CN218918831U - 一种载片台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种载片台，涉及等离子体工艺技术领域，包括器座和载片机构，所述器座的上侧设有载片机构，所述载片机构的右侧设有移动机构，所述器座的前侧粘连连接有控制器。本实用新型的有益效果是：一种载片台，通过设置载片机构，这样在使用时，器座上侧的橡胶隔绝垫可以提供一定量的电能隔绝，防止芯片触电，载片台上侧通过固定座、减震层与承物层提供最基础的减震，在加工时，承物层上侧的吸附胶层可以将芯片粘连固定，下侧的减震软垫可以在加工途中减少细微震动，将芯片放在吸附胶层上后，限位后板通过弹簧层挤压海绵垫来对芯片进行限位，来加固芯片的稳定性，在拿去时，空位槽可以便于拿取芯片。

Description

一种载片台

技术领域

本实用新型涉及等离子体工艺技术领域，尤其涉及一种载片台。

背景技术

现如今在精密仪器制造业中，芯片以及各种精密仪器的加工更加注重细微加工，而在加工平台中，需要用到各种各样的载片台，而根据所需加工的物品的不同，又个有区别，而在针对芯片加工途中，因为芯片体积较小，在加工途中受力后，因为力的作用导致移动，故此需要一种载片台。

在对芯片进行加工途中，因为芯片体积较小，容易在加工时，因为外力干预导致芯片位移，造成芯片刻画失误，无法使用，造成更大经济损伤，并且因为芯片较为脆弱，如施加的力过大，没有足够缓冲，同样会引起芯片发生脆折。

实用新型内容

本实用新型提供一种载片台，用来解决上述背景技术中提到的在对芯片进行加工途中，因为芯片体积较小，容易在加工时，因为外力干预导致芯片位移，造成芯片刻画失误，无法使用，造成更大经济损伤，并且因为芯片较为脆弱，如施加的力过大，没有足够缓冲，同样会引起芯片发生脆折的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种载片台，包括器座和载片机构，所述器座的上侧设有载片机构，所述载片机构的右侧设有移动机构，所述器座的前侧粘连连接有控制器，所述载片机构包括橡胶隔绝垫、载片台、固定座、减震层、承物层、减震软垫、吸附胶层、限位后板、弹簧层、海绵垫和空位槽，所述器座上侧固定安装有橡胶隔绝垫，所述橡胶隔绝垫上侧粘连连接有载片台，所述载片台上侧设有固定座，所述固定座上侧设有减震层，所述减震层上侧设有承物层，所述承物层上侧粘连有减震软垫，所述减震软垫上侧粘连有吸附胶层，所述减震软垫两侧均设有限位后板，所述限位后板内侧均连接有弹簧层，所述弹簧层内侧均设有海绵垫，所述载片台两侧均设有空位槽。

优选的，所述减震层与承物层之间为粘连连接，所述减震层为硬性橡胶材质。

优选的，所述吸附胶层与减震软垫之间为粘连连接，所述吸附胶层与减震软垫之间紧密贴合。

优选的，所述移动机构包括旋转底座、固定杆、伸缩杆、横杆旋转轴、横杆、限位盖、活动块、连接块、机械爪旋转轴、机械爪连接杆、机械爪伸缩杆、爪板、活动槽、牵动块、夹板和夹板软垫，所述载片机构右侧设有旋转底座，所述旋转底座上侧连接有固定杆，所述固定杆上侧连接有伸缩杆，所述伸缩杆上侧设有横杆旋转轴，所述横杆旋转轴上侧连接有横杆，所述横杆末端设有限位盖，所述横杆外侧设有活动块，所述活动块下侧连接有连接块，所述连接块下侧设有机械爪旋转轴，所述机械爪旋转轴下侧连接有机械爪连接杆，所述机械爪连接杆下侧连接有机械爪伸缩杆，所述机械爪伸缩杆下侧设有爪板，所述爪板内侧设有活动槽，所述活动槽内侧均连接有牵动块，所述牵动块外侧均连接有夹板，所述夹板内侧均粘连有夹板软垫。

优选的，所述横杆与横杆旋转轴之间为卡槽连接是，所述横杆与横杆旋转轴之间内径吻合。

优选的，所述夹板软垫与夹板之间为粘连连接，所述夹板软垫与夹板之间紧密贴合。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种载片台，通过设置载片机构这样在使用时，器座上侧的橡胶隔绝垫可以提供一定量的电能隔绝，防止芯片触电，载片台上侧通过固定座、减震层与承物层提供最基础的减震，在加工时，承物层上侧的吸附胶层可以将芯片粘连固定，下侧的减震软垫可以在加工途中减少细微震动，将芯片放在吸附胶层上后，限位后板通过弹簧层挤压海绵垫来对芯片进行限位，来加固芯片的稳定性，空位槽可以便于拿取芯片。

附图说明

图1为本实用新型的整体立体结构示意图；

图2为本实用新型的图一中的A点放大图；

图3为本实用新型的移动机构结构示意图；

图4为本实用新型的爪板结构示意图。

图中标号：1、器座；2、载片机构；201、橡胶隔绝垫；202、载片台；203、固定座；204、减震层；205、承物层；206、减震软垫；207、吸附胶层；208、限位后板；209、弹簧层；210、海绵垫；211、空位槽；3、移动机构；301、旋转底座；302、固定杆；303、伸缩杆；304、横杆旋转轴；305、横杆；306、限位盖；307、活动块；308、连接块；309、机械爪旋转轴；310、机械爪连接杆；311、机械爪伸缩杆；312、爪板；313、活动槽；314、牵动块；315、夹板；316、夹板软垫；4、控制器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种载片台，包括器座1和载片机构2，器座1的上侧设有载片机构2，载片机构2的右侧设有移动机构3，器座1的前侧粘连连接有控制器4。

进一步的，载片机构2包括橡胶隔绝垫201、载片台202、固定座203、减震层204、承物层205、减震软垫206、吸附胶层207、限位后板208、弹簧层209、海绵垫210和空位槽211，器座1上侧固定安装有橡胶隔绝垫201，橡胶隔绝垫201上侧粘连连接有载片台202，载片台202上侧设有固定座203，固定座203上侧设有减震层204，减震层204上侧设有承物层205，承物层205上侧粘连有减震软垫206，减震软垫206上侧粘连有吸附胶层207，减震软垫206两侧均设有限位后板208，限位后板208内侧均连接有弹簧层209，弹簧层209内侧均设有海绵垫210，载片台202两侧均设有空位槽211，通过设置载片机构2这样在使用时，器座1上侧的橡胶隔绝垫201可以提供一定量的电能隔绝，防止芯片触电，载片台202上侧通过固定座203、减震层204与承物层205提供最基础的减震，在加工时，承物层205上侧的吸附胶层207可以将芯片粘连固定，下侧的减震软垫206可以在加工途中减少细微震动，将芯片放在吸附胶层207上后，限位后板208通过弹簧层209挤压海绵垫210来对芯片进行限位，来加固芯片的稳定性，空位槽211可以便于拿取芯片。

进一步的，减震层204与承物层205之间为粘连连接，减震层204为硬性橡胶材质，减震层204可以提供加工途中来自承物层205的震动，并且因为硬性橡胶材质，不会因为震动导致芯片移动。

进一步的，吸附胶层207与减震软垫206之间为粘连连接，吸附胶层207与减震软垫206之间紧密贴合，吸附胶层207可以将芯片吸附于吸附胶层207上，便于后期加工处理。

进一步的，移动机构3包括旋转底座301、固定杆302、伸缩杆303、横杆旋转轴304、横杆305、限位盖306、活动块307、连接块308、机械爪旋转轴309、机械爪连接杆310、机械爪伸缩杆311、爪板312、活动槽313、牵动块314、夹板315和夹板软垫316，载片机构2右侧设有旋转底座301，旋转底座301上侧连接有固定杆302，固定杆302上侧连接有伸缩杆303，伸缩杆303上侧设有横杆旋转轴304，横杆旋转轴304上侧连接有横杆305，横杆305末端设有限位盖306，横杆305外侧设有活动块307，活动块307下侧连接有连接块308，连接块308下侧设有机械爪旋转轴309，机械爪旋转轴309下侧连接有机械爪连接杆310，机械爪连接杆310下侧连接有机械爪伸缩杆311，机械爪伸缩杆311下侧设有爪板312，爪板312内侧设有活动槽313，活动槽313内侧均连接有牵动块314，牵动块314外侧均连接有夹板315，夹板315内侧均粘连有夹板软垫316，通过设置移动机构3在将芯片拿去时，旋转底座301上的固定杆302通过伸缩杆303调节至所需高度，然后横杆旋转轴304带动横杆305到芯片上方，接着活动块307通过横杆305滑动至芯片正上方，活动块307下方的连接块308带动机械爪旋转轴309旋转至合适角度，接着机械爪旋转轴309下方的机械爪连接杆310，通过机械爪伸缩杆311来带动爪板312向下移动，爪板312通过内侧的活动槽313来对夹板315进行限位，夹板315通过牵动块314来控制移动幅度，夹板315内侧的夹板软垫316可以在抓取时，提供一定量的缓冲。

进一步的，横杆305与横杆旋转轴304之间为卡槽连接是，横杆305与横杆旋转轴304之间内径吻合，横杆305可以通过横杆旋转轴304来调整所需位置，便于在合适位置进行工作。

进一步的，夹板软垫316与夹板315之间为粘连连接，夹板软垫316与夹板315之间紧密贴合，夹板软垫316可以在夹板315进行夹取工作时，提供一定量的缓冲，避免因为力度太大导致的芯片折断。

工作原理：在需要使用时，第一步先将器座1放置在所需使用的位置，第二步器座1上侧的橡胶隔绝垫201可以提供一定量的电能隔绝，防止芯片触电，载片台202上侧通过固定座203、减震层204与承物层205提供最基础的减震，在加工时，承物层205上侧的吸附胶层207可以将芯片粘连固定，下侧的减震软垫206可以在加工途中减少细微震动，将芯片放在吸附胶层207上后，限位后板208通过弹簧层209挤压海绵垫210来对芯片进行限位，来加固芯片的稳定性，空位槽211可以便于拿取芯片，第三步加工结束后，通过控制器4控制移动机构3将芯片拿取，旋转底座301上的固定杆302通过伸缩杆303调节至所需高度，然后横杆旋转轴304带动横杆305到芯片上方，接着活动块307通过横杆305滑动至芯片正上方，活动块307下方的连接块308带动机械爪旋转轴309旋转至合适角度，接着机械爪旋转轴309下方的机械爪连接杆310，通过机械爪伸缩杆311来带动爪板312向下移动，最后爪板312通过内侧的活动槽313来对夹板315进行限位，夹板315通过牵动块314来控制移动幅度，夹板315内侧的夹板软垫316可以在抓取时，提供一定量的缓冲，这样就完成了一种载片台的使用过程。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种载片台，包括器座(1)和载片机构(2)，其特征在于：所述器座(1)的上侧设有载片机构(2)，所述载片机构(2)的右侧设有移动机构(3)，所述器座(1)的前侧粘连连接有控制器(4)，所述载片机构(2)包括橡胶隔绝垫(201)、载片台(202)、固定座(203)、减震层(204)、承物层(205)、减震软垫(206)、吸附胶层(207)、限位后板(208)、弹簧层(209)、海绵垫(210)和空位槽(211)，所述器座(1)上侧固定安装有橡胶隔绝垫(201)，所述橡胶隔绝垫(201)上侧粘连连接有载片台(202)，所述载片台(202)上侧设有固定座(203)，所述固定座(203)上侧设有减震层(204)，所述减震层(204)上侧设有承物层(205)，所述承物层(205)上侧粘连有减震软垫(206)，所述减震软垫(206)上侧粘连有吸附胶层(207)，所述减震软垫(206)两侧均设有限位后板(208)，所述限位后板(208)内侧均连接有弹簧层(209)，所述弹簧层(209)内侧均设有海绵垫(210)，所述载片台(202)两侧均设有空位槽(211)。

2.根据权利要求1所述的一种载片台，其特征在于，所述减震层(204)与承物层(205)之间为粘连连接，所述减震层(204)为硬性橡胶材质。

3.根据权利要求1所述的一种载片台，其特征在于，所述吸附胶层(207)与减震软垫(206)之间为粘连连接，所述吸附胶层(207)与减震软垫(206)之间紧密贴合。

4.根据权利要求1所述的一种载片台，其特征在于，所述移动机构(3)包括旋转底座(301)、固定杆(302)、伸缩杆(303)、横杆旋转轴(304)、横杆(305)、限位盖(306)、活动块(307)、连接块(308)、机械爪旋转轴(309)、机械爪连接杆(310)、机械爪伸缩杆(311)、爪板(312)、活动槽(313)、牵动块(314)、夹板(315)和夹板软垫(316)，所述载片机构(2)右侧设有旋转底座(301)，所述旋转底座(301)上侧连接有固定杆(302)，所述固定杆(302)上侧连接有伸缩杆(303)，所述伸缩杆(303)上侧设有横杆旋转轴(304)，所述横杆旋转轴(304)上侧连接有横杆(305)，所述横杆(305)末端设有限位盖(306)，所述横杆(305)外侧设有活动块(307)，所述活动块(307)下侧连接有连接块(308)，所述连接块(308)下侧设有机械爪旋转轴(309)，所述机械爪旋转轴(309)下侧连接有机械爪连接杆(310)，所述机械爪连接杆(310)下侧连接有机械爪伸缩杆(311)，所述机械爪伸缩杆(311)下侧设有爪板(312)，所述爪板(312)内侧设有活动槽(313)，所述活动槽(313)内侧均连接有牵动块(314)，所述牵动块(314)外侧均连接有夹板(315)，所述夹板(315)内侧均粘连有夹板软垫(316)。

5.根据权利要求4所述的一种载片台，其特征在于，所述横杆(305)与横杆旋转轴(304)之间为卡槽连接是，所述横杆(305)与横杆旋转轴(304)之间内径吻合。

6.根据权利要求4所述的一种载片台，其特征在于，所述夹板软垫(316)与夹板(315)之间为粘连连接，所述夹板软垫(316)与夹板(315)之间紧密贴合。

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