CN215150682U - 一种可调节切片厚度的多线切割机 - Google Patents

Abstract

一种可调节切片厚度的多线切割机，它针对现有多线切割机中切割辊总成和工作台总成结构进行改进设计，所述切割辊总成由主轴、切割驱动机构和支撑轮部件组成，所述主轴平行设置三组，在每一组主轴上设置若干主轴导轮，三组主轴在切割驱动机构驱动下同向运转，所述支撑轮部件平行设置两组，在每一组支撑轮部件中设置支撑导轮，切割线在主轴导轮和支撑导轮上缠绕形成切割线网；所述工作台总成中增设前后平移机构，所述前后平移机构包括固定部件和移动部件，在所述移动部件上布置待切割工件，待切割工件可随移动部件实现前后位置调整。本实用新型达到了改善多线切割机设备通用性能、减少切割辊更换频次、降低生产成本、提高工作效率的目的。

Description

一种可调节切片厚度的多线切割机

技术领域

本实用新型涉及一种多线切割机，尤其是一种适于不同厚度切片加工的可调节切片厚度的多线切割机。

背景技术

多线切割是通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。目前数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。

现有技术中，多线切割机中金属丝线通过十几个导线轮的引导，在切割辊上形成一张平行的切割线网，而待切割工件通过工作台的升降实现垂直方向的进给，由于在切割线网中的金属丝线为等距离排布，切割后得到的切片厚度完全一致，为实现不同厚度切片的加工作业，需更换切割辊，由此不仅需配置多种规格的切割辊配件，提高了生产成本，而且增加了设备重新装配及调试的工作量，降低了工作效率。

实用新型内容

本实用新型提供一种可调节切片厚度的多线切割机，旨在通过对多线切割机工作台及切割辊结构的改进设计，达到改善多线切割机设备通用性能、减少切割辊更换频次、降低生产成本、提高工作效率的目的。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种可调节切片厚度的多线切割机，其特别之处在于：它针对现有多线切割机中切割辊总成和工作台总成结构进行改进设计，所述切割辊总成由主轴、切割驱动机构和支撑轮部件组成，所述主轴平行设置三组，三组主轴中心轴线位于同一水平面内，在每一组主轴上设置若干主轴导轮，三组主轴在切割驱动机构驱动下同向运转，所述支撑轮部件平行设置两组，在每一组支撑轮部件中设置数量与一组主轴上主轴导轮数量一致的支撑导轮，所述支撑导轮安装在与主轴平行布置的导轮支架上，切割线在主轴导轮和支撑导轮上缠绕形成切割线网，相邻两组主轴之间的切割线网形成一个切割区域；所述工作台总成中增设前后平移机构，所述前后平移机构包括固定部件和移动部件，在所述移动部件上布置待切割工件，待切割工件可随移动部件实现前后位置调整。

上述可调节切片厚度的多线切割机，所述前后平移机构中固定部件包括固定架、导轨、平移电机、平移传动带轮组件和丝杆；所述固定架安装在多线切割机的机架上，在固定架上下端面安装导轨；所述平移电机安装在固定架下方，其输出轴与平移传动带轮组件的动力输入端装配；所述平移传动带轮组件的动力输出端与丝杆一端装配；所述丝杆另一端与移动部件配装。

上述可调节切片厚度的多线切割机，所述前后平移机构中移动部件包括移动架、滑块和驱动块；所述移动架为一侧开口的矩形框架，在其上下端面内侧安装滑块；所述滑块与固定部件中导轨配装；所述驱动块为带有螺纹孔的矩形块，驱动块安装在移动架下端面上，驱动块螺纹孔与固定部件中丝杆配装，两者组成丝杆螺母传动单元。

上述可调节切片厚度的多线切割机，所述平移电机采用伺服电机。

上述可调节切片厚度的多线切割机，所述切割辊总成中切割驱动机构包括主轴电机和主轴传动带轮组件，所述主轴电机通过主轴传动带轮组件驱动三组主轴同步运转。

上述可调节切片厚度的多线切割机，所述主轴导轮和支撑导轮上设置数量一致的切割线槽，切割线槽数量不少于三组。

本实用新型为一种可调节切片厚度的多线切割机，它可通过平行设置的三组主轴，使相邻两组主轴之间切割线网形成的切割区域为两个，在每一个切割区域中可布置若干组待切割工件，每一组待切割工件长度不大于切割线网中相邻两条切割线之间距离，因此通过一次切割作业可完成每一组待切割工件的一个切片加工；本实用新型还在工作台总成中增设了前后平移机构，在完成一次切割作业后，可通过前后平移机构调整待切割工件位置，使待切割工件平移距离与设定的切片厚度一致，然后进行下一次切割作业，这样在不需更换切割辊的情况下就可得到设定厚度的切片。由此可见，本实用新型通过对多线切割机工作台及切割辊结构的改进设计，达到了改善多线切割机设备通用性能、减少切割辊更换频次、降低生产成本、提高工作效率的目的。

附图说明

图1是本实用新型的切割辊总成和工作台总成布置示意图；

图2是切割辊总成结构示意图；

图3是图2的K向视图；

图4是工作台总成结构示意图；

图5是图4中A-A剖面结构示意图；

图6是图4爆炸结构示意图。

图中各标号清单为：

1、切割辊总成，1-1、支撑导轮，1-2、导轮支架，1-3、主轴导轮，1-4、主轴，1-5、切割线，1-6、主轴电机，1-7、主轴传动带轮组件；

2、工作台总成，2-1、固定部件，2-1-1、平移电机，2-1-2、平移传动带轮组件，2-1-3、丝杆，2-1-4、固定架，2-1-5、导轨，2-2、移动部件，2-2-1、移动架，2-2-2、滑块，2-2-3、驱动块；

3、待切割工件。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步说明。

参看图 1、图2、图3，本实用新型针对现有多线切割机中切割辊总成和工作台总成结构进行了改进设计，其切割辊总成1由主轴1-4、切割驱动机构和支撑轮部件组成，所述主轴1-4平行设置三组，三组主轴1-4中心轴线位于同一水平面内，在每一组主轴1-4上设置若干主轴导轮1-3，三组主轴1-4在切割驱动机构驱动下同向运转，所述支撑轮部件平行设置两组，在每一组中设置数量与一组主轴上主轴导轮数量一致的支撑导轮1-1，所述支撑导轮1-1安装在与主轴平行布置的导轮支架1-2上，在主轴导轮1-3和支撑导轮1-1上设置数量一致且不少于三组的切割线槽，切割线1-5缠绕在主轴导轮1-3和支撑导轮1-1的切割线槽中形成切割线网，相邻两组主轴1-4之间的切割线网形成一个切割区域。

参看图2、图3，本实用新型所述的可调节切片厚度的多线切割机，其切割辊总成1中切割驱动机构包括主轴电机1-6和主轴传动带轮组件1-7，所述主轴电机1-6通过主轴传动带轮组件1-7驱动三组主轴同步运转。

参看图1、图4、图5，本实用新型所述的可调节切片厚度的多线切割机，在其工作台总成2中增设前后平移机构，所述前后平移机构包括固定部件2-1和移动部件2-2，在所述移动部件2-2上布置待切割工件3，待切割工件3可随移动部件2-2实现前后位置调整。

参看图4、图5、图6，本实用新型所述的可调节切片厚度的多线切割机，其前后平移机构中固定部件2-1包括固定架2-1-4、导轨2-1-5、平移电机2-1-1、平移传动带轮组件2-1-2和丝杆2-1-3；所述固定架2-1-4安装在多线切割机的机架上，在固定架2-1-4上下端面安装导轨2-1-5；所述平移电机2-1-1安装在固定架2-1-4下方，其输出轴与平移传动带轮组件2-1-2的动力输入端装配；所述平移传动带轮组件2-1-2的动力输出端与丝杆2-1-3一端装配；所述丝杆2-1-3另一端与移动部件2-2配装。

参看图4、图5、图6，本实用新型所述的可调节切片厚度的多线切割机，其前后平移机构中移动部件2-2包括移动架2-2-1、滑块2-2-2和驱动块2-2-3；所述移动架2-2-1为一侧开口的矩形框架，在其上下端面内侧安装滑块2-2-2；所述滑块2-2-2与固定部件2-1中导轨2-1-5配装；所述驱动块2-2-3为带有螺纹孔的矩形块，驱动块2-2-3安装在移动架2-2-1下端面上，驱动块2-2-3的螺纹孔与固定部件2-1中丝杆2-1-3配装，两者组成丝杆螺母传动单元。

参看图1至图6，本实用新型为一种可调节切片厚度的多线切割机，它可通过在切割辊总成1中平行设置的三组主轴1-4，形成由切割线网形成的两个切割区域，在每一个切割区域中可布置若干组待切割工件3，每一组待切割工件3的长度不大于切割线网中相邻两条切割线之间距离，因此一次切割作业可完成每一组待切割工件3的一个切片；本实用新型还在工作台总成2中增设了前后平移机构，在完成一次切割作业后，可通过前后平移机构中固定部件2-1的平移电机2-1-1、平移传动带轮组件2-1-2驱动丝杆2-1-3旋转，再通过丝杆2-1-3与移动部件2-2的驱动块2-2-3配合，驱动移动架2-2-1及待切割工件3前后移动，以此调整待切割工件3的位置，使待切割工件3平移距离与设定的切片厚度一致，然后进行下一次切割作业，这样就可得到设定厚度的切片。由于本实用新型可通过工件的前后移动调整切片的厚度，在针对不同厚度的切片作业时，不需要更换切割辊总成1，从而提高了切割机设备的通用性能。另外本实用新型的主轴导轮1-3和支撑导轮1-1上设置数量一致且不少于三组的切割线槽，当一组切割线槽因磨损不能满足切割精度要求时，可将切割线切换至与另一组切割线槽配合的绕线模式，避免了主轴导轮1-3和支撑导轮1-1的频繁更换，从而进一步降低了生产成本、提高了工作效率。

Claims (6)

1.一种可调节切片厚度的多线切割机，其特征是，它针对现有多线切割机中切割辊总成和工作台总成结构进行改进设计，所述切割辊总成（1）由主轴（1-4）、切割驱动机构和支撑轮部件组成，所述主轴（1-4）平行设置三组，三组主轴（1-4）中心轴线位于同一水平面内，在每一组主轴（1-4）上设置若干主轴导轮（1-3），三组主轴（1-4）在切割驱动机构驱动下同向运转，所述支撑轮部件平行设置两组，在每一组中设置数量与一组主轴上主轴导轮数量一致的支撑导轮（1-1），所述支撑导轮（1-1）安装在与主轴平行布置的导轮支架（1-2）上，切割线（1-5）在主轴导轮（1-3）和支撑导轮（1-1）上缠绕形成切割线网，相邻两组主轴之间的切割线网形成一个切割区域；所述工作台总成（2）中增设前后平移机构，所述前后平移机构包括固定部件（2-1）和移动部件（2-2），在所述移动部件（2-2）上布置待切割工件（3），待切割工件（3）可随移动部件（2-2）实现前后位置调整。

2.根据权利要求1所述的可调节切片厚度的多线切割机，其特征是，所述前后平移机构中固定部件（2-1）包括固定架（2-1-4）、导轨（2-1-5）、平移电机（2-1-1）、平移传动带轮组件（2-1-2）和丝杆（2-1-3）；所述固定架（2-1-4）安装在多线切割机的机架上，在固定架（2-1-4）上下端面安装导轨（2-1-5）；所述平移电机（2-1-1）安装在固定架（2-1-4）下方，其输出轴与平移传动带轮组件（2-1-2）的动力输入端装配；所述平移传动带轮组件（2-1-2）的动力输出端与丝杆（2-1-3）一端装配；所述丝杆（2-1-3）另一端与移动部件（2-2）配装。

3.根据权利要求2所述的可调节切片厚度的多线切割机，其特征是，所述前后平移机构中移动部件（2-2）包括移动架（2-2-1）、滑块（2-2-2）和驱动块（2-2-3）；所述移动架（2-2-1）为一侧开口的矩形框架，在其上下端面内侧安装滑块（2-2-2）；所述滑块（2-2-2）与固定部件（2-1）中导轨（2-1-5）配装；所述驱动块（2-2-3）为带有螺纹孔的矩形块，驱动块（2-2-3）安装在移动架（2-2-1）下端面上，驱动块（2-2-3）的螺纹孔与固定部件（2-1）中丝杆（2-1-3）配装，两者组成丝杆螺母传动单元。

4.根据权利要求2所述的可调节切片厚度的多线切割机，其特征是，所述平移电机（2-1-1）采用伺服电机。

5.根据权利要求3或4所述的可调节切片厚度的多线切割机，其特征是，所述切割辊总成（1）中切割驱动机构包括主轴电机（1-6）和主轴传动带轮组件（1-7），所述主轴电机（1-6）通过主轴传动带轮组件（1-7）驱动三组主轴同步运转。

6.根据权利要求5所述的可调节切片厚度的多线切割机，其特征是，所述主轴导轮（1-3）和支撑导轮（1-1）上设置数量一致的切割线槽，切割线槽数量不少于三组。

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