CN215199047U - 一种半导体设备弧形金属件矫正治具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体设备弧形金属件矫正治具，包括治具卡箱，所述治具卡箱内部设置有矫正机构；所述矫正机构包括螺纹孔、螺纹杆、活动挡板和手柄；所述治具卡箱右侧顶部开设有螺纹孔，所述螺纹孔内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆右侧焊接有手柄，所述螺纹杆左侧焊接有活动挡板，所述治具卡箱内部左侧固定连接有固定挡板。本实用新型通过治具矫正精度高，通过配合量测工具能够实现0.5mm以内的弧形金属件矫正误差，操作简便，并且可以通过调整设计思路实现多种类型部件的矫正需求。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体为一种半导体设备弧形金属件矫正治具。
背景技术
在半导体生产设备中装配有各种结构类型的金属部件，其中的一些金属部件在上机使用一段时间之后表面附着比较厚的膜层，需要定期清洗维护保养。而部件在经过多次拆装、清洗、喷砂等工艺处理之后，部件会发生延展或变形，当延展或变形达到一定程度之后会造成装机干涉，从而影响到部件的使用功能。
常规如结构单一的平板形结构金属部件采用整形机可以直接进行矫正作业，但是对应于弧形结构的金属部件无法操作，同时现有矫正技术采用的是人工敲打或挤压的方式作业，存在随意性和不确定性。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体设备弧形金属件矫正治具，解决了背景技术中所提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体设备弧形金属件矫正治具，包括治具卡箱，所述治具卡箱内部设置有矫正机构；
所述矫正机构包括螺纹孔、螺纹杆、活动挡板和手柄；所述治具卡箱右侧顶部开设有螺纹孔，所述螺纹孔内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆右侧焊接有手柄，所述螺纹杆左侧焊接有活动挡板。
作为本实用新型的一种优选实施方式，所述治具卡箱内部左侧固定连接有固定挡板。
作为本实用新型的一种优选实施方式，所述固定挡板右侧贴合有金属件。
作为本实用新型的一种优选实施方式，所述金属件右侧贴合有活动挡板。
作为本实用新型的一种优选实施方式，所述治具卡箱、活动挡板、固定挡板和手柄均为不锈金属材质。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
1.本实用新型通过治具矫正精度高，通过配合量测工具能够实现0.5mm以内的弧形金属件矫正误差，操作简便，并且可以通过调整设计思路实现多种类型部件的矫正需求。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本实用新型一种半导体设备弧形金属件矫正治具的内视图；
图2为本实用新型一种半导体设备弧形金属件矫正治具的螺纹孔侧视图。
图中：1，治具卡箱2，固定挡板3，金属件4，螺纹杆5，活动挡板6，手柄7，螺纹孔。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体设备弧形金属件矫正治具，包括治具卡箱1，所述治具卡箱1内部设置有矫正机构；
所述矫正机构包括螺纹孔7、螺纹杆4、活动挡板5和手柄6；所述治具卡箱1右侧顶部开设有螺纹孔7，所述螺纹孔7内部螺纹连接有螺纹杆4，所述螺纹杆4右侧焊接有手柄6，所述螺纹杆4左侧焊接有活动挡板5，通过治具矫正精度高，通过配合量测工具能够实现0.5mm以内的弧形金属件矫正误差，操作简便，并且可以通过调整设计思路实现多种类型部件的矫正需求。
本实施例中请参阅图1，所述治具卡箱1内部左侧固定连接有固定挡板2。
本实施例中请参阅图1，所述固定挡板2右侧贴合有金属件3。
本实施例中请参阅图1，所述金属件3右侧贴合有活动挡板5。
本实施例中请参阅图1，所述治具卡箱1、活动挡板5、固定挡板2和手柄6均为不锈金属材质。
在一种半导体设备弧形金属件矫正治具使用的时候，将弧形部件放置于治具卡箱1中，左侧为固定挡板2，右侧有连接螺旋杆4的活动挡板5和手柄6，通过旋转手柄6带动螺旋杆4，在螺纹孔7中运动来调节固定挡板2和活动挡板5之间的间距，对弧形金属件3两端受力，从而实现矫正的目的。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (5)
1.一种半导体设备弧形金属件矫正治具，包括治具卡箱(1)，其特征在于：所述治具卡箱(1)内部设置有矫正机构；
所述矫正机构包括螺纹孔(7)、螺纹杆(4)、活动挡板(5)和手柄(6)；所述治具卡箱(1)右侧顶部开设有螺纹孔(7)，所述螺纹孔(7)内部螺纹连接有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)右侧焊接有手柄(6)，所述螺纹杆(4)左侧焊接有活动挡板(5)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体设备弧形金属件矫正治具，其特征在于：所述治具卡箱(1)内部左侧固定连接有固定挡板(2)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体设备弧形金属件矫正治具，其特征在于：所述固定挡板(2)右侧贴合有金属件(3)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体设备弧形金属件矫正治具，其特征在于：所述金属件(3)右侧贴合有活动挡板(5)。
5.根据权利要求2所述的一种半导体设备弧形金属件矫正治具，其特征在于：所述治具卡箱(1)、活动挡板(5)、固定挡板(2)和手柄(6)均为不锈金属材质。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202121371337.5U CN215199047U (zh) | 2021-06-21 | 2021-06-21 | 一种半导体设备弧形金属件矫正治具 |
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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2021
- 2021-06-21 CN CN202121371337.5U patent/CN215199047U/zh active Active
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