CN214948233U - 一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备，涉及混合气体供应设备领域，包括吹扫管路、气柜组以及排气管路，所述排气管路包括第一排气管路和第二排气管路，所述气柜组包括气柜CHR和气柜CHL，所述第一排气管路与气柜CHR连通，所述第二排气管路与气柜CHL连通，所述吹扫管路包括气动阀门AV2N，与气动阀门AV2N连接的第一双气动阀门、第二双气动阀门；所述第一双气动阀门包括气动阀门AV7R和气动阀门AV7RA，所述第二双气动阀门包括气动阀门AV7L和气动阀门AV7LA。实用新型能够准确判断阀门损坏位置，便于及时更换；并且能够对现有混合气体供应设备无法监测的部分阀门进行实时监测和判断。
Description
技术领域
本实用新型涉及混合气体供应设备领域，特别是涉及一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备。
背景技术
现有混合气体供应设备主要是通过气柜对存储有精准比例混合气体的钢瓶进行减压，即通过气柜进行混合气体供应。请参阅图1，现有的混合气体供应设备主要包括吹扫管路和排气管路，所述排气管路包括第一排气管路和第二排气管路，所述吹扫管路和气柜GHR、气柜GHL连通，所述第一排气管路与气柜GHR连通，第二排气管路与气柜GHL连通，所述气柜GHR与钢瓶GASR连通，所述气柜GHL与钢瓶GASL连通；其中，所述吹扫管路上依次设置有包括气动阀门AV1N、单向阀门CN1N、气动阀门AV2N、压力传感器PT4、气动阀门AV7R、气动阀门AV7L；所述第一排气管路包括第一排气主管和第一排气副管，所述第一排气主管上依次设置有气动阀门AV2R、气动阀门AV3R、手动阀门MV8R，所述第一排气副管上并行设置有气动阀门AV4R和气动阀门AV5R；所述第二排气管路包括第二排气主管和第二排气副管；所述第二排气主管上依次设置有气动阀门AV2L、气动阀门AV3L、手动阀门MV8R，所述第二排气副管上并行设置有气动阀门AV4L和气动阀门AV5L；所述第一排气副管和第二排气副管的尾部依次设置有压力传感器PT3和手动阀门MV9。
所述混合气体供应设备的工作原理如下：
(1)钢瓶GASR相对于气柜GHR进行安装，钢瓶GASL相对于气柜GHL进行安装，并且进行密封性测试；
(2)钢瓶GASR/GASL的阀门打开，使得特殊气体进入气柜GHR/GHL；
(3)吹扫管路的气动阀门AV2R打开，通过外界输入的N2对气柜GHR/GHL进行吹扫处理；
(4)钢瓶GASR/GASL内部的混合气体压力通过气柜GHR/GHL内部的压力传感器PT1R/PT1L进行观察，符合设定则自动打开气动阀门AV2R/AV2L，通过调压阀PRV1R/PRV1L进行调节输出，通过观察压力传感器PT2R/PT2L确定输出压力大小，满足压力则自动打开气动阀门AV3R/AV3 L，最后打开手动阀门MV8 R/MV8L输出混合气体。
其中，压力传感器PT4可以监测吹扫管路的压力，通过数值对比判断是否有阀门损坏，即正常供应特殊气体时，压力传感器PT4为负压(设定为-10psi)，当气动阀门AV2N、气动阀门AV7R、气动阀门AV7L任意一个漏气时，都会有气体流入吹扫管路，从而导致压力传感器PT4压力升高，然后根据压力传感器PT4压力判断是进口端的气动阀门AV2N还是出口端的气动阀门AV7R、气动阀门AV7L漏气，但是无法准确判断是气动阀门AV7R漏气还是气动阀AV7L漏气。
其中，压力传感器PT3可以监测排气管路的压力，但是由于手动阀门MV9L是手动控制的，因此，排气管路的压力一直为恒压(设定为0psi)，当气动阀门AV4R、气动阀门AV4L、气动阀门AV5R、气动阀门AV5L任意一个漏气时，均无法监测。
综上所述，现有混合气体供应设备无法准确判断是阀门的损坏位置，并且无法对部分阀门做到实时监测，因此，需要人为进行检测，从而准确判断阀门的损坏情况，耗时耗力。
实用新型内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备，用于解决现有混合气体供应设备无法准确判断是阀门的损坏位置，并且无法对部分阀门做到实时监测，因此，需要人为进行检测，从而准确判断阀门的损坏情况，耗时耗力的问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备，包括吹扫管路、气柜组以及排气管路，所述排气管路包括第一排气管路和第二排气管路，所述气柜组包括气柜CHR和气柜CHL，所述第一排气管路与气柜CHR连通，所述第二排气管路与气柜CHL连通，所述吹扫管路包括气动阀门AV2N，与气动阀门AV2N连接的第一双气动阀门、第二双气动阀门；所述第一双气动阀门包括气动阀门AV7R和气动阀门AV7RA，所述第二双气动阀门包括气动阀门AV7L和气动阀门AV7LA，所述气动阀门AV7R和气动阀门AV7RA之间设置有压力传感器PT4R，所述气动阀门AV7L和气动阀门AV7LA之间设置有压力传感器PT4L。
于本实用新型的一实施例中，所述第一排气管路包括第一排气主管和第一排气副管；所述第一排气主管包括串联设置的气动阀门AV2R、气动阀门AV3R以及手动阀门MV8R，所述第一排气副管包括并联设置的气动阀门AV4R和气动阀门AV5R。
于本实用新型的一实施例中，所述第二排气管路包括第二排气主管和第二排气副管；所述第二排气主管包括串联设置的气动阀门AV2L和气动阀门AV3L以及手动阀门MV8R，所述第二排气副管包括并联设置的气动阀门AV4L和气动阀门AV5L。
于本实用新型的一实施例中，所述第一排气副管和第二排气副管尾部连通。
于本实用新型的一实施例中，所述第一排气副管和第二排气副管的尾部依次设置有压力传感器PT3和气动阀门AV9。
如上所述，本实用新型的一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备，具有以下有益效果：本实用新型通过观察压力传感器PT4R、PT4L、PT3示数变化，能够准确判断阀门损坏位置，便于及时更换；并且通过气动阀门AV9和压力传感器PT3的配合，能够对气动阀门AV4R、气动阀门AV4L、气动阀门AV5R以及气动阀门AV5L进行实时监测和判断。
附图说明
图1显示为现有技术中公开的混合气体供应设备的结构示意图。
图2显示为本实用新型实施例中公开的混合气体供应设备的结构示意图。
图3显示为本实用新型实施例中公开的排气管路改进点的局部放大图。
图4显示为本实用新型实施例中公开的排气管路尾部改进点的局部放大图。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
请参阅图2，本实用新型提供一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备，包括吹扫管路、气柜组以及排气管路，所述排气管路包括第一排气管路和第二排气管路，所述气柜组包括气柜GAS1和气柜GAS2，所述第一排气管路与气柜GAS1连通，所述第二排气管路与气柜GAS2连通；所述吹扫管路包括气动阀门AV2N，与气动阀门AV2N连接的第一双气动阀门、第二双气动阀门；所述第一双气动阀门包括气动阀门AV7R和气动阀门AV7RA，所述第二双气动阀门包括气动阀门AV7L和气动阀门AV7LA，所述气动阀门AV7R和气动阀门AV7RA之间设置有压力传感器PT4R，所述气动阀门AV7L和气动阀门AV7LA之间设置有压力传感器PT4L，请参阅图3。
具体的，所述第一排气管路包括第一排气主管和第一排气副管；所述第一排气主管包括串联设置的气动阀门AV2R、气动阀门AV3R以及手动阀门MV8R，所述第一排气副管包括并联设置的气动阀门AV4R和气动阀门AV5R。
具体的，所述第二排气管路包括第二排气主管和第二排气副管；所述第二排气主管包括串联设置的气动阀门AV2L和气动阀门AV3L以及手动阀门MV8R，所述第二排气副管包括并联设置的气动阀门AV4L和气动阀门AV5L。
请参阅图4，所述第一排气副管和第二排气副管尾部连通，所述第一排气副管和第二排气副管的尾部依次设置有压力传感器PT3和气动阀门AV9。
本实用新型的工作原理如下：
(1)钢瓶GASR相对于气柜GHR进行安装，钢瓶GASL相对于气柜GHL进行安装，并且进行密封性测试；
(2)钢瓶GASR/GASL的阀门打开，使得特殊气体进入气柜GHR/GHL；
(3)吹扫管路的气动阀门AV2R打开，通过外界输入的N2对气柜GHR/GHL进行吹扫处理；
(4)钢瓶GASR/GASL内部的混合气体压力通过气柜GHR/GHL内部的压力传感器PT1R/PT1L进行观察，符合设定则自动打开气动阀门AV2R/AV2L，通过调压阀PRV1R/PRV1L进行调节输出，通过观察压力传感器PT2R/PT2L确定输出压力大小，满足压力则自动打开气动阀门AV3R/AV3 L，最后打开手动阀门MV8 R/MV8L输出混合气体。
在进行特殊气体供应和特殊气体排放的过程中，通过观察压力传感器PT4R、PT4L、PT3，判断阀门是否出现漏气。
由于设置了第一双气动阀门和第二双气动阀门，在不使用时，第一双气动阀门和第二双气动阀门均为关闭状态，使得压力传感器PT4R、PT4L前后两端隔离，从而保证了压力传感器PT4R、PT4L示数稳定不变；并且通过压力传感器PT4R、PT4L将第一排气管路和第二排气管路分隔开来，能够准确判断是吹扫管路漏气还是第一排气管路的阀门漏气或者第二排气管路的阀门漏气。
由于设置了气动阀门AV9，在第一排气管路和第二排气管路的阀门出现漏气时，第一排气管路和第二排气管路压力会变化，因此通过压力传感器PT3可以实时监控气动阀门AV4R、气动阀门AV5R、气动阀门AV4L、气动阀门AV5L是否漏气。
综上所述，本实用新型通过观察压力传感器PT4R、PT4L、PT3示数变化，能够准确判断阀门损坏位置，便于及时更换；并且通过气动阀门AV9和压力传感器PT3的配合，能够对气动阀门AV4R、气动阀门AV4L、气动阀门AV5R以及气动阀门AV5L进行实时监测和判断。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
Claims (5)
1.一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备，包括吹扫管路、气柜组以及排气管路，所述排气管路包括第一排气管路和第二排气管路，所述气柜组包括气柜CHR和气柜CHL，所述第一排气管路与气柜CHR连通，所述第二排气管路与气柜CHL连通，其特征在于：所述吹扫管路包括气动阀门AV2N，与气动阀门AV2N连接的第一双气动阀门、第二双气动阀门；所述第一双气动阀门包括气动阀门AV7R和气动阀门AV7RA，所述第二双气动阀门包括气动阀门AV7L和气动阀门AV7LA，所述气动阀门AV7R和气动阀门AV7RA之间设置有压力传感器PT4R，所述气动阀门AV7L和气动阀门AV7LA之间设置有压力传感器PT4L。
2.根据权利要求1所述的一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备，其特征在于：所述第一排气管路包括第一排气主管和第一排气副管；所述第一排气主管包括串联设置的气动阀门AV2R、气动阀门AV3R以及手动阀门MV8R，所述第一排气副管包括并联设置的气动阀门AV4R和气动阀门AV5R。
3.根据权利要求2所述的一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备，其特征在于：所述第二排气管路包括第二排气主管和第二排气副管；所述第二排气主管包括串联设置的气动阀门AV2L和气动阀门AV3L以及手动阀门MV8R，所述第二排气副管包括并联设置的气动阀门AV4L和气动阀门AV5L。
4.根据权利要求3所述的一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备，其特征在于：所述第一排气副管和第二排气副管尾部连通。
5.根据权利要求4所述的一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备，其特征在于：所述第一排气副管和第二排气副管的尾部依次设置有压力传感器PT3和气动阀门AV9。
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| CN202120368173.4U CN214948233U (zh) | 2021-02-07 | 2021-02-07 | 一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备 |
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