CN215184695U - 一种方便更换探针的探针臂 - Google Patents

Abstract

本申请涉及半导体材料测试领域，尤其涉及一种方便更换探针的探针臂，其包括铜管、设置在铜管一端的封头、设置在铜管内部的针套、套设在针套外的第一热缩管和设置在针套靠近封头一端的探针，所述封头远离针套的一端开设有针孔，所述封头远离针孔的一端开设有供第一热缩管插入的插接槽，且所述针孔与插接槽连通，所述探针穿过针孔后插入针套内，所述针套远离探针的一端用于与三同轴电缆的芯线连接。本申请具有便于更换探针和其他易损配件，同时降低探针臂漏电流的效果。

Description

一种方便更换探针的探针臂

技术领域

本申请涉及半导体材料测试的技术领域，尤其是涉及一种方便更换探针的探针臂。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

探针台包括探针台本体和用于安装探针的探针臂，探针在探针臂的内部与电缆连接，在实际生产中，使用的电缆大多数均为三同轴电缆，三同轴电缆由内到外依次包括芯线、信号层和外屏蔽层，探针与芯线直接连接或通过铜线导体连接。

针对上述中的相关技术，大多数的探针臂与探针均为固定连接，亦或是通过复杂结构进行锁定，从而导致探针的更换检修过程较为繁琐，甚至无法更换。但是，在实际使用时，探针很容易因操作不当或其他原因造成损坏，若探针无法拆卸，就需要将整个探针臂进行更换，从而增加了维修成本。

实用新型内容

为了便于更换探针臂的探针和其他易损配件，本申请提供一种方便更换探针的探针臂。

本申请提供的一种方便更换探针的探针臂，采用如下的技术方案：

一种方便更换探针的探针臂，包括铜管、设置在铜管一端的封头、设置在铜管内部的针套、套设在针套外的第一热缩管和设置在针套靠近封头一端的探针，所述封头远离针套的一端开设有针孔，所述封头远离针孔的一端开设有供第一热缩管插入的插接槽，且所述针孔与插接槽连通，所述探针穿过针孔后插入针套内，所述针套远离探针的一端用于与三同轴电缆的芯线连接。

通过采用上述技术方案，在实际安装时，先将铜管套至电缆外，使电缆从铜管的一端伸出，切割电缆漏出电缆的芯线，将芯线与针套通过焊锡丝焊接固定，使用第一热缩管将漏在外面的芯线与针套的焊接处完全包覆，将第一热缩管远离电缆的一端插入封头的插接槽内，并使第一热缩管的端部与插接槽槽底抵触，然后抽拉电缆并将封头塞进铜管内，封头与铜管过盈配合而抵紧固定，将探针从针孔内插入直至探针的端部插入针套内，完成安装。

探针通过针套内部的铜芯与芯线连通，且探针与针套插接配合，使探针便于更换。当探针损坏时，工作人员握住探针用力拉拔，即可将探针取下，然后将新的探针从针孔内插入，用力推动探针，将探针插入针套内完成固定，操作方便。若在长时间使用后，有除探针以外的其他配件发生破损，也可参照前述的安装方法进行反向拆除，针对破损配件进行更换，且更换方便，有利于降低成本。通过第一热缩管将芯线与针套的焊接处包覆，不仅加强了芯线与针套焊接的紧密度，还减少了电流的流失，降低了探针臂的漏电流。

优选的，所述探针包括插入针套内部的插接部和朝向针孔底部弯折的弯折部，所述针孔底部开设有供弯折部卡入的让位槽，所述弯折部与让位槽槽壁相抵触。

通过采用上述技术方案，探针插入锁孔后，弯折部与让位槽槽壁相抵触，使探针的固定更加牢固，同时，减少了在使用时探针自身发生转动的情况发生。

优选的，所述针套内侧壁固定设置有环形垫块，所述探针的端部与环形垫块相抵触。

通过采用上述技术方案，在安装探针时，工作人员将探针从针孔内插入直至探针的端部抵住环形垫块时，安装完成。如上设置，在安装时更便于控制探针的插入深度，同时使工作人员可以清楚的知道是否将探针安装到位，防止因探针插入深度不够而对探针固定的牢固程度产生影响。

优选的，所述铜管端部侧壁固定设置有定位凸包，所述封头侧壁设置有供定位凸包插入的定位缺口。

通过采用上述技术方案，通过定位凸包和定位缺口之间的配合，实现了封头与铜管插接配合的精准定位，同时，防止了在使用过程中，封头与铜管之间发生相对转动的情况发生，防止了因封头转动而造成测量误差。

优选的，所述封头的侧壁开设有通孔，所述通孔与插接槽连通。

通过采用上述技术方案，在安装时，若因加工尺寸不稳定而导致第一热缩管与插接槽尺寸不匹配，使第一热缩管可在插接槽内晃动，此时，工作人员可在通孔处注胶，从而将第一热缩管与连接槽内侧壁粘接，防止在使用时第一热缩管晃动而造成测量出现误差的情况发生。

优选的，所述封头位于通孔两侧的侧壁均开设有环槽。

通过采用上述技术方案，当工作人员在通孔处注胶时，若有胶水溢出，环槽可以减少胶水从封头的两端溢出至其他配件的情况发生，减少因胶水溢出而使各配件相互粘连的情况发生。

优选的，所述铜管远离封头一端的外侧壁与三同轴电缆的外屏蔽层紧贴设置。

通过采用上述技术方案，三同轴电缆的外屏蔽层与铜管导通，从而使铜管部分具有较好的屏蔽效果，有效降低探针臂的漏电流。

优选的，所述所述铜管与外屏蔽层的连接处外套设有第二热缩管。

通过采用上述技术方案，进一步减少了铜管与三同轴电缆连接处的电流流失，从而更进一步的降低探针臂的漏电流。

优选的，所述铜管靠近第二热缩管的端部侧壁固定设置有固定板，所述第二热缩管侧壁开设有供固定板伸出的缺口。

通过采用上述技术方案，在实际使用过程中，可将固定板与测试装置或机壳固定，从而定位探针臂的位置，减少在测量时因探针臂发生移位、转动等情况发生而影响测试结果。

优选的，所述针套远离探针的一端开设有豁口。

通过采用上述技术方案，在探针臂的安装过程中，工作人员可通过豁口对芯线与针套进行焊接固定，使焊接更加方便。

附图说明

图1是本申请实施例中方便更换探针的探针臂的剖面示意图；

图2是图1中的A部放大图；

图3是本申请实施例中为了凸显豁口的示意图；

图4是本申请实施例中方便更换探针的探针臂的整体结构示意图；

图5是图4中的B部放大图；

图6是本申请实施例中为了凸显外屏蔽层与铜管连接关系的示意图。

附图标记：1、铜管；2、封头；3、针套；4、第一热缩管；5、探针；501、插接部；502、弯折部；6、针孔；7、插接槽；8、芯线；9、让位槽；10、环形垫块；11、定位凸包；12、定位缺口；13、通孔；14、环槽；15、外屏蔽层；16、第二热缩管；17、固定板；18、缺口；19、豁口。

具体实施方式

以下结合附图1-6对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种方便更换探针的探针臂。参照图1和图2，方便更换探针的探针臂包括铜管1，本申请中铜管1采用镀镍黄铜管，铜管1的内部设置有铜芯针套3，针套3外固定设置有聚烯烃材质的第一热缩管4，铜管1的一端设置有特氟龙材质的封头2，封头2插入铜管1端部，且封头2与铜管1之间过盈配合。封头2靠近针套3的一端开设有插接槽7，第一热缩管4插入插接槽7内，封头2远离针套3的一端开设有针孔6，针孔6与插接槽7连通，针套3位于插接槽7内的一端插设有探针5，探针5从针孔6内伸出封头2外。针套3远离封头2的一端与三同轴电缆的芯线8通过焊锡丝焊接固定。

在安装探针臂时，先将铜管1套至电缆外，使电缆从铜管1的一端伸出，将芯线8与针套3的铜芯焊接，为了焊接方便，在针套3端部还开设有豁口19，焊接完成后，使用第一热缩管4将芯线8与针套3的焊接处完全包覆，不仅加强了芯线8与针套3焊接的紧密度还减少了电流的流失，包覆完成后将第一热缩管4插入插接槽7内，使第一热缩管4的端部与插接槽7槽底抵触，然后拉动电缆并将封头2塞进铜管1内，最后将探针5穿过针孔6插入针套3内，完成安装。

参照图1和图2，为了便于工作人员把握探针5的插入深度，在针套3内侧壁还一体成型设置有环形垫块10，在安装探针5时，只需将探针5端部与环形垫块10相抵即可。

参照图4和图5，探针5包括插入针套3内的插接部501和朝向针孔6底部弯折的弯折部502，插接部501与弯折部502一体成型。针孔6底部开设有供弯折部502卡入的让位槽9，让位槽9的槽底呈倾斜设置并与弯折部502相契合，弯折部502与让位槽9的槽壁紧紧相抵。如上设置，可防止探针5在使用过程中发生自转的情况发生，同时，探针5针头朝下更便于使用。为了防止在使用过程中封头2转动带动探针5转动的情况发生，在铜管1的端部一体成型设置有两个定位凸包11，且两个定位凸包11对称设置，封头2侧壁开设有供定位凸包11插入的定位缺口12。通过定位凸包11和定位缺口12的配合，防止了封头2与铜管1发生相对转动的情况发生。

参照图1和图2，封头2的侧壁还开设有通孔13，通孔13与插接槽7连通，封头2位于通孔13两侧的侧壁均开设有环槽14。在探针臂配件的生产过程中，若因加工不稳定而导致第一热缩管4与插接槽7不能紧密插接固定，工作人员可通过通孔13向第一热缩管4与插接槽7内壁之间缝隙进行注胶，从而使第一热缩管4与插接槽7内壁牢牢粘接，减少在测试时因第一热缩管4晃动而造成的误差。通过设置环槽14，可减少胶水通过通孔13溢出而从封头2两端漏出的情况发生。

参照图6，铜管1远离封头2一端的外侧壁与电缆的外屏蔽层15紧紧贴合，从而将电缆的外屏蔽层15与铜管1导通，使铜管1部分具有较好的屏蔽效果，有效降低探针臂的漏电流。在铜管1与外屏蔽层15的连接处还套设有聚烯烃材质的第二热缩管16，第二热缩管16不仅可以使铜管1与外屏蔽层15紧密贴合，还能进一步减少电流流失。

参照图4，为了便于探针臂的安装，在铜管1靠近第二热缩管16的端部侧壁还一体成型设置有固定板17，第二热缩管16侧壁开设有供固定板17伸出的缺口18，在实际生产过程中，可通过固定板17将探针臂与探针台本体固定，对探针臂实现固定定位。

本申请实施例一种方便更换探针的探针臂的实施原理为：本申请通过铜管1、封头2、第一热缩管4、针套3、探针5之间的插接配合，使探针臂的各配件均容易拆卸更换，当某一配件在长时间使用后发生损毁时，可方便拆卸更换，从而降低了维修费用，同时，通过将外屏蔽层15与铜管1连接，赋予了铜管1部分较好的屏蔽功能，减低了探针臂的漏电流，通过设置第一热缩管4、第二热缩管16，进一步减少了电流的流失，使本申请的探针臂的漏电流低于100fA。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种方便更换探针的探针臂，其特征在于，包括铜管（1）、设置在铜管（1）一端的封头（2）、设置在铜管（1）内部的针套（3）、套设在针套（3）外的第一热缩管（4）和设置在针套（3）靠近封头（2）一端的探针（5），所述封头（2）远离针套（3）的一端开设有针孔（6），所述封头（2）远离针孔（6）的一端开设有供第一热缩管（4）插入的插接槽（7），且所述针孔（6）与插接槽（7）连通，所述探针（5）穿过针孔（6）后插入针套（3）内，所述针套（3）远离探针（5）的一端用于与三同轴电缆的芯线（8）连接。

2.根据权利要求1所述的方便更换探针的探针臂，其特征在于，所述探针（5）包括插入针套（3）内部的插接部（501）和朝向针孔（6）底部弯折的弯折部（502），所述针孔（6）底部开设有供弯折部（502）卡入的让位槽（9），所述弯折部（502）与让位槽（9）槽壁相抵触。

3.根据权利要求1所述的方便更换探针的探针臂，其特征在于，所述针套（3）内侧壁固定设置有环形垫块（10），所述探针（5）的端部与环形垫块（10）相抵触。

4.根据权利要求1所述的方便更换探针的探针臂，其特征在于，所述铜管（1）端部侧壁固定设置有定位凸包（11），所述封头（2）侧壁开设有供定位凸包（11）插入的定位缺口（12）。

5.根据权利要求1所述的方便更换探针的探针臂，其特征在于，所述封头（2）的侧壁开设有通孔（13），所述通孔（13）与插接槽（7）连通。

6.根据权利要求5所述的方便更换探针的探针臂，其特征在于，所述封头（2）位于通孔（13）两侧的侧壁均开设有环槽（14）。

7.根据权利要求1所述的方便更换探针的探针臂，其特征在于，所述铜管（1）远离封头（2）一端的外侧壁与三同轴电缆的外屏蔽层（15）紧贴设置。

8.根据权利要求7所述的方便更换探针的探针臂，其特征在于，所述铜管（1）与外屏蔽层（15）的连接处套设有第二热缩管（16）。

9.根据权利要求8所述的方便更换探针的探针臂，其特征在于，所述铜管（1）靠近第二热缩管（16）的端部侧壁固定设置有固定板（17），所述第二热缩管（16）侧壁开设有供固定板（17）伸出的缺口（18）。

10.根据权利要求1所述的方便更换探针的探针臂，其特征在于，所述针套（3）远离探针（5）的一端开设有豁口（19）。

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