CN215046830U - 一种半导体零部件烤炉下料系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体零部件生产领域，特别涉及一种半导体零部件烤炉下料系统。该系统包括从烤炉中送出产品的高温输送线、视觉定位机构、设备框架、多轴机器人、夹爪机构、下料摆放台，多轴机器人连接在设备框架上，高温输送线、下料摆放台分别设置在多轴机器人摆动范围内的工位上，夹爪机构连接在多轴机器人的一端，视觉定位机构设置在高温输送线上方并监视产品的输送，多轴机器人带动夹爪机构将高温输送线上的产品移动至下料摆放台上。该系统通过视觉定位机构对高温输送线上的产品进行定位，多轴机器人带动夹爪机构对产品自动抓取，并摆放到指定位置散热，整个过程自动化进行，实现无人化作业，改善人的作业高温环境，提高了作业效率。

Description

一种半导体零部件烤炉下料系统

技术领域

本实用新型涉及半导体零部件生产领域，特别涉及一种半导体零部件烤炉下料系统。

背景技术

半导体零部件产品生产过程中，烘烤是一个必须的步骤，而对烤炉出来的产品进行下料作业也是生产过程一个重要的环节。现有的烤炉下料作业是通过人力借助机械设备来完成，为了跟上下料的速度，需要多个人力进行同时将产品下料后放置在指定位置来散热，而由于烤炉的温度较高，人工作业环境差，而由于下料区周围可供作业的区域有限，加上人力下料的速度会赶不上烤炉出料的速度，因此会大大影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型提供一种半导体零部件烤炉下料系统，旨在提高产品烤炉下料的生产效率。

本实用新型提供一种半导体零部件烤炉下料系统，包括从烤炉中送出产品的高温输送线、视觉定位机构、设备框架、多轴机器人、夹爪机构、下料摆放台，所述多轴机器人连接在设备框架上，所述高温输送线、下料摆放台分别设置在多轴机器人摆动范围内的工位上，所述夹爪机构连接在多轴机器人的一端，所述视觉定位机构设置在高温输送线上方并监视产品的输送，所述多轴机器人带动夹爪机构将高温输送线上的产品移动至下料摆放台上。

作为本实用新型的进一步改进，所述多轴机器人摆动范围内的工位上设有多个下料摆放台，每个所述下料摆放台上设有多个产品摆放槽位，所述多轴机器人带动夹爪机构抓取产品后依次放置产品摆放槽位内。

作为本实用新型的进一步改进，所述视觉定位机构包括定位支架、定位安装板、光源设备、摄像设备，所述定位安装板通过定位支架连接在高温输送线上方，所述光源设备、摄像设备均连接在定位安装板上，所述光源设备的光线方向、摄像设备的镜头方向对准高温输送线。

作为本实用新型的进一步改进，所述夹爪机构包括夹取半导体零部件的夹爪、驱动电缸、支撑块，所述夹爪与半导体零部件的接触面处设有支撑孔，所述支撑块连接在支撑孔内，所述半导体零部件设有支撑凹槽，夹取半导体零部件时所述支撑块与支撑凹槽匹配连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述夹爪包括左右两个夹臂，两个所述夹臂分别与驱动电缸连接，夹取半导体零部件时所述驱动电缸带动左右两个夹臂向中间合拢。

作为本实用新型的进一步改进，所述夹臂为弓形结构，所述夹臂的中间拱起部连接驱动电缸，所述夹臂的两端分别设有支撑孔。

作为本实用新型的进一步改进，所述支撑块为防刮伤的缓冲块。

作为本实用新型的进一步改进，所述夹爪机构包括法兰，所述法兰连接在驱动电缸上，所述驱动电缸通过法兰连接多轴机器人。

作为本实用新型的进一步改进，该系统包括护栏，所述护栏包围住多轴机器人摆动范围内的工位。

作为本实用新型的进一步改进，该系统包括操作面板，所述护栏的一侧上设有面板槽位，所述操作面板连接在面板槽位内。

本实用新型的有益效果是：该系统通过视觉定位机构对高温输送线上的产品进行定位，多轴机器人带动夹爪机构对产品自动抓取，并摆放到指定位置散热，整个过程自动化进行，实现无人化作业，改善人的作业高温环境，提高了作业效率。

附图说明

图1是本实用新型一种半导体零部件烤炉下料系统的结构主视图；

图2是本实用新型一种半导体零部件烤炉下料系统的结构俯视图；

图3是本实用新型中夹爪机构的结构图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。

本产品属于装备自动化，机械制造，应用于半导体零部件产品烤炉后的自动下料，特别用于半导体零部件产品的盖板自动供给和周转。

如图1至图2所示，本实用新型的一种半导体零部件烤炉下料系统，包括从烤炉中送出产品的高温输送线1、视觉定位机构2、设备框架3、多轴机器人4、夹爪机构5、下料摆放台6，多轴机器人4连接在设备框架3上，高温输送线1、下料摆放台6分别设置在多轴机器人4摆动范围内的工位上，夹爪机构5连接在多轴机器人4的一端，视觉定位机构2设置在高温输送线1上方并监视产品的输送，多轴机器人4带动夹爪机构5将高温输送线1上的产品移动至下料摆放台6上。

高温输送线1衔接上一步骤中的烤炉工位，将进过烘烤后的产品输出，视觉定位机构2对高温输送线1上进行拍照，当有产品经过时，控制系统控制多轴机器人4摆臂并通过夹爪机构5将高温输送线1上的产品转移到下料摆放台6上放置，进行空气散热。设备框架3用于太高多轴机器人4的高度，使其适应高温输送线1和下料摆放台6的高度，可以根据周围工位所需的高度来选用不同高度的设备框架3。多轴机器人4优选为六轴机器人。

多轴机器人4摆动范围内的工位上设有多个下料摆放台6，每个下料摆放台6上设有多个产品摆放槽位，多轴机器人4带动夹爪机构5抓取产品后依次放置产品摆放槽位内。除了高温输送线1所占用的工位外，在多轴机器人4周围的工位尽可能多的放置下料摆放台6，且每个下料摆放台6上均匀设有多个产品摆放槽位，可以满足多轴机器人4的下料容量，即使高温输送线1的送料速度提高，也有足够的位置用于转移产品。每个产品摆放槽位之间间隔一段距离，利于夹爪机构5放置完产品后有空间可以张开移走。

视觉定位机构2包括定位支架21、定位安装板22、光源设备23、摄像设备24，定位安装板22通过定位支架21连接在高温输送线1上方，光源设备23、摄像设备24均连接在定位安装板22上，光源设备23的光线方向、摄像设备24的镜头方向对准高温输送线1。光源设备23、摄像设备24通过定位支架21腾空在高温输送线1上方，光源设备23对着高温输送线1进行打光，摄像设备24对高温输送线1上实时拍摄，并将结果数据传输给后台，摄像设备24可以为视觉相机。

如图3，夹爪机构5包括夹取半导体零部件的夹爪51、驱动电缸52、支撑块53，夹爪51与半导体零部件7的接触面处设有支撑孔56，支撑块53连接在支撑孔56内，半导体零部件7设有支撑凹槽71，夹取半导体零部件7时支撑块53与支撑凹槽71匹配连接。夹爪机构5是直接接触半导体零部件7产品的机构，利用半导体零部件7上支撑凹槽71的位置，在夹爪51的对应处设置支撑孔56，并安装上支撑块53来使抓取半导体零部件7时有足够的支撑位，夹爪51在驱动电缸52的带动下张开闭合，可以根据所需要抓取半导体零部件7的宽度尺寸，来调节张开和闭合的间距，从而来兼容不同尺寸的产品。支撑块53采用防刮伤的缓冲块，可以避免在与半导体零部件7接触时，对其表面造成刮伤或磨损。

夹爪51包括左右两个夹臂54，两个夹臂54分别与驱动电缸52连接，夹取半导体零部件7时驱动电缸52带动左右两个夹臂54向中间合拢。夹爪51采用两个夹臂54的设计，并通过驱动电缸52分别带动两个夹臂54进行移动，使两个夹臂54之间的间距调整空间更大，可以适应更多不同尺寸大小的产品。

夹臂54为弓形结构，夹臂54的中间拱起部连接驱动电缸52，夹臂54的两端分别设有支撑孔56。弓形架构可以节省夹臂54的整体空间，减少材料成本，也减轻了重量，采用弓形夹臂54的两端来做为产品的抓取点，使夹臂54采用更精确的点对点接触来抓取半导体零部件7，避免夹臂54的其他部位接触到产品。

夹爪机构5包括法兰55，法兰55连接在驱动电缸52上，驱动电缸52通过法兰55连接多轴机器人4。多轴机器人4通过法兰55可以带动驱动电缸52做多角度的旋转和移动，从而来满足不同工位的抓取需求。

该半导体零部件烤炉下料系统包括护栏8、操作面板9，护栏8包围住多轴机器人4摆动范围内的工位。护栏8的一侧上设有面板槽位，操作面板9连接在面板槽位内。护栏8将作业工位包围起来，防止机器在作业时有人员闯入发生安全事故，同时护栏8与烤炉也有一段距离，很好地起到隔热的作用，提高了操作人员的作业环境。操作人员可以通过操作面板9对这个作业进行监视和控制。

该系统在作业时，半导体零部件产品经过高温输送线1输送到位，通过视觉相机进行拍照定位，六轴机器人根据视觉定位数据，通过夹爪机构5进行产品自动抓取，抓取后产品到下料摆放台6进行摆放冷却。实现无人化作业，改善人的作业高温环境。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种半导体零部件烤炉下料系统，其特征在于，包括从烤炉中送出产品的高温输送线、视觉定位机构、设备框架、多轴机器人、夹爪机构、下料摆放台，所述多轴机器人连接在设备框架上，所述高温输送线、下料摆放台分别设置在多轴机器人摆动范围内的工位上，所述夹爪机构连接在多轴机器人的一端，所述视觉定位机构设置在高温输送线上方并监视产品的输送，所述多轴机器人带动夹爪机构将高温输送线上的产品移动至下料摆放台上。

2.根据权利要求1所述的半导体零部件烤炉下料系统，其特征在于，所述多轴机器人摆动范围内的工位上设有多个下料摆放台，每个所述下料摆放台上设有多个产品摆放槽位，所述多轴机器人带动夹爪机构抓取产品后依次放置产品摆放槽位内。

3.根据权利要求1所述的半导体零部件烤炉下料系统，其特征在于，所述视觉定位机构包括定位支架、定位安装板、光源设备、摄像设备，所述定位安装板通过定位支架连接在高温输送线上方，所述光源设备、摄像设备均连接在定位安装板上，所述光源设备的光线方向、摄像设备的镜头方向对准高温输送线。

4.根据权利要求1所述的半导体零部件烤炉下料系统，其特征在于，所述夹爪机构包括夹取半导体零部件的夹爪、驱动电缸、支撑块，所述夹爪与半导体零部件的接触面处设有支撑孔，所述支撑块连接在支撑孔内，所述半导体零部件设有支撑凹槽，夹取半导体零部件时所述支撑块与支撑凹槽匹配连接。

5.根据权利要求4所述的半导体零部件烤炉下料系统，其特征在于，所述夹爪包括左右两个夹臂，两个所述夹臂分别与驱动电缸连接，夹取半导体零部件时所述驱动电缸带动左右两个夹臂向中间合拢。

6.根据权利要求5所述的半导体零部件烤炉下料系统，其特征在于，所述夹臂为弓形结构，所述夹臂的中间拱起部连接驱动电缸，所述夹臂的两端分别设有支撑孔。

7.根据权利要求4所述的半导体零部件烤炉下料系统，其特征在于，所述支撑块为防刮伤的缓冲块。

8.根据权利要求4所述的半导体零部件烤炉下料系统，其特征在于，所述夹爪机构包括法兰，所述法兰连接在驱动电缸上，所述驱动电缸通过法兰连接多轴机器人。

9.根据权利要求1所述的半导体零部件烤炉下料系统，其特征在于，包括护栏，所述护栏包围住多轴机器人摆动范围内的工位。

10.根据权利要求9所述的半导体零部件烤炉下料系统，其特征在于，包括操作面板，所述护栏的一侧上设有面板槽位，所述操作面板连接在面板槽位内。

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