CN215036244U - 一种用于测试探针加工的研磨装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种用于测试探针加工的研磨装置，包括机架，以及设置于机架上的上料机构、夹持机构、研磨机构和下料机构；本实用新型通过设置上料机构、夹持机构、研磨机构和下料机构，使得可以实现探针研磨的上料、取料、研磨、下料自动化，大大减少了人工操作，提高了工作效率；避免操作者直接与研磨机构接触，降低了生产风险；设置的第一驱动机构和第二驱动机构可以使得磨盘沿着与夹持手平行和垂直的方向移动，进而实现对探针的全方位研磨，提高了研磨效果。

Description

一种用于测试探针加工的研磨装置

技术领域

本实用新型涉及探针制造技术领域，尤其涉及一种用于测试探针加工的研磨装置。

背景技术

探针广泛用于检查形成于包括液晶显示装置(Liquid Crystal Display，LCD)、等离子显示面板(Plasma Display Panel，PDP)的平板显示装置或晶圆上的半导体元件的性能。探卡用于使履行被检查体的检查中所需要的功能的检查装置(Probe Station)和被检查体电连接，其包括与被检查体直接接触的探针(Probe Pin)的集合。就简单的条(bar)形态的直线型探针而言，由于形状简单，因而容易管理精度，且制作时产品的再现性良好，另一方面，可以利用光蚀刻工程或光刻工程或压型模等容易制作，因而使用范围正逐渐扩大。

但随着半导体元件越来越复杂，对探针的要求越来越高，如探针的针身要求细长，针尖部分形状精度要求高，导致探针制作困难。而在生产测试探针针头的生产过程中，需要通过手工进行操作，不仅效率低且质量较差。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于测试探针加工的研磨装置。

为实现上述目的，采用以下技术方案：

一种用于测试探针加工的研磨装置，包括机架，以及设置于所述机架上的上料机构、夹持机构、研磨机构和下料机构；所述上料机构，包括一转盘，所述转盘的圆周上等距离设置有用于装载探针的限位槽，所述转盘由第一驱动电机驱动；所述夹持机构，包括一架设在所述机架上方的横板，所述横板通过第一气缸在所述上料机构和所述下料机构之间移动，所述横板上设置有夹持组件，所述夹持组件包括一由微型电机控制开合的夹持手，以及一控制所述夹持手升降的第二气缸；所述研磨机构，包括一磨盘和一驱动所述磨盘的第二驱动电机，以及使得所述第二驱动电机沿着与所述横板的移动方向相平行地直线移动的第一驱动机构，和使得所述第二驱动电机沿着与所述横板的移动方向相垂直地直线移动的第二驱动机构；所述下料机构，包括一用于收集探针的托架，以及驱动所述托架移动的第三驱动机构。

进一步的，所述上料机构还包括两个限位板，两个所述限位板分别设在所述转盘的两侧，所述限位板之间距离等于探针的长度。设置两个限位板对探针进行限位，防止探针在转盘转动传输时倾斜。

进一步的，所述转盘的两侧还设有两个接针架，所述转盘从两个所述接针架中间穿过，所述接针架上设有用于承载探针的凹槽。当转盘上的探针来到两个接针架之间时，探针被接针架接住，进入到凹槽中。

进一步的，所述第一气缸通过两个立板架设在所述机架的上方，所述第一气缸的驱动端与所述横板连接，所述第一气缸为磁耦无杆气缸。便于横板带动夹持组件移动到上料机构、研磨机构和下料机构处。

进一步的，所述磨盘的下方设有一收集斗，所述收集斗的出料口延伸至所述机架外部。收集研磨探针时产生的粉尘，并排到机架外。

进一步的，所述第二驱动电机设置于一第一支撑板上，所述第一驱动机构包括一第三驱动电机、一第一丝杆和一第一丝母，所述第一丝杆由上述第三驱动电机驱动旋转，所述第三驱动电机设置于所述第一支撑板上，所述第一丝母与第二支撑板相连接。由于第一丝母连接在第二支撑板上，第三驱动电机连接在第一支撑板上，当第三驱动电机驱动第一丝杆旋转时，即第三驱动电机带动第一支撑板移动，进而实现带动第二驱动电机沿着与横板的移动方向相平行地直线移动。

进一步的，所述第二支撑板设置于第三支撑板上，所述第二驱动机构包括一第四驱动电机、一第二丝杆和一第二丝母，所述第二丝杆由所述第四驱动电机驱动旋转，所述第二丝母设置于所述第三支撑板上，所述第二丝杆与所述丝母相连接，所述第四驱动电机设置于第四支撑板上，所述第四支撑板与一底板相固定，所述底板与所述机架相固定。

由于第二丝母连接在第三支撑板上，第四驱动电机连接在第四支撑板上，而第四支撑板与底板相固定，当第四驱动电机带动第二丝杆旋转时，即第四驱动电机带动第三支撑板移动，进而实现带动第二驱动电机沿着与所述横板的移动方向相垂直地直线移动。

进一步的，还包括固定机构，位于所述研磨机构的一侧，所述固定机构包括对称设置的两个压轮组件，所述压轮组件包括一压轮、一与所述压轮连接的旋转轴、一固定所述旋转轴的固定件。当夹持组件的夹持手在第二气缸的驱动下下降到两个压轮之间，两个压轮对夹持手进行固定，防止研磨机构对夹持手夹持的探针进行研磨时探针出现晃动。

进一步的，还包括依次连接的第一底板、第二底板、第三底板和第四底板，所述第一底板和所述第二底板、所述第二底板和所述第三底板、所述第三底板和所述第四底板之间分别设置滚珠导轨，使得所述第一底板可在所述第二底板上滑动、所述第二底板在所述第三底板上滑动、所述第三底板在所述第四底板上滑动，其中一个所述压轮组件的所述固定件通过螺杆设在所述第二底板上，另一个所述固定件固定于所述第三底板上，所述第三底板的一侧设有推杆，所述推杆由第三气缸驱动。当夹持组件的夹持手下降到两个压轮之间时，第三气缸驱动推杆，推杆推动第三底板，进而带动第三底板上的固定件往另一个固定件方向移动，从而使得两个压轮之间的距离变小，使得两个压轮压紧夹持手。

进一步的，还包括一吹风管，所述吹风管的出风口指向两个所述压轮之间。对研磨探针时产生的粉尘进行吹散，避免研磨粉尘堆积在磨盘上而影响研磨精度。

采用上述方案，本实用新型的有益效果是：通过设置上料机构、夹持机构、研磨机构和下料机构，使得可以实现探针研磨的上料、取料、研磨、下料自动化，大大减少了人工操作，提高了工作效率；避免操作者直接与研磨机构接触，降低了生产风险；设置的第一驱动机构和第二驱动机构可以使得磨盘沿着与夹持手平行和垂直的方向移动，进而实现对探针的全方位研磨，提高了研磨效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的研磨装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例的上料机构的结构示意图；

图3为本实用新型实施例的夹持机构的结构示意图；

图4为本实用新型实施例的研磨机构的结构示意图；

图5为本实用新型实施例的研磨机构的又一结构示意图；

图6为本实用新型实施例的下料机构的结构示意图；

图7为本实用新型实施例的固定机构的结构示意图。

其中，附图标识说明：

1、机架；200、上料机构；201、转盘；202、限位槽；203、第一驱动电机；204、限位板；205、接针架；206、凹槽；300、夹持机构；301、横板；302、第一气缸；303、夹持组件；304、微型电机；305、夹持手；306、第二气缸；307、立板；400、研磨机构；401、磨盘；402、第二驱动电机；403、收集斗；404、第一支撑板；405、第三驱动电机；406、第一丝杆；407、第一丝母；408、第二支撑板；409、第三支撑板；410、第四驱动电机；411、第二丝杆；412、第二丝母；413、第四支撑板；414、底板；500、下料机构；501、托架；502、第三驱动机构；601、压轮；602、旋转轴；603、固定件；604、第一底板；605、第二底板；606、第三底板；607、第四底板；608、滚珠导轨；609、螺杆；610、推杆；611、第三气缸；7、吹风管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

需要说明的是，本实用新型实施例中的外部、内部、中部等方位用语，仅是互为相对概念或是以产品的正常使用状态为参考的，而不应该认为是具有限制性的。

请一并参阅图1至图7，一种用于测试探针加工的研磨装置，包括机架1，以及设置于机架1上的上料机构200、夹持机构300、研磨机构400和下料机构500；上料机构200，包括一转盘201，转盘201的圆周上等距离设置有用于装载探针的限位槽202，转盘201由第一驱动电机203驱动；夹持机构300，包括一架设在机架1上方的横板301，横板301通过第一气缸302在上料机构200和下料机构500之间移动，横板301上设置有夹持组件303，夹持组件303包括一由微型电机304控制开合的夹持手305，以及一控制夹持手305升降的第二气缸306；研磨机构400，包括一磨盘401和一驱动磨盘401的第二驱动电机402，以及使得第二驱动电机402沿着与横板301的移动方向相平行地直线移动的第一驱动机构，和使得第二驱动电机402沿着与横板301的移动方向相垂直地直线移动的第二驱动机构；下料机构500，包括一用于收集探针的托架501，以及驱动托架501移动的第三驱动机构502。

在一实施方式中，上料机构200还包括两个限位板204，两个限位板204分别设在转盘201的两侧，限位板204之间距离等于探针的长度。设置两个限位板204对探针进行限位，防止探针在转盘201转动传输时倾斜，同时，可在限位板204之间设置一斜板，探针放置在斜板上，斜板上较低的一端与转盘201相切，将探针放置在斜板上，探针便沿着斜板下滑，来到转盘201与斜板相切处，探针便进入到转盘201上的限位槽202，随后被转盘201带着旋转。

在一实施方式中，转盘201的两侧还设有两个接针架205，转盘201从两个接针架205中间穿过，接针架205上设有用于承载探针的凹槽206。当转盘201上的探针来到两个接针架205之间时，探针被接针架205接住，进入到凹槽206中。

在一实施方式中，第一气缸302通过两个立板307架设在机架1的上方，第一气缸302的驱动端与横板301连接，第一气缸302为磁耦无杆气缸。便于横板301带动夹持组件303移动到上料机构200、研磨机构400和下料机构500处。

在一实施方式中，磨盘401的下方设有一收集斗403，收集斗403的出料口延伸至机架1外部。收集研磨探针时产生的粉尘，并排到机架1外。

在一实施方式中，第二驱动电机402设置于一第一支撑板404上，第一驱动机构包括一第三驱动电机405、一第一丝杆406和一第一丝母407，第一丝杆406由上述第三驱动电机405驱动旋转，第三驱动电机405设置于第一支撑板404上，第一丝母407与第二支撑板408相连接。由于第一丝母407连接在第二支撑板408上，第三驱动电机405连接在第一支撑板404上，当第三驱动电机405驱动第一丝杆406旋转时，即第三驱动电机405带动第一支撑板404移动，进而实现带动第二驱动电机402沿着与横板301的移动方向相平行地直线移动。

在一实施方式中，第二支撑板408设置于第三支撑板409上，第二驱动机构包括一第四驱动电机410、一第二丝杆411和一第二丝母412，第二丝杆411由第四驱动电机410驱动旋转，第二丝母412设置于第三支撑板409上，第二丝杆411与丝母相连接，第四驱动电机410设置于第四支撑板413上，第四支撑板413与一底板414相固定，底板414与机架1相固定。

由于第二丝母412连接在第三支撑板409上，第四驱动电机410连接在第四支撑板413上，而第四支撑板413与底板414相固定，当第四驱动电机410带动第二丝杆411旋转时，即第四驱动电机410带动第三支撑板409移动，进而实现带动第二驱动电机402沿着与横板301的移动方向相垂直地直线移动。

在一实施方式中，还包括固定机构，位于研磨机构400的一侧，固定机构包括对称设置的两个压轮601组件，压轮601组件包括一压轮601、一与压轮601连接的旋转轴602、一固定旋转轴602的固定件603。当夹持组件303的夹持手305在第二气缸306的驱动下下降到两个压轮601之间，两个压轮601对夹持手305进行固定，防止研磨机构400对夹持手305夹持的探针进行研磨时探针出现晃动。

在一实施方式中，还包括依次连接的第一底板604、第二底板605、第三底板606和第四底板607，第一底板604和第二底板605、第二底板605和第三底板606、第三底板606和第四底板607之间分别设置滚珠导轨608，使得第一底板604可在第二底板605上滑动、第二底板605在第三底板606上滑动、第三底板606在第四底板607上滑动，其中一个压轮601组件的固定件603通过螺杆609设在第二底板605上，另一个固定件603固定于第三底板606上，第三底板606的一侧设有推杆610，推杆610由第三气缸611驱动。当夹持组件303的夹持手305下降到两个压轮601之间时，第三气缸611驱动推杆610，推杆610推动第三底板606，进而带动第三底板606上的固定件603往另一个固定件603方向移动，从而使得两个压轮601之间的距离变小，使得两个压轮601压紧夹持手305。

在一实施方式中，还包括一吹风管7，吹风管7的出风口指向两个压轮601之间。对研磨探针时产生的粉尘进行吹散，避免研磨粉尘堆积在磨盘401上而影响研磨精度。

其中，本实用新型的工作原理为：上料时，将探针放在转盘201的限位槽202上，当转盘201上的探针来到两个接针架205之间时，探针被接针架205接住，进入到凹槽206中，第一气缸302驱动横板301移动，即驱动夹持组件303中的夹持手305来到凹槽206上方，然后第二气缸306驱动夹持手305下降至凹槽206处，微型电机304驱动夹持手305夹持住探针，第二气缸306驱动夹持手305上升，第一气缸302驱动夹持组件303来到研磨机构400上方。

研磨时，第二气缸306驱动夹持手305下降，下降到两个压轮601之间，第三气缸611驱动推杆610，推杆610推动第三底板606414，进而带动第三底板606414上的固定件603往另一个固定件603方向移动，从而使得两个压轮601之间的距离变小，使得两个压轮601压紧夹持手305，然后第二驱动电机402带动磨盘401转动，相应的，磨盘401可以为蝶形磨盘401，第二驱动机构带动第二驱动电机402沿着与横板301的移动方向相垂直地直线移动，即带动磨盘401靠近夹持手305上的探针，通过第一驱动机构带动第二驱动电机402沿着与横板301的移动方向相平行地直线移动，同时通过控制磨盘401与探针的距离来控制打磨深度。

下料时，第一气缸302带动夹持手305来到托架501上方，将探针放入托架501，具体的，托架501上可以设有装载探针的槽体，第三驱动机构502为一电机，带动托架501逐格移动，每放入一探针，电机便带动托架501移动一格。

有益效果：通过设置上料机构200、夹持机构300、研磨机构400和下料机构500，使得可以实现探针研磨的上料、取料、研磨、下料自动化，大大减少了人工操作，提高了工作效率；避免操作者直接与研磨机构400接触，降低了生产风险；设置的第一驱动机构和第二驱动机构可以使得磨盘401沿着与夹持手305平行和垂直的方向移动，进而实现对探针的全方位研磨，提高了研磨效果。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种用于测试探针加工的研磨装置，其特征在于，包括机架，以及设置于所述机架上的上料机构、夹持机构、研磨机构和下料机构；

所述上料机构，包括一转盘，所述转盘的圆周上等距离设置有用于装载探针的限位槽，所述转盘由第一驱动电机驱动；

所述夹持机构，包括一架设在所述机架上方的横板，所述横板通过第一气缸在所述上料机构和所述下料机构之间移动，所述横板上设置有夹持组件，所述夹持组件包括一由微型电机控制开合的夹持手，以及一控制所述夹持手升降的第二气缸；

所述研磨机构，包括一磨盘和一驱动所述磨盘的第二驱动电机，以及使得所述第二驱动电机沿着与所述横板的移动方向相平行地直线移动的第一驱动机构，和使得所述第二驱动电机沿着与所述横板的移动方向相垂直地直线移动的第二驱动机构；

所述下料机构，包括一用于收集探针的托架，以及驱动所述托架移动的第三驱动机构。

2.根据权利要求1所述的用于测试探针加工的研磨装置，其特征在于，所述上料机构还包括两个限位板，两个所述限位板分别设在所述转盘的两侧，所述限位板之间距离等于探针的长度。

3.根据权利要求1所述的用于测试探针加工的研磨装置，其特征在于，所述转盘的两侧还设有两个接针架，所述转盘从两个所述接针架中间穿过，所述接针架上设有用于承载探针的凹槽。

4.根据权利要求1所述的用于测试探针加工的研磨装置，其特征在于，所述第一气缸通过两个立板架设在所述机架的上方，所述第一气缸的驱动端与所述横板连接，所述第一气缸为磁耦无杆气缸。

5.根据权利要求1所述的用于测试探针加工的研磨装置，其特征在于，所述磨盘的下方设有一收集斗，所述收集斗的出料口延伸至所述机架外部。

6.根据权利要求1所述的用于测试探针加工的研磨装置，其特征在于，所述第二驱动电机设置于一第一支撑板上，所述第一驱动机构包括一第三驱动电机、一第一丝杆和一第一丝母，所述第一丝杆由上述第三驱动电机驱动旋转，所述第三驱动电机设置于所述第一支撑板上，所述第一丝母与第二支撑板相连接。

7.根据权利要求6所述的用于测试探针加工的研磨装置，其特征在于，所述第二支撑板设置于第三支撑板上，所述第二驱动机构包括一第四驱动电机、一第二丝杆和一第二丝母，所述第二丝杆由所述第四驱动电机驱动旋转，所述第二丝母设置于所述第三支撑板上，所述第二丝杆与所述丝母相连接，所述第四驱动电机设置于第四支撑板上，所述第四支撑板与一底板相固定，所述底板与所述机架相固定。

8.根据权利要求1所述的用于测试探针加工的研磨装置，其特征在于，还包括固定机构，位于所述研磨机构的一侧，所述固定机构包括对称设置的两个压轮组件，所述压轮组件包括一压轮、一与所述压轮连接的旋转轴、一固定所述旋转轴的固定件。

9.根据权利要求8所述的用于测试探针加工的研磨装置，其特征在于，还包括依次连接的第一底板、第二底板、第三底板和第四底板，所述第一底板和所述第二底板、所述第二底板和所述第三底板、所述第三底板和所述第四底板之间分别设置滚珠导轨，使得所述第一底板可在所述第二底板上滑动、所述第二底板在所述第三底板上滑动、所述第三底板在所述第四底板上滑动，其中一个所述压轮组件的所述固定件通过螺杆设在所述第二底板上，另一个所述固定件固定于所述第三底板上，所述第三底板的一侧设有推杆，所述推杆由第三气缸驱动。

10.根据权利要求8所述的用于测试探针加工的研磨装置，其特征在于，还包括一吹风管，所述吹风管的出风口指向两个所述压轮之间。

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