CN215103683U - 一种用于单晶硅棒的取棒保护装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种用于单晶硅棒的取棒保护装置，包括可拆卸地和副室相连接的连接件，连接件与驱动机构连接，驱动机构包括与连接件一端连接的控制箱、固定在控制箱内的微型电机、与微型电机的输出轴机械连接的第一螺杆和第二螺杆，第一螺杆横向转动安装在所述控制箱内，且上套装有主动齿轮，第二螺杆的下端穿过控制箱，且竖直转动安装在控制箱内，且下端上套装有从动齿轮，主动齿轮与从动齿轮相互啮合，第二螺杆上套设有保护环。本实用新型设计新颖，可以调节保护环的高度，满足不同长度单晶硅棒的保护要求，满足不同的使用情况，可根据实际情况实现对单晶硅棒不同位置的保护，实用性强，值得推广。

Description

一种用于单晶硅棒的取棒保护装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产制造领域，具体为一种用于单晶硅棒的取棒保护装置。

背景技术

单晶硅棒的加工方式采用加料式拉制的方式，单晶硅棒在拉制成型后，在出棒的过程中，需要将单晶硅棒先从坩埚中升高至圆柱型空腔结构的副室中，而单晶硅棒上端固定且位于空腔中心轴位置，在副室旋转带动单晶硅棒移出时，会造成单晶硅棒的晃动，尤其在旋转启动、停止过程中由于惯性作用会加剧单晶硅棒的晃动，容易造成单晶硅棒的掉落及晶棒与副室内壁的磕碰。

目前为了防止单晶硅棒掉落，单晶炉在副室侧部会增加一个晶托装置，在副室升起后，将晶托装置打开，防止因旋转副室而导致单晶硅棒掉落，但对于副室旋转过程中引起的晶棒晃动却没有明显得到改善。

授权公告号CN209636367U的实用新型公开了一种单晶硅棒取棒保护装置，包括：用于设置于单晶炉的副室底端的保护环；以及和所述保护环固定连接，用于将所述保护环可拆卸地和副室相连接的连接件；其中，所述保护环的内环直径小于所述副室内壁的直径且大于单晶硅棒的直径；当所述连接件和所述副室相连接时，所述保护环位于所述副室的下端口，且单晶硅棒的下端位于所述保护环的内环中。本实用新型中的单晶硅棒取棒保护装置，当副室发生旋转时，通过保护环限制单晶硅棒的晃动幅度并避免单晶硅棒和副室的内壁发生碰撞，从而降低单晶硅棒和保护环碰撞时出现破碎的可能性。

但是上述专利文献仍存在不足之处：保护环的高度不可以调节，无法应对不同长度的单晶硅棒，无法满足不同的使用情况，同时，不可根据实际情况实现对单晶硅棒不同位置的保护，实用性不强。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于单晶硅棒的取棒保护装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种用于单晶硅棒的取棒保护装置，包括可拆卸地和副室相连接的连接件，所述连接件与驱动机构连接，所述驱动机构包括与所述连接件一端连接的控制箱、固定在控制箱内的微型电机、与微型电机的输出轴机械连接的第一螺杆和第二螺杆，所述第一螺杆横向转动安装在所述控制箱内，且上套装有主动齿轮，所述第二螺杆的下端穿过所述控制箱，且竖直转动安装在所述控制箱内，且下端上套装有从动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮相互啮合，所述第二螺杆上套设有保护环。

所述第二螺杆的顶端设有限位块，且上还套设有另一个保护环。

所述控制箱位于所述保护环一侧连接有支撑盘。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型设计新颖，采用微型电机、第一螺杆、第二螺杆、主动齿轮与从动齿轮的设计，采用齿轮传动的方式实现保护环在第二螺杆上的移动，该传动方式精准稳定，可以调节保护环的高度，满足不同长度单晶硅棒的保护要求，满足不同的使用情况，可根据实际情况实现对单晶硅棒不同位置的保护，实用性强，值得推广。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分。在附图中：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的单晶炉部分剖面结构示意图；

图中：1连接件；2驱动机构；21控制箱；22微型电机；23第一螺杆；24第二螺杆；3主动齿轮；4从动齿轮；5保护环；6支撑盘；7副室；8单晶硅棒。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型提供技术方案：一种用于单晶硅棒的取棒保护装置，包括可拆卸地和副室相连接的连接件1，连接件1与驱动机构2连接，驱动机构2包括与连接件1一端连接的控制箱21、固定在控制箱21内的微型电机22、与微型电机22的输出轴机械连接的第一螺杆23和第二螺杆24，第一螺杆23横向转动安装在控制箱21内，且上套装有主动齿轮3，第二螺杆24的下端穿过控制箱21，且竖直转动安装在控制箱21内，且下端上套装有从动齿轮4，主动齿轮3与从动齿轮4相互啮合，第二螺杆24上套设有保护环5。

第一螺杆23和第二螺杆24均通过轴承座转动安装在控制箱21内，进而实现转动。

第二螺杆24的顶端设有限位块，且上还套设有另一个保护环5，可进一步增强对单晶硅棒8的保护，实现对单晶硅棒8的双保护。

如图2所示，控制箱21位于保护环5一侧连接有支撑盘6，支撑盘6位于保护环5的正下方，当单晶硅棒8脱落时，该支撑盘6可以从底端托住单晶硅棒8，避免其掉落摔碎，该支撑盘6和保护环5相互平行且在同一轴向上对齐设置。

具体的，控制箱21的外部有控制器(控制器为市场通用装置，其结构及类型为本领域技术人员的公知常识，具体使用时，可根据实际使用情况进行选择)，控制器电性连接微型电机22，通过控制器启动微型电机22正反向转动带动第一螺杆23转动，进而带动主动齿轮3转动，主动齿轮3带动从动齿轮4转动，进而使得第二螺杆24转动，使得保护环5在第二螺杆24上下移动，进而调整保护环5的位置，可以调节保护环5的高度，满足不同长度单晶硅棒8的保护要求，满足不同的使用情况，可根据实际情况实现对单晶硅棒8不同位置的保护，实用性强，值得推广。

需要说明的是，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种用于单晶硅棒的取棒保护装置，包括可拆卸地和副室相连接的连接件(1)，其特征在于：所述连接件(1)与驱动机构(2)连接，所述驱动机构(2)包括与所述连接件(1)一端连接的控制箱(21)、固定在控制箱(21)内的微型电机(22)、与微型电机(22)的输出轴机械连接的第一螺杆(23)和第二螺杆(24)，所述第一螺杆(23)横向转动安装在所述控制箱(21)内，且上套装有主动齿轮(3)，所述第二螺杆(24)的下端穿过所述控制箱(21)，且竖直转动安装在所述控制箱(21)内，且下端上套装有从动齿轮(4)，所述主动齿轮(3)与从动齿轮(4)相互啮合，所述第二螺杆(24)上套设有保护环(5)。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅棒的取棒保护装置，其特征在于：所述第二螺杆(24)的顶端设有限位块。

3.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅棒的取棒保护装置，其特征在于：所述控制箱(21)位于所述保护环(5)一侧连接有支撑盘(6)。

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