CN214956794U - 一种硅片插片用硅片缓冲装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片插片用硅片缓冲装置，属于硅片插片机领域，包括硅片盒，硅片盒上设有放置槽，放置槽的底部通过压缩弹簧安装有缓冲垫，通过缓冲垫和压缩弹簧，对放置进放置槽内的硅片插片进行缓冲，同时将重力下落的冲击力转化为压缩弹簧的弹性形变力，在压缩弹簧反复形变过程中通过空气阻力进行消磨，大大降低硅片插片掉落放置在放置槽时，冲击力对硅片插片的自身影响，通过第一气缸和第二气缸，对硅片插片进行推送集中，减少硅片盒的空间浪费，同时由于盛物板对硅片插片的推送，在送至尽头后，第一气缸先进行回收，通过圆形推板对硅片插片进行支撑，防止在第一气缸回收时，盛物板带动硅片插片一起向回收方向运动，导致硅片插片侧翻。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片插片机领域，更具体地说，涉及一种硅片插片用硅片缓冲装置。
背景技术
硅片由分片机分片之后再由插片机插入放置槽中，在以前的插片过程中，没有硅片缓冲装置，使得硅片插入放置槽时容易和放置槽的内壁碰触，造成崩片、划片等情况，给硅片造成不可恢复的损害，大大降低了硅片的合格率，造成时间和财产的损失，而且放置进放置槽内后，由于放置分散，没有集中手段，导致浪费放置槽大部分空间。
实用新型内容
针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种硅片插片用硅片缓冲装置，通过缓冲垫和压缩弹簧，对放置进放置槽内的硅片插片进行缓冲，同时将重力下落的冲击力转化为压缩弹簧的弹性形变力，在压缩弹簧反复形变过程中通过空气阻力进行消磨，大大降低硅片插片掉落放置在放置槽时，冲击力对硅片插片的自身影响，通过盛物板，在对硅片插片进行推送时，避免硅片插片接触缓冲垫并与缓冲垫产生摩擦，导致硅片插片受到摩擦产生损坏，通过第一气缸和第二气缸，对硅片插片进行推送集中，减少硅片盒的空间浪费，同时由于盛物板对硅片插片的推送，在送至尽头后，第一气缸先进行回收，通过圆形推板对硅片插片进行支撑，防止在第一气缸回收时，盛物板带动硅片插片一起向回收方向运动，导致硅片插片侧翻。
为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。
一种硅片插片用硅片缓冲装置，包括硅片盒，其特征在于：所述硅片盒上设有放置槽，所述放置槽的底部通过压缩弹簧安装有缓冲垫，所述硅片盒的左侧固定安装有气缸箱，所述气缸箱的内部下端固定安装有第一气缸，所述第一气缸的右侧安装有第一活塞杆，所述第一活塞杆的右侧固定安装有直板，所述直板的底部固定安装有环形推板，所述直板和环形推板的底部固定安装有盛物板，所述气缸箱的内部上端固定安装有第二气缸，所述第二气缸的右侧安装有第二活塞杆，所述第二活塞杆的右侧固定安装有圆形推板，通过缓冲垫和压缩弹簧，对放置进放置槽内的硅片插片进行缓冲，同时将重力下落的冲击力转化为压缩弹簧的弹性形变力，在压缩弹簧反复形变过程中通过空气阻力进行消磨，大大降低硅片插片掉落放置在放置槽时，冲击力对硅片插片的自身影响。
进一步的，所述盛物板为直角三角形形状的薄板，所述盛物板的底面紧贴缓冲垫的上表面，所述盛物板的上表面固定安装有第一海绵橡胶垫，通过盛物板，在对硅片插片进行推送时，避免硅片插片接触缓冲垫并与缓冲垫产生摩擦，导致硅片插片受到摩擦产生损坏。
进一步的，所述放置槽为半圆柱形放置槽，所述直板的长度大于放置槽的半径，通过直板，防止硅片插片推送时，由于硅片插片的自身重心和惯性，导致硅片插片发生侧翻引起损坏。
进一步的，所述第一气缸和第二气缸为相同一样的同种气缸，通过第一气缸和第二气缸，对硅片插片进行推送集中，减少硅片盒的空间浪费，同时由于盛物板对硅片插片的推送，在送至尽头后，第一气缸先进行回收，通过圆形推板对硅片插片进行支撑，防止在第一气缸回收时，盛物板带动硅片插片一起向回收方向运动，导致硅片插片侧翻。
进一步的，所述圆形推板的右侧固定安装有第二海绵橡胶垫，通过第二海绵橡胶垫，降低圆形推板与硅片插片接触面之间的摩擦损伤。
相比于现有技术，本实用新型的优点在于：
(1)本方案通过缓冲垫和压缩弹簧，对放置进放置槽内的硅片插片进行缓冲，同时将重力下落的冲击力转化为压缩弹簧的弹性形变力，在压缩弹簧反复形变过程中通过空气阻力进行消磨，大大降低硅片插片掉落放置在放置槽时，冲击力对硅片插片的自身影响。
(2)通过盛物板，在对硅片插片进行推送时，避免硅片插片接触缓冲垫并与缓冲垫产生摩擦，导致硅片插片受到摩擦产生损坏。
(3)通过直板，防止硅片插片推送时，由于硅片插片的自身重心和惯性，导致硅片插片发生侧翻引起损坏。
(4)通过第一气缸和第二气缸，对硅片插片进行推送集中，减少硅片盒的空间浪费，同时由于盛物板对硅片插片的推送，在送至尽头后，第一气缸先进行回收，通过圆形推板对硅片插片进行支撑，防止在第一气缸回收时，盛物板带动硅片插片一起向回收方向运动，导致硅片插片侧翻。
(5)通过第二海绵橡胶垫，降低圆形推板与硅片插片接触面之间的摩擦损伤。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型的整体结构剖面图
图3为本实用新型的A处结构放大图；
图4为本实用新型的B处结构放大图。
图中标号说明：
1硅片盒、2放置槽、3缓冲垫、4压缩弹簧、5气缸箱、6第一气缸、7第一活塞杆、8直板、9环形推板、10盛物板、11第一海绵橡胶垫、12第二气缸、13第二活塞杆、14圆形推板、15第二海绵橡胶垫。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，一种硅片插片用硅片缓冲装置，包括硅片盒1，请参阅图1，硅片盒1上设有放置槽2，放置槽2的底部通过压缩弹簧4安装有缓冲垫3，硅片盒1的左侧固定安装有气缸箱5，气缸箱5的内部下端固定安装有第一气缸6，第一气缸6的右侧安装有第一活塞杆7，第一活塞杆7的右侧固定安装有直板8，直板8的底部固定安装有环形推板9，直板8和环形推板9的底部固定安装有盛物板10，气缸箱5的内部上端固定安装有第二气缸12，第二气缸12的右侧安装有第二活塞杆13，第二活塞杆13的右侧固定安装有圆形推板14，通过缓冲垫3和压缩弹簧4，对放置进放置槽2内的硅片插片进行缓冲，同时将重力下落的冲击力转化为压缩弹簧4的弹性形变力，在压缩弹簧4反复形变过程中通过空气阻力进行消磨，大大降低硅片插片掉落放置在放置槽2时，冲击力对硅片插片的自身影响。
请参阅图1，盛物板10为直角三角形形状的薄板，盛物板10的底面紧贴缓冲垫3的上表面，盛物板10的上表面固定安装有第一海绵橡胶垫11，通过盛物板10，在对硅片插片进行推送时，避免硅片插片接触缓冲垫3并与缓冲垫3产生摩擦，导致硅片插片受到摩擦产生损坏，放置槽2为半圆柱形放置槽，直板8的长度大于放置槽2的半径，通过直板8，防止硅片插片推送时，由于硅片插片的自身重心和惯性，导致硅片插片发生侧翻引起损坏。
请参阅图1，第一气缸6和第二气缸12为相同一样的同种气缸，通过第一气缸6和第二气缸12，对硅片插片进行推送集中，减少硅片盒的空间浪费，同时由于盛物板10对硅片插片的推送，在送至尽头后，第一气缸6先进行回收，通过圆形推板14对硅片插片进行支撑，防止在第一气缸6回收时，盛物板10带动硅片插片一起向回收方向运动，导致硅片插片侧翻，圆形推板14的右侧固定安装有第二海绵橡胶垫15，通过第二海绵橡胶垫15，降低圆形推板14与硅片插片接触面之间的摩擦损伤。
首先机械手臂对硅片插片进行拿取，然后硅片插片放置到放置槽2内，在硅片插片放置到放置槽2内时，通过缓冲垫3和压缩弹簧4，对放置进放置槽2内的硅片插片进行缓冲，同时将重力下落的冲击力转化为压缩弹簧4的弹性形变力，在压缩弹簧4反复形变过程中通过空气阻力进行消磨，大大降低硅片插片掉落放置在放置槽2时，冲击力对硅片插片的自身影响，然后启动第一气缸6和第二气缸12，对硅片插片进行推送集中，由于盛物板10为直角三角形形状的薄板，盛物板10的底面紧贴缓冲垫3的上表面，盛物板10的上表面固定安装有第一海绵橡胶垫11，通过盛物板10，在对硅片插片进行推送时，避免硅片插片接触缓冲垫3并与缓冲垫3产生摩擦，导致硅片插片受到摩擦产生损坏，在推送过程中，由于直板8的长度大于放置槽2的半径，通过直板8，防止硅片插片推送时，由于硅片插片的自身重心和惯性，导致硅片插片发生侧翻引起损坏，推送至放置槽2的尽头后，先控制第一气缸6回收，此时，由第二气缸12上的圆形推板14对硅片插片尽心支撑，防止在第一气缸6回收时，盛物板10带动硅片插片一起向回收方向运动，导致硅片插片回到初始位置，或者发生侧翻导致损坏。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式；但本实用新型的保护范围并不局限于此。任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
Claims (5)
1.一种硅片插片用硅片缓冲装置，包括硅片盒(1)，其特征在于：所述硅片盒(1)上设有放置槽(2)，所述放置槽(2)的底部通过压缩弹簧(4)安装有缓冲垫(3)，所述硅片盒(1)的左侧固定安装有气缸箱(5)，所述气缸箱(5)的内部下端固定安装有第一气缸(6)，所述第一气缸(6)的右侧安装有第一活塞杆(7)，所述第一活塞杆(7)的右侧固定安装有直板(8)，所述直板(8)的底部固定安装有环形推板(9)，所述直板(8)和环形推板(9)的底部固定安装有盛物板(10)，所述气缸箱(5)的内部上端固定安装有第二气缸(12)，所述第二气缸(12)的右侧安装有第二活塞杆(13)，所述第二活塞杆(13)的右侧固定安装有圆形推板(14)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片插片用硅片缓冲装置，其特征在于：所述盛物板(10)为直角三角形形状的薄板，所述盛物板(10)的底面紧贴缓冲垫(3)的上表面，所述盛物板(10)的上表面固定安装有第一海绵橡胶垫(11)。
3.根据权利要求1所述的一种硅片插片用硅片缓冲装置，其特征在于：所述放置槽(2)为半圆柱形放置槽，所述直板(8)的长度大于放置槽(2)的半径。
4.根据权利要求1所述的一种硅片插片用硅片缓冲装置，其特征在于：所述第一气缸(6)和第二气缸(12)为相同一样的同种气缸。
5.根据权利要求1所述的一种硅片插片用硅片缓冲装置，其特征在于：所述圆形推板(14)的右侧固定安装有第二海绵橡胶垫(15)。
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