式中，防反部也可以在存储盒110的后侧设置防反标识，或者在后盖130上设置防反标识，或者在前盖120上设置防反标识，或者将前盖120和后盖130的形状尺寸等设计为不同，这里不作具体限定。

本实用新型实施例提供的光掩模板放置盒100，其工作原理如下：

场景一：若将光罩板101从机台上搬运进行存储。先将光罩板101放置在保护治具140的放置槽142内，再将保护治具140放置进存储盒110中，保护板141沿卡槽153从后向前推入，最后将后盖130盖住推拉板143区域，后盖130连接于存储盒110的后侧，再将前盖120盖住存储盒110的前侧。该工作过程中，保护治具140对光罩板101起到承载、容纳作用。光罩板101位于存储盒110内，可有效避免图形层受到污染，实现对图形层的有效保护。

场景二：若需将光罩板101移动至机台上使用。先将保护治具140从存储盒110的后部放置到存储盒110中，再将光罩板101放置在保护板141的放置槽142内，再次盖住后盖130和前盖120。此流程用于光罩板101的存储，此时光罩板101还未作业。作业时只需打开后盖130，从存储盒110中取出保护治具140，将保护治具140放置于机台上，机台从保护治具140的放置槽142中抽取光罩板101进行使用。

综上所述，本实用新型实施例提供的光掩模板放置盒100，具有以下几个方面的有益效果，包括：

本实用新型实施例提供的光掩模板放置盒100，保护板141设有放置槽142，用于放置光罩板101，保护板141设于存储盒110内，实现对光罩板101的有效保护，防止光罩板101在存储、运输过程中受到污染，避免环境落尘以及光线污染等造成光罩板101上图形层的污染。该光掩模板放置盒100的结构简单，便于保护板141在存储盒110中的取放，具有防反标识，便于区分光罩板101的方向，操作方便，且容纳光罩板101的数量更多，提高搬运效率。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种光掩模板放置盒，其特征在于，包括：

存储盒；

前盖，所述前盖连接于所述存储盒的一侧；

后盖，所述后盖连接于所述存储盒的另一侧；

保护治具，所述保护治具包括保护板，所述保护板设有放置槽和第一卡持部，所述保护板设于所述存储盒内，且所述第一卡持部连接于所述存储盒，所述放置槽用于放置光罩板。

2.根据权利要求1所述的光掩模板放置盒，其特征在于，所述存储盒的内壁设有第二卡持部，所述第一卡持部和所述第二卡持部中，其中一个采用凸块，另一个采用卡槽，所述凸块滑动设于所述卡槽内。

3.根据权利要求2所述的光掩模板放置盒，其特征在于，所述存储盒内间隔设有多个卡槽，每个所述卡槽用于放置一个所述保护板。

4.根据权利要求1所述的光掩模板放置盒，其特征在于，所述前盖和所述后盖分别卡接于所述存储盒。

5.根据权利要求4所述的光掩模板放置盒，其特征在于，所述存储盒和所述前盖两者中，其中一个设有插槽，另一个设有与所述插槽对应的插块；所述插块卡接于所述插槽。

6.根据权利要求1所述的光掩模板放置盒，其特征在于，所述保护治具还包括与所述保护板连接的推拉板，所述推拉板上设有手持部。

7.根据权利要求6所述的光掩模板放置盒，其特征在于，所述手持部包括开设在所述推拉板上的通孔。

8.根据权利要求6所述的光掩模板放置盒，其特征在于，所述后盖设有凹槽，所述后盖与所述存储盒连接的状态下，所述推拉板置于所述凹槽内。

9.根据权利要求1所述的光掩模板放置盒，其特征在于，所述前盖、所述后盖和所述存储盒中的至少一者设有防反部。

10.根据权利要求9所述的光掩模板放置盒，其特征在于，所述防反部包括所述存储盒靠近所述前盖的一侧设置的弧形开口，所述前盖设有与所述弧形开口对应的弧形块，所述弧形块设于所述弧形开口中。