CN215050661U - 镀膜机工件承载系统 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种镀膜机工件承载系统，包括底盘，还包括：沿周向转动安装在底盘顶面上的多个传动座；固定于所述底盘的顶盘；用于承载工件的镀膜机转架，包括：共轴线布置且绕所述轴线转动配合的上枢轴和下枢轴，其中所述上枢轴的顶部连接至所述顶盘，所述下枢轴的底部连接至对应的传动座；固定于所述上枢轴的中心齿盘；固定于所述下枢轴的转架盘；转动安装于所述转架盘上的多个工件托盘，各工件托盘绕所述中心齿盘分布，各工件托盘的外周带有与所述中心齿盘啮合传动的轮齿，传动座带动所述下枢轴相对于所述上枢轴转动时，各工件托盘自转且绕所述中心齿盘公转。本申请的镀膜机工件承载系统能够灵活装卸镀膜机转架，有效提升生产效率。

Description

镀膜机工件承载系统

技术领域

本申请涉及真空镀膜设备技术领域，特别是涉及镀膜机工件承载系统。

背景技术

真空镀膜机用于在真空条件下对工件镀膜，包括真空室、真空室内设置有转架，通过驱动装置驱动转架来实现工件的转动。多工位镀膜系统由于可以调节自转和公转的角速度比、制得的膜层均匀性好、镀膜效率高等优点，因此得到广泛应用。

现有公自转真空镀膜机的转架较重，且在上下镀膜工件时拆卸困难，影响生产效率。

实用新型内容

针对上述技术问题，本申请提供了镀膜均匀性和一致性好的镀膜机工件承载系统，能够实现转架的快速安装和拆卸，提升装卸镀膜工件的效率。

本申请的镀膜机工件承载系统，包括底盘，还包括：

沿周向转动安装在底盘顶面上的多个传动座；

固定于所述底盘的顶盘；

用于承载工件的镀膜机转架，包括：

共轴线布置且绕所述轴线转动配合的上枢轴和下枢轴，其中所述上枢轴的顶部连接至所述顶盘，所述下枢轴的底部连接至对应的传动座；

固定于所述上枢轴的中心齿盘；

固定于所述下枢轴的转架盘；

转动安装于所述转架盘上的多个工件托盘，各工件托盘绕所述中心齿盘分布，各工件托盘的外周带有与所述中心齿盘啮合传动的轮齿，传动座带动所述下枢轴相对于所述上枢轴转动时，各工件托盘自转且绕所述中心齿盘公转。

可选的，所述底盘的外周带有用于与相应驱动机构匹配的第一轮齿。

可选的，所述底盘上转动安装有外周带第二轮齿的传动齿环，各传动座均与所述第二轮齿啮合以同步自转。

可选的，各传动座顶面开设有第一卡槽，所述下枢轴的底端设有嵌入所述第一卡槽的传动柄。

可选的，所述顶盘通过多根立柱固定架设在所述底盘上，在所述顶盘的外缘设有第二卡槽，所述上枢轴的顶部带有嵌入所述第二卡槽的止转件。

可选的，所述顶盘的外缘摆动安装有阻挡件，所述阻挡件具有：

将所述止转件限制在所述第二卡槽内的锁合位；

以及开放所述第二卡槽，容许所述止转件脱离的释锁位。

可选的，所述顶盘的外缘设有活动锁销，用于将所述阻挡件保持在锁合位。

可选的，所述下枢轴的顶部设有开设在轴线部位的定位槽，所述上枢轴的底部伸入所述定位槽并转动配合。

可选的，所述中心齿盘沿所述上枢轴间隔布置有多个，所述转架盘有多个且处在各中心齿盘的下方，各转架盘的中心区域均设有供所述上枢轴穿过的避让孔，高度上相邻两转架盘之间通过处在边缘区域的支撑杆相互连接，处在最底层的转架盘与所述下枢轴相互固定。

可选的，所述相邻转架盘之间为架空区域，高度上相邻两架空区域内的支撑杆错位布置。

本申请的镀膜机工件承载系统具有便于安装和拆卸的镀膜机转架，可大幅度提升镀膜效率，且其公自转结构保证了镀膜效果。

附图说明

图1为镀膜机工件承载系统的结构示意图；

图2为镀膜机转架的结构示意图；

图3为镀膜机转架的剖面示意图；

图4为图2的底部局部放大示意图；

图5为图1的顶部局部放大示意图。

图中附图标记说明如下：

10、底盘；11、第一轮齿；

20、传动齿环；21、第二轮齿；

30、传动座；31、第一卡槽；32、第三轮齿；

40、镀膜机转架；41、上枢轴；411、承托环；412、止转件；42、下枢轴；421、传动柄；422、定位槽；43、插接结构；44、中心齿盘；45、转架盘；451、减重孔；46、支撑杆；47、锁紧螺母；48、工件托盘；

50、顶盘；51、第二卡槽；52、阻挡件；53、活动锁销；

60、立柱。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

需要说明的是，当组件被称为与另一个组件“连接”时，它可以直接与另一个组件连接或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是在于限制本申请。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

真空镀膜机包括真空室以及设置在真空室内的镀膜机工件承载系统，生产过程中通常需要在真空镀膜室外装卸待镀膜工件；现有真空镀膜机工件承载系统包括主架以及安装于主架上的镀膜机转架，但存在镀膜机转架的装卸繁琐、自重较大导致的转移困难、镀膜均匀性和一致性较差等问题，影响生产效率。

针对上述技术问题，参见图1，本申请一实施例提供的镀膜机工件承载系统，包括底盘10，还包括：

沿周向转动安装在底盘10顶面上的多个传动座30；

固定于底盘10的顶盘50；

用于承载工件的镀膜机转架40，包括：

共轴线布置且绕轴线转动配合的上枢轴41和下枢轴42，其中上枢轴41的顶部连接至顶盘50，下枢轴42的底部连接至对应的传动座30；

固定于上枢轴41的中心齿盘44；

固定于下枢轴42的转架盘45；

转动安装于转架盘45上的多个工件托盘48，各工件托盘48绕中心齿盘44分布，各工件托盘48的外周带有与中心齿盘44啮合传动的轮齿，传动座30带动下枢轴42相对于上枢轴41转动时，各工件托盘48自转且绕中心齿盘44公转。

镀膜机工件承载系统的主架包括固定连接的底盘10和顶盘50，主架能够为镀膜机转架40提供支撑作用，有利于镀膜机转架40的稳定运转；而镀膜机转架40带动待镀工件自转以及绕中心齿盘44进行公转，保证工件镀膜的均匀性和一致性；此外，镀膜机转架40通过枢轴连接于主架，便于灵活装卸，缩短打开真空室的时间，提升生产效率。

镀膜机工件承载系统联动多个驱动机构实现多种转动模式，参见图1，一实施例中，底盘10的外周带有用于与相应驱动机构匹配的第一轮齿11；该驱动机构为第一驱动机构，能够驱动第一轮齿11绕主架的中间轴线转动，并带动传动座30的公转，在不影响工件自转的前提下，实现镀膜机转架40在真空室内的位点变化，有助于提升镀膜的均匀性。

除公转外，传动座30还需自转带动下枢轴42相对上枢轴41转动，一实施例中，镀膜机工件承载系统还设置有第二驱动机构，驱动传动座30的模式不作限制，第二驱动机构可直接联动各传动座30，也可间接驱动各传动座30。

为了便于快速驱动多个传动座30的自转以及保证转动的一致性，一实施例中，底盘10上转动安装有外周带第二轮齿21的传动齿环20，各传动座30均与第二轮齿21啮合以同步自转，参见图1。

参见图1，各传动座30沿传动齿环20的圆周对称分布，传动座30上设有与第二轮齿21啮合的第三轮齿32，第二驱动机构直接驱动传动齿环20自转使第二轮齿21和第三轮齿32发生相对运动，从而实现各传动座30的同步自转。

下枢轴42与相对应的传动座30连接，一方面要求装卸的便捷性，另一方面还需保证下枢轴42与传动座30的联动稳定性。

下枢轴42的底端设有联动部用以与传动座配合转动，联动部的具体结构应与传动座结构相适应，参见图1、图4，一实施例中，各传动座30顶面开设有第一卡槽31，下枢轴42的底端设有嵌入所述第一卡槽31的传动柄421。

参见图3，一实施例中，下枢轴42的顶部设有开设在轴线部位的定位槽422，上枢轴41的底部伸入定位槽422并转动配合，有利于提升两枢轴转动配合的稳定性。

为了防止两枢轴在转动过程中沿径向发生错位，一实施例中，上枢轴41的底部与下枢轴42的顶端之间设有相互配合、以限制径向错位的插接结构43。插接结构43为连接两相对转动枢轴的转动连接件，例如销轴等，参见图3。

为了增加待镀膜工件的承载量，提升生产效率，一实施例中，中心齿盘44沿上枢轴41间隔布置有多个，转架盘45有多个且处在各中心齿盘44的下方，各转架盘45的中心区域均设有供上枢轴41穿过的避让孔，高度上相邻两转架盘45之间通过处在边缘区域的支撑杆46相互连接，处在最底层的转架盘45与下枢轴42相互固定。

参见图2～3，支撑杆46将各转架盘45串联，当镀膜机转架40进入工作状态时，上枢轴41处于固定状态，各中心齿盘44与上枢轴41固定连接，下枢轴42带动最底层的转架盘45转动，并通过支撑杆46将扭矩和转速依次传递给上方的多个转架盘45，各转架盘45带动工件托盘绕中心齿盘44公转，而且各工件托盘48的公转又能够促使自身的轮齿与中心齿盘44啮合传动，从而实现各工件托盘48的自转。

相比于最底层的转架盘45的转动，上层各转架盘45受支撑杆46的长度影响具有一定的滞后性，因此，支撑杆46的长度应控制在合理范围内，既要预留足够的装卸工件空间，又要保证镀膜前各转架盘45能够快速达到同步状态，减少预转动时间。多层工位的镀膜机转架40可大幅度增加待镀膜工件的承载量，提升生产效率。

一实施例中，相邻转架盘45之间为架空区域，高度上相邻两架空区域内的支撑杆46错位布置。其中，架空区域方便装卸工件以及观察工件镀膜情况；支撑杆46错位布置则有利于提升各转架盘45的转动稳定性。

为了保证多层工位的镀膜机转架40的转动稳定性，一实施例中，上枢轴41的顶部安装有承托环411，最顶层的转架盘45在自身避让孔的孔缘部位叠压在承托环411上。提升上枢轴41的承载力。

为了减轻多层工位镀膜机转架40的重量，一实施例中，转架盘45为圆板状，且沿周向开设有多个减重孔451，各工件托盘48转动安装在相邻两减重孔451之间，有效降低运输承载负荷，提高生产安全性。

一实施例中，支撑杆46的径向位置处在减重孔451的外围区域，支撑杆46的两端分别贯穿相应侧的转架盘45，在贯穿部位处螺纹安装有锁紧螺母47。

上述镀膜机工件承载系统涉及多个组件的转动，从而实现镀膜工件沿主架中心轴线转动、绕中心齿盘44转动、自转三种转动模式，但仍可根据实际情况进行调整，可以联动控制，也可部分单独控制，满足多种镀膜需求。

通常待镀工件的安装和镀膜工件的卸载都需在真空室外进行，为了方便装卸工件，缩短打开真空室的时间，镀膜机转架要求能够灵活快捷装卸。

一实施例中，顶盘50通过多根立柱60固定架设在底盘10上，在顶盘50的外缘设有第二卡槽51，上枢轴41的顶部带有嵌入第二卡槽51的止转件412。

参见图5，一实施例中，顶盘50的外缘摆动安装有阻挡件52，阻挡件52具有：

将止转件412限制在第二卡槽51内的锁合位；

以及开放第二卡槽51，容许止转件412脱离的释锁位。

一实施例中，顶盘50的外缘设有活动锁销53，用于将阻挡件52保持在锁合位。

活动锁销53设有用于锁合的锁销柄，阻挡件52上设有容纳部分锁销柄的锁孔，两者相互配合实现进入和解除锁合。需要说明的，本申请并未限制活动锁销53和阻挡件52的配合方式，可作多样改变以适用不同的应用场景。

装有待镀膜工件的镀膜机转架在运输设备的作用使下枢轴42插入并卡合传动座30，同时止转件412刚好与第二卡槽51卡合，然后转动阻挡件52与活动锁销53合拢，将止转件保持在锁合位，实现镀膜机转架40的安装。

镀膜完成后需按下活动锁销53，解除活动锁销53与阻挡件52的锁合，转动阻挡件52至释锁位，然后向上提升镀膜机转架40使下枢轴42脱离第一卡槽31，即可拆卸镀膜机转架40。

本申请的镀膜机工件承载系统一方面通过多种转动模式的联动保证镀膜的均匀性和一致性，另一方面可灵活快速自重较轻的装卸镀膜机转架，有效提升生产效率和设备使用安全性。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。不同实施例中的技术特征体现在同一附图中时，可视为该附图也同时披露了所涉及的各个实施例的组合例。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.镀膜机工件承载系统，包括底盘，其特征在于，还包括：

沿周向转动安装在底盘顶面上的多个传动座；

固定于所述底盘的顶盘；

用于承载工件的镀膜机转架，包括：

共轴线布置且绕所述轴线转动配合的上枢轴和下枢轴，其中所述上枢轴的顶部连接至所述顶盘，所述下枢轴的底部连接至对应的传动座；

固定于所述上枢轴的中心齿盘；

固定于所述下枢轴的转架盘；

转动安装于所述转架盘上的多个工件托盘，各工件托盘绕所述中心齿盘分布，各工件托盘的外周带有与所述中心齿盘啮合传动的轮齿，传动座带动所述下枢轴相对于所述上枢轴转动时，各工件托盘自转且绕所述中心齿盘公转。

2.根据权利要求1所述的镀膜机工件承载系统，其特征在于，所述底盘的外周带有用于与相应驱动机构匹配的第一轮齿。

3.根据权利要求1所述的镀膜机工件承载系统，其特征在于，所述底盘上转动安装有外周带第二轮齿的传动齿环，各传动座均与所述第二轮齿啮合以同步自转。

4.根据权利要求1所述的镀膜机工件承载系统，其特征在于，各传动座顶面开设有第一卡槽，所述下枢轴的底端设有嵌入所述第一卡槽的传动柄。

5.根据权利要求1所述的镀膜机工件承载系统，其特征在于，所述顶盘通过多根立柱固定架设在所述底盘上，在所述顶盘的外缘设有第二卡槽，所述上枢轴的顶部带有嵌入所述第二卡槽的止转件。

6.根据权利要求5所述的镀膜机工件承载系统，其特征在于，所述顶盘的外缘摆动安装有阻挡件，所述阻挡件具有：

将所述止转件限制在所述第二卡槽内的锁合位；

以及开放所述第二卡槽，容许所述止转件脱离的释锁位。

7.根据权利要求6所述的镀膜机工件承载系统，其特征在于，所述顶盘的外缘设有活动锁销，用于将所述阻挡件保持在锁合位。

8.根据权利要求1所述的镀膜机工件承载系统，其特征在于，所述下枢轴的顶部设有开设在轴线部位的定位槽，所述上枢轴的底部伸入所述定位槽并转动配合。

9.根据权利要求1所述的镀膜机工件承载系统，其特征在于，所述中心齿盘沿所述上枢轴间隔布置有多个，所述转架盘有多个且处在各中心齿盘的下方，各转架盘的中心区域均设有供所述上枢轴穿过的避让孔，高度上相邻两转架盘之间通过处在边缘区域的支撑杆相互连接，处在最底层的转架盘与所述下枢轴相互固定。

10.根据权利要求9所述的镀膜机工件承载系统，其特征在于，所述相邻转架盘之间为架空区域，高度上相邻两架空区域内的支撑杆错位布置。

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