CN215114145U - 一种带有换热式降温结构的蚀刻槽 - Google Patents
一种带有换热式降温结构的蚀刻槽 Download PDFInfo
- Publication number
- CN215114145U CN215114145U CN202121456523.9U CN202121456523U CN215114145U CN 215114145 U CN215114145 U CN 215114145U CN 202121456523 U CN202121456523 U CN 202121456523U CN 215114145 U CN215114145 U CN 215114145U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- etching
- heat transfer
- heat exchange
- groove body
- seat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种带有换热式降温结构的蚀刻槽，包括换热座、蚀刻槽本体和换热金属片，所述的蚀刻槽本体上端设置有开口槽，所述的蚀刻槽本体的下端设置有换热金属片，换热金属片的上端设置有若干穿过蚀刻槽本体的上部换热片，所述的换热金属片的下端面上均匀安装有下部换热片，所述的换热座上部设置有降温槽，所述的蚀刻槽本体安装在换热座内，下部换热片插入降温槽内。本实用新型具有方便蚀刻槽改造、改造成本低、安装方便、结构简单、操作简便、温控效果好等特点。
Description
技术领域
本实用新型涉及蚀刻槽技术领域，特别是涉及一种带有换热式降温结构的蚀刻槽。
背景技术
蚀刻操作时，产品蚀刻过程中会产生大量热量，热量会导致蚀刻效率降低，并且产品容易产生侧蚀，为了解决该问题，常规的情况是将降温管安装在蚀刻槽底部，并通过循环冷却液来对蚀刻液的温度进行降低，该方式有一定缺陷，该缺陷是设备改造成本高，需要换热器设备以及配套管路；为了解决上述问题，设计一种新的带有换热式降温结构的蚀刻槽是非常有必要的。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种带有换热式降温结构的蚀刻槽，具有方便蚀刻槽改造、改造成本低、安装方便、结构简单、操作简便、温控效果好等特点。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种带有换热式降温结构的蚀刻槽，包括换热座、蚀刻槽本体和换热金属片，所述的蚀刻槽本体上端设置有开口槽，所述的蚀刻槽本体的下端设置有换热金属片，换热金属片的上端设置有若干穿过蚀刻槽本体的上部换热片，所述的换热金属片的下端面上均匀安装有下部换热片，所述的换热座上部设置有降温槽，所述的蚀刻槽本体安装在换热座内，下部换热片插入降温槽内。
作为对本技术方案的一种补充，所述的蚀刻槽本体的开口槽底面上对称设置有两个安装座，所述的安装座上设置有蚀刻工装。
作为对本技术方案的一种补充，所述的上部换热片中设置有四片定位式换热片，四片定位式换热片分为两组，穿过安装座和蚀刻工装。
作为对本技术方案的一种补充，所述的蚀刻工装上设置有放置槽。
作为对本技术方案的一种补充，所述的换热座上端边缘处设置有一圈定位台阶，所述的蚀刻槽本体下端卡入到定位台阶内。
作为对本技术方案的一种补充，所述的换热座一端底部设置有与降温槽底部对应的进水管，所述的换热座另一端上部设置有与降温槽上部对应的出水管。
有益效果：本实用新型涉及一种带有换热式降温结构的蚀刻槽，具体有益效果如下：
(1)、本装置通过增加一个换热器金属片即可对蚀刻槽进行改造，不需要负责的冷却管铺设，不需要改变蚀刻槽整体结构，大大降低设备改造成本以及改造难度；
(2)、通过增加换热座，方便冷却空间的布置，同时通过设置定位式换热片方便蚀刻工装的定位，对接时，只需要将蚀刻槽本体直接放置在换热座上即可，大大简化了换热工作的操作。
附图说明
图1是本实用新型的俯视图；
图2是本实用新型的全剖视图。
图示：1、换热座，2、蚀刻槽本体，3、进水管，4、出水管，5、换热金属片，6、下部换热片，7、安装座，8、蚀刻工装，9、上部换热片，10、定位台阶，11、定位式换热片，12、放置槽。
具体实施方式
下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
本实用新型的实施方式涉及一种带有换热式降温结构的蚀刻槽，如图1—2所示，包括换热座1、蚀刻槽本体2和换热金属片5，所述的蚀刻槽本体2上端设置有开口槽，所述的蚀刻槽本体2的下端设置有换热金属片5，换热金属片5的上端设置有若干穿过蚀刻槽本体2的上部换热片9，所述的换热金属片5的下端面上均匀安装有下部换热片6，所述的换热座1上部设置有降温槽，所述的蚀刻槽本体2安装在换热座1内，下部换热片6插入降温槽内。
本技术方案进行工作的时候，首先将冷却水或者冰或者干冰放置在换热座1的降温槽内，之后将带有换热金属片5的蚀刻槽本体2安装在换热座1上，然后启动阀门从进水管3处开始通水，接着将蚀刻液导入到开口槽内，最后将带有产品的蚀刻工装8安装在安装座7即可，在蚀刻液反应生热时，上部换热片9对蚀刻液进行降温，确保生产效率。
作为对本技术方案的一种补充，所述的蚀刻槽本体2的开口槽底面上对称设置有两个安装座7，所述的安装座7上设置有蚀刻工装8。
作为对本技术方案的一种补充，所述的上部换热片9中设置有四片定位式换热片11，四片定位式换热片11分为两组，穿过安装座7和蚀刻工装8。
通过设置四片定位式换热片11方便对蚀刻工装8进行定位。
作为对本技术方案的一种补充，所述的蚀刻工装8上设置有放置槽12。
作为对本技术方案的一种补充，所述的换热座1上端边缘处设置有一圈定位台阶10，所述的蚀刻槽本体2下端卡入到定位台阶10内。
通过设置定位台阶10，方便换热座1与蚀刻槽本体2进行对接。
作为对本技术方案的一种补充，所述的换热座1一端底部设置有与降温槽底部对应的进水管3，所述的换热座1另一端上部设置有与降温槽上部对应的出水管4。
进水管3的进水流量小于出水管4的出水量。
Claims (6)
1.一种带有换热式降温结构的蚀刻槽，其特征在于：包括换热座(1)、蚀刻槽本体(2)和换热金属片(5)，所述的蚀刻槽本体(2)上端设置有开口槽，所述的蚀刻槽本体(2)的下端设置有换热金属片(5)，换热金属片(5)的上端设置有若干穿过蚀刻槽本体(2)的上部换热片(9)，所述的换热金属片(5)的下端面上均匀安装有下部换热片(6)，所述的换热座(1)上部设置有降温槽，所述的蚀刻槽本体(2)安装在换热座(1)内，下部换热片(6)插入降温槽内。
2.根据权利要求1所述的一种带有换热式降温结构的蚀刻槽，其特征在于：所述的蚀刻槽本体(2)的开口槽底面上对称设置有两个安装座(7)，所述的安装座(7)上设置有蚀刻工装(8)。
3.根据权利要求2所述的一种带有换热式降温结构的蚀刻槽，其特征在于：所述的上部换热片(9)中设置有四片定位式换热片(11)，四片定位式换热片(11)分为两组，穿过安装座(7)和蚀刻工装(8)。
4.根据权利要求2所述的一种带有换热式降温结构的蚀刻槽，其特征在于：所述的蚀刻工装(8)上设置有放置槽(12)。
5.根据权利要求1所述的一种带有换热式降温结构的蚀刻槽，其特征在于：所述的换热座(1)上端边缘处设置有一圈定位台阶(10)，所述的蚀刻槽本体(2)下端卡入到定位台阶(10)内。
6.根据权利要求1所述的一种带有换热式降温结构的蚀刻槽，其特征在于：所述的换热座(1)一端底部设置有与降温槽底部对应的进水管(3)，所述的换热座(1)另一端上部设置有与降温槽上部对应的出水管(4)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202121456523.9U CN215114145U (zh) | 2021-06-29 | 2021-06-29 | 一种带有换热式降温结构的蚀刻槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202121456523.9U CN215114145U (zh) | 2021-06-29 | 2021-06-29 | 一种带有换热式降温结构的蚀刻槽 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN215114145U true CN215114145U (zh) | 2021-12-10 |
Family
ID=79312509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202121456523.9U Active CN215114145U (zh) | 2021-06-29 | 2021-06-29 | 一种带有换热式降温结构的蚀刻槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215114145U (zh) |
-
2021
- 2021-06-29 CN CN202121456523.9U patent/CN215114145U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN215114145U (zh) | 一种带有换热式降温结构的蚀刻槽 | |
| CN110943265A (zh) | 耦合新型仿生热管的电池热管理装置制备及双向热流控制方法 | |
| CN210156518U (zh) | 两层板式电池冷却板 | |
| CN220322093U (zh) | 一种抗渗防腐混凝土结构冷却塔 | |
| CN101773367A (zh) | 半导体饮水机 | |
| CN211626159U (zh) | 一体两段式换热器 | |
| CN201778886U (zh) | 一种用于滑阀式调温器的柴油机调温器座 | |
| CN214148465U (zh) | 一种封闭式冷却水循环装置 | |
| CN110299579A (zh) | 两层板式电池冷却板 | |
| CN209693341U (zh) | 一种服务器加装热管换热器的数据中心复合冷却系统 | |
| CN210108101U (zh) | 分离式热管转换装置及分离式热管系统 | |
| CN201555471U (zh) | 多流程散热器水箱 | |
| CN216268659U (zh) | 一种用于新能源汽车的高效节能换热器 | |
| CN207021891U (zh) | 一种变频柜的散热装置 | |
| CN213687375U (zh) | 一种换热器降温装置 | |
| CN218826549U (zh) | 水冷变压器 | |
| CN211346441U (zh) | 一种液化石油气水冷式热交换器 | |
| CN210201699U (zh) | 一种变流器的散热装置 | |
| CN216795584U (zh) | 一种耐海水腐蚀散热器 | |
| CN219591499U (zh) | 一种新能源汽车电池组水冷板 | |
| CN217716029U (zh) | 一种多腔体组合式换热器 | |
| CN220984633U (zh) | 动力电池水冷系统 | |
| CN215552437U (zh) | 一种房车用燃油液体加热器一体机 | |
| CN221260615U (zh) | 一种用于冰水混合环境下的应力腐蚀实验装置 | |
| CN218120877U (zh) | 定位精度高的hgc缸位移传感器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |