CN215003472U - 一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具，感测头安装治具分为量测仪安装区域和治具安装区域；量测仪安装区域上设置有与量测仪适配的多个第一孔，且第一孔置于量测仪的连接机构上；治具安装区域上设置有多个第二孔；高度调整治具上设置有第四孔和第三孔组，每组第三孔组中包括多个第三孔，多个第三孔以行阵列排布；多组第三孔组对称设置于第四孔两侧；置于第四孔一侧的第三孔组与第二孔对应；机台定位治具与高度调整治具形成“T”子字型结构；机台定位治具侧面设置有第五孔，第四孔与第五孔螺纹连接；机台定位治具上还阵列设置有第六孔。一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具的设置可以有效改善玻璃基板在载物台上的形变量。

Description

一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具

技术领域

本实用新型涉及曝光机设备领域，尤其涉及一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具。

背景技术

曝光机长时间运行，载物台平坦度受应力影响发生不同程度的形变，影响玻璃基板在载物台的形变量变大，超出机台制程规格范围，影响ID标记精度下降，同时造成ID散焦，无法正常读取。需外接非接触式光学平坦度量测仪进行平坦度确认再进行调整，此设备是无法直接安装在设备上。

实用新型内容

为此，需要提供一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具，使非接触式光学平坦度量测仪可安装在设备进行计测调整。

为实现上述目的，本申请提供了一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具，包括：感测头安装治具、高度调整治具和机台定位治具；

所述感测头安装治具分为量测仪安装区域和治具安装区域；所述量测仪安装区域上设置有与量测仪适配的多个第一孔，且所述第一孔置于量测仪上的安装区域；所述治具安装区域上设置有多个第二孔，所述第二孔为条形，且多个所述第二孔相互平行；

所述高度调整治具上设置有第四孔和第三孔组，所述第三孔组为多组，每组第三孔组中包括多个第三孔，且多个所述第三孔以行阵列排布；所述第四孔置于所述高度调整治具中部，且多组所述第三孔组对称设置于所述第四孔两侧；置于所述第四孔一侧的所述第三孔组与所述第二孔对应，且量测仪上的连接机构穿过所述第二孔并与所述第三孔组连接；

所述机台定位治具置于所述高度调整治具远离所述感测头安装治具的一侧，所述机台定位治具与所述高度调整治具形成“T”子字型结构；所述机台定位治具侧面设置有第五孔，所述第五孔内壁上设置有螺纹，所述第五孔与所述第四孔对应，所述第四孔与所述第五孔螺纹连接；所述机台定位治具上还阵列设置有第六孔，所述第六孔的中线在空间上与所述第五孔的中线垂直。

进一步地，所述第四孔为沉孔。

进一步地，所述感测头安装治具的厚度小于所述高度调整治具的厚度；所述高度调整治具的厚度小于所述机台定位治具的厚度。

进一步地，所述第二孔为腰圆形孔。

进一步地，所述第二孔为两个，且所述第四孔一侧设置有两组所述第三孔组。

进一步地，所述第一孔、第二孔、第四孔和第六孔为通孔；且所述第五孔为盲孔。

区别于现有技术，上述技术方案通过所述感测头安装治具、高度调整治具和机台定位治具的设置，使非接触式光学平坦度量测仪可以安装在曝光机上，曝光机中的载物台经过非接触式光学平坦度量测仪量测调整后精度达到±50um，有效改善玻璃基板在载物台上的形变量，进一步提高产品质量。

附图说明

图1为所述感测头安装治具主视图；

图2为所述感测头安装治具左视图；

图3为所述高度调整治具主视图；

图4为所述高度调整治具俯视图；

图5为所述机台定位治具主视图；

图6为所述机台定位治具左视图；

图7为所述机台定位治具仰视图；

图8为所述一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具结构图。

附图标记说明：

1、感测头安装治具；2、高度调整治具；3、机台定位治具；4、量测仪；

11、第一孔；12、第二孔；

21、第三孔；22、第四孔；

31、第五孔；32、第六孔。

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

请参阅图1至图7，本申请公开了一种非接触式光学平坦度量测仪4安装治具，包括：感测头安装治具1、高度调整治具2和机台定位治具3；所述感测头安装治具1分为量测仪4安装区域和治具安装区域；所述量测仪4安装区域上设置有与量测仪4适配的多个第一孔11，且所述第一孔11置于量测仪4上的安装区域；所述治具安装区域上设置有多个第二孔12，所述第二孔12为条形，且多个所述第二孔12相互平行；所述高度调整治具2上设置有第四孔22和第三孔组，所述第三孔组为多组，每组第三孔组中包括多个第三孔21，且多个所述第三孔21以行阵列排布；所述第四孔22置于所述高度调整治具2中部，且多组所述第三孔组对称设置于所述第四孔22两侧；置于所述第四孔22一侧的所述第三孔组与所述第二孔12对应，且量测仪4上的连接机构穿过所述第二孔12并与所述第三孔组连接；所述机台定位治具3置于所述高度调整治具2远离所述感测头安装治具1的一侧，所述机台定位治具3与所述高度调整治具2形成“T”子字型结构；所述机台定位治具3侧面设置有第五孔31，所述第五孔31内壁上设置有螺纹，所述第五孔31与所述第四孔22对应，所述第四孔22与所述第五孔31螺纹连接；所述机台定位治具3上还阵列设置有第六孔32，所述第六孔32的中线在空间上与所述第五孔31的中线垂直。

需要说明的是，在量测仪4上设置有多个连接机构，量测仪4上的连接机构用于连接感测头安装治具1以及高度调整治具2；具体的，连接机构可以为连接孔以及连接杆等；在量测仪4上设置有与所述第一孔11相互适配的连接孔，螺丝穿过两个孔将量测仪4固定在所述感测头安装治具1上；在量测仪4上设置有与所述第三孔21相互适配的连接杆，连接杆外壁上设置有螺纹，连接杆依次穿过所述第二孔12和第三孔21，并通过螺母将高度调整治具2固定于感测头安装治具1远离量测仪4的一侧。还需要说明的是，所述第三孔组中的多个第三孔21按行阵列，当感测头安装治具1和高度调整治具2贴合时第三孔21将从第二孔12中露出，用于量连接测仪。在某些实施例中，所述第二孔12为腰圆形孔。长条孔的设置提供了连接位置，即多根连接杆可以同时穿过所述第二孔12连接高度调整治具2；每组第三孔组中所述第三孔21的数量与连接杆的数量相同。在某些实施例中，所述第二孔12为两个，且所述第四孔22一侧设置有两组所述第三孔组。即，所述一侧的第三孔组的数量与第二孔12的数量相同，但量测仪4仅用到一组第三孔组。

还需要说明的是，所述机台定位治具3为长方体，且长方体的侧面与所述高度调整治具2贴合，所述高度调整治具2和机台定位治具3形成“T”字型。具体的，所述机台定位治具3上设置有第五孔31，所述高度调整治具2上的第四孔22通过螺丝与第五孔31连接。需要进一步说明的是，所述感测头安装治具1的厚度小于所述高度调整治具2的厚度；所述高度调整治具2的厚度小于所述机台定位治具3的厚度。

上述技术方案通过所述感测头安装治具1、高度调整治具2和机台定位治具3的设置，使非接触式光学平坦度量测仪4可以安装在曝光机上，曝光机中的载物台经过非接触式光学平坦度量测仪4量测调整后精度达到±50um，有效改善玻璃基板在载物台上的形变量，进一步提高产品质量。

上述技术方案保证非接触式光学平坦度量测仪能稳定安装在曝光机上，且量测仪上的镭射感测头距离高度可调整，满足不同高度的平坦度量测。治具的设置可以有效防止因曝光机老化造成载物台平坦度不足的问题，治具可使曝光机中的载物台能保持在高度差在±50um内。

在实际使用中，想将治具安装曝光机的任意一侧边，非接触式光学平坦度量测仪安装固定在治具上，并上下调节量测距离，使量测仪上的镭射感测头指示灯常亮；然后固定高度，完成安装。在调整误差时，将载物台移动至量测仪下方，调整感测头高度直至指示灯常亮位置固定；选取基准点，数据归零；移动载物台使PIN在感测头量测数据＜±50um，超过高度的PIN，手动调整高度至±50um内；载物台上的168根PIN全部调整完后，完成作业。

请参阅图3，在某些实施例中，为了防止所述第四孔22中的螺丝划伤玻璃基板等元器件，所述第四孔22为沉孔。具体的，当所述螺丝置于第四孔22时，螺丝的上表面将低于或者等于所述高度调整治具2靠近感测头安装治具1的一侧面；沉孔的设置将防止治具以及元器件被螺丝划伤。

在某些实施例中，为了提高连接的牢固度，所述第一孔11、第二孔12、第三孔21、第四孔22和第六孔32为通孔；且所述第五孔31为盲孔。具体的，螺丝穿过第一孔11以及量测仪4上连接孔，将量测仪4固定；当然，在某些实施例中，量测仪4上的连接孔也可以为连接杆，连接杆穿过第一孔11并通过螺母固定量测仪4。量测仪4上的连接杆穿过第二孔12与第三孔21通过螺纹固定高度调整治具2。第四孔22与第五孔31是通过螺丝以及第五孔31内侧壁的螺纹连接。

需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此，基于本实用新型的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型专利的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具，其特征在于，包括：感测头安装治具、高度调整治具和机台定位治具；

所述感测头安装治具分为量测仪安装区域和治具安装区域；所述量测仪安装区域上设置有与量测仪适配的多个第一孔，且所述第一孔置于量测仪的连接机构上；所述治具安装区域上设置有多个第二孔，所述第二孔为条形，且多个所述第二孔相互平行；

所述高度调整治具上设置有第四孔和第三孔组，所述第三孔组为多组，每组第三孔组中包括多个第三孔，且多个所述第三孔以行阵列排布；所述第四孔置于所述高度调整治具中部，且多组所述第三孔组对称设置于所述第四孔两侧；置于所述第四孔一侧的所述第三孔组与所述第二孔对应，且量测仪上的连接机构穿过所述第二孔并与所述第三孔组连接；

所述机台定位治具置于所述高度调整治具远离所述感测头安装治具的一侧，所述机台定位治具与所述高度调整治具形成“T”字型结构；所述机台定位治具侧面设置有第五孔，所述第五孔内壁上设置有螺纹，所述第五孔与所述第四孔对应，所述第四孔与所述第五孔螺纹连接；所述机台定位治具上还阵列设置有第六孔，所述第六孔的中线在空间上与所述第五孔的中线垂直。

2.根据权利要求1所述一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具，其特征在于，所述第四孔为沉孔。

3.根据权利要求1所述一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具，其特征在于，所述感测头安装治具的厚度小于所述高度调整治具的厚度；所述高度调整治具的厚度小于所述机台定位治具的厚度。

4.根据权利要求1所述一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具，其特征在于，所述第二孔为腰圆形孔。

5.根据权利要求1所述一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具，其特征在于，所述第二孔为两个，且所述第四孔一侧设置有两组所述第三孔组。

6.根据权利要求1所述一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具，其特征在于，所述第一孔、第二孔、第三孔、第四孔和第六孔为通孔；且所述第五孔为盲孔。

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