CN214937769U - 一种镀膜设备及光伏生产系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种镀膜设备，包括本体，还包括加热机构，分层设于本体内；支撑件，具有至少两个，间隔且分层设于本体内的竖直方向上，支撑件适于放置待加热件；升降机构，与支撑件连接，用于驱动支撑件做升降运动。本实用新型提供一种具有镀膜设备的光伏生产系统。由于支撑件的个数为多个，增加了一次加热处理所加热的待加热件的个数，提高了本体单位时间的加热效率，保证了待加热件的加热温度和均匀性避免了加热处理的前一道生产工序处理后，待加热件流入至该到工序时需要等待的情况，同时也避免了后一道生产工序长时间处于等待状态，而引起的节拍问题；提高了工作效率，同时也避免了资源的浪费，节约了生产成本。

Description

一种镀膜设备及光伏生产系统

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种镀膜设备及光伏生产设备。

背景技术

镀膜设备(例如，物理气相沉积设备PVD，Physical Vapour Deposition)的隔离室内配有红外加热装置，红外加热装置加热属辐射导热，由电磁波传递能量。在红外线照射到待加热件时，一部分射线被反射回来，一部分被穿透过去。当发射的红外线波长和待加热件吸收波长一致时，待加热件吸收红外线，此时，待加热件内部分子和原子发生“共振”，即产生强烈的振动、旋转，而振动和旋转使物体温度升高，从而达到加热的目的。

现有隔离室的红外加热装置安装在腔室的上方，每次允许一块待加热件进入隔离室内进行加热；在加热的过程中，需要待加热件停留在隔离室一段时间，以保证待加热件的加热温度和均匀性。但是，在待加热件在隔离室内加热期间，因工艺时间的不同，容易导致前一道生产工序流入的多块待加热件处于长时间等待中，同时后一道生产工序处于空闲状态，造成资源的严重浪费，极大地降低了整机设备的生产节拍，影响了整机设备的生产效率。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中镀膜设备的加热效率低的缺陷，从而提供一种加热效率高的镀膜设备及光伏生产系统。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：

一种镀膜设备，包括本体，还包括：加热机构，分层设于所述本体内；支撑件，具有至少两个，间隔且分层设于所述本体内的竖直方向上，所述支撑件适于放置待加热件；升降机构，与所述支撑件连接，用于驱动所述支撑件做升降运动。

可选的，所述加热机构沿所述本体的内壁设置，且布置位至少对应于所述支撑件的可停留位。

可选的，所述加热机构包括至少两组红外灯管，不同组的所述红外灯管位于所述本体不同的高度。

可选的，所述本体的内壁上还设有反光机构，所述反光机构的设置位置与所述红外灯管对应，用于将所述红外灯管的光能向所述支撑件反射。

可选的，所述支撑件上设有重力感应机构，所述重力感应机构用于检测所述支撑件上是否具有所述待加热件。

可选的，还包括控制装置，所述控制装置与所述重力感应机构通讯连接，用于接收所述重力感应机构传回的电信号，并通过所述电信号控制所述加热机构的启闭。

可选的，所述升降机构包括：支撑杆，设于所述支撑件的两端，且与所述支撑件固定连接；第一驱动机构，与所述支撑杆连接，用于带动所述支撑杆做升降运动。

可选的，在所述第一驱动机构和所述支撑杆之间设有压力检测机构，所述压力检测机构用于检测所述支撑杆的压力变化。

可选的，所述支撑件上设有用于移动所述待加热件的输送机构，所述输送机构包括：转动件，间隔设置在所述支撑件上；第二驱动机构，与所述转动件连接，并驱动所述转动件转动，以传动所述待加热件。

本实用新型还提供了一种光伏生产系统，包括本实用新型所述的镀膜设备。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的镀膜设备，包括本体，还包括：加热机构，分层设于所述本体内；支撑件，具有至少两个，间隔且分层设于所述本体内的竖直方向上，所述支撑件适于放置待加热件；升降机构，与所述支撑件连接，用于驱动所述支撑件做升降运动。

通过在本体的内部设置至少两个支撑件，待加热件进入至本体内进行加热处理，升降机构驱动支撑件做上升运动，即将待加热件放置在本体内的合适位置，与加热机构的位置相对应，则可以开始进行加热处理。由于支撑件的个数为多个，因此，增加了一次加热处理所加热的待加热件的个数，从而提高了本体单位时间的加热效率，同时保证了待加热件的加热温度和均匀性避免了加热处理的前一道生产工序处理后，待加热件流入至该到工序时需要等待的情况，同时也避免了由于加热处理工序的加热时间较长，影响后一道生产工序长时间处于等待状态，而引起的节拍问题；提高了工作效率，同时也避免了资源的浪费，节约了生产成本。

2.本实用新型提供的镀膜设备，所述本体的内壁上还设有反光机构。通过反光板的设置，从而增加了红外灯管的照射区域，使得本体内部的任何位置均具有红外灯光的照射，进一步地保证了载板加热的均匀性。

3.本实用新型提供的镀膜设备，所述支撑件上设有重力感应机构，所述重力感应机构用于检测所述支撑件上是否具有所述待加热件；从而依据需求进行下一步操作。

4.本实用新型提供的镀膜设备，所述支撑件上设有用于移动所述待加热件的输送机构，所述输送机构包括：转动件，间隔设置在所述支撑件上；第二驱动机构，与所述转动件连接，并驱动所述转动件转动，以传动所述待加热件。该输送机构的设置，实现对待加热件的传输，并保证传输过程的顺畅性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的镀膜设备的侧视图；

图2为图1的立体图；

图3为加热机构的结构示意图。

附图标记说明：

1-本体；11-左侧门阀；12-右侧门阀；2-加热机构；3-支撑件；31-重力感应机构；32-转动件；4-待加热件；5-升降机构；51-支撑杆；52-第一驱动机构；6-压力检测机构。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1至图3所示，本实用新型实施例提供的一种镀膜设备，包括本体1，还包括：加热机构2，分层设于本体1内；支撑件3，具有至少两个，间隔且分层设于所述本体1内的竖直方向上，所述支撑件3适于放置待加热件4；升降机构5，与所述支撑件3连接，用于驱动所述支撑件3做升降运动。

通过在本体1的内部设置至少两个支撑件3，其中，支撑件3为用于支撑待加热件4的托盘，待加热件4为载板。待加热件4进入至本体1内进行加热处理，升降机构5驱动支撑件3做上升运动，即将待加热件4放置在本体1内的合适位置，并与加热机构2的位置相对应，则可以开始进行加热处理。由于支撑件3的个数为多个，因此，增加了一次加热处理所加热的待加热件4的个数，从而提高了本体1单位时间的加热效率，同时保证了待加热件4的加热温度和均匀性避免了加热处理的前一道生产工序处理后，待加热件4流入至该到工序时需要等待的情况，同时也避免了由于加热处理工序的加热时间较长，影响后一道生产工序长时间处于等待状态，而引起的节拍问题；提高了工作效率，同时也避免了资源的浪费，节约了生产成本。

请参阅图1和图2所示，由于本体1为立体结构，因此，可以将所述加热机构2沿所述本体1的内壁设置，同时，加热机构2的布置位至少对应于所述支撑件3的可停留位，使得加热机构2可以充分对支撑件3上的待加热件4进行加热；在本实施例中，所述加热机构2包括至少两组红外灯管，并且，不同组的红外灯管位于所述本体1的不同高度；其中，红外灯管与待加热件4的个数相对应，保证了红外灯管对待加热件4加热的均匀性，同时也保证本体1内部的加热温度。

在本实施例中，本体1内的支撑件3为沿竖直方向依次设置的三个，红外灯管也可以沿着本体1的内壁设置为三层，即每层红外灯管与待加热件4相对应。当然，本实施例中，记载的支撑件3和红外灯管的个数是可以根据实际需要自行设定的。同时，在本体1的两端开设有门阀，即左侧门阀11和右侧门阀12，三层红外灯管在安装时，需要避开门阀的运动区域，避免待加热件4在输送的过程中，触碰到红外灯管。

请参阅图3所示，红外灯管选用中等波长的灯管，红灯波长的灯管与待加热件4的波长近似，可达到最优的加热效果。同时，需使用抗形变灯丝，以防止红外灯管内灯丝的下垂，而导致的加热不均匀。在本实施例中，红外灯管使用孪管结构，单端出线的方式更有利于设备安装走线。

同时，还可以在所述本体1的内壁上设置反光机构(图中未示出)，所述反光机构的设置位置与所述红外灯管对应，用于将所述红外灯管的光能向所述支撑件3反射。在本实施例中，所述反光机构为反光板。通过反光板的设置，从而增加了红外灯管的照射区域，使得本体1内部的任何位置均具有红外灯光的照射，进一步地保证了待加热件4加热的均匀性。

请参阅图1所示，可以在每个支撑件3上设有重力感应机构31，所述重力感应机构31用于检测所述支撑件3上是否具有所述待加热件4。其中，重力感应机构31可以为重力传感器，即三层支撑件3上共设有三个重力传感器。同时，在该镀膜设备中，还设有控制装置，控制装置分别与升降机构5和重力传感器通讯连接，该控制装置用于接收重力感应机构31传回的电信号，在三个重力传感器均检测到每个支撑件3上均具有待加热件4时，重力感应机构31将检测到的电信号反馈至控制装置内，控制装置将该电信号传递至加热机构2，从而控制加热机构2工作；当重力感应机构31检测支撑件3上没有待加热件4时，则重力感应机构31不会对控制装置传递电信号，因此，控制装置也不会控制加热机构2工作；该方式有效的控制了加热机构2加热时间，在未检测到待加热件4时，则不开启加热机构2，从而达到了节能的目的，避免了能源的浪费。

同时，控制装置还与升降机构5连接，在重力感应机构31检测到支撑件3上具有待加热件4时，重力感应机构31将电信号传递给控制装置，控制装置控制升降机构5动作，从而驱动支撑件3做上升运动，并将待加热件4放置在本体1内的合适位置，即待加热件4和红外灯管相对应，从而保证待加热件4在本体1加热的加热温度和均匀性。

在本实施例中，所述升降机构5包括：支撑杆51和第一驱动机构52；其中，支撑杆51的个数可以为四个，对称设于所述支撑件3的四个边缘处，并且支撑杆51与所述支撑件3固定连接；第一驱动机构52与所述支撑杆51连接，用于带动四个所述支撑杆51共同做升降运动。其中，第一驱动机构52为驱动电机，并且具有四个，分别与四个支撑杆51连接。

作为可替换的实施方式，第一驱动机构52可以设置两个、六个或八个，只要保证第一驱动机构52呈对称设置即可。

请继续参阅图1所示，在所述第一驱动机构52和所述支撑杆51之间设有压力检测机构6，所述压力检测机构6用于检测支撑杆51的压力变化，即靠近第一驱动机构52处的压力。本实施例中的压力检测机构6为波纹管与位移传感器的集成，用于实现对支撑杆51靠近第一驱动机构52一端承载的压力进行感知。从而通过压力检测机构6实现检测支撑杆51所连接的所有支撑件3上待加热件4的个数，并与重力感应机构31配合实现对每个支撑件3上的是否待加热件4进行检测；此外，压力检测机构6还可以检测待加热件4是否完全到位并放置在支撑件3上，避免未完全放置时，支撑件3发生移动，造成待加热件4的损坏问题的出现。

请继续参阅图1所示，所述支撑件3上设有用于移动所述待加热件4的输送机构，使得加热后的待加热件4可以通过输送机构直接输送至下一道生产工序进行处理。在本实施例中，所述输送机构包括转动件32和第二驱动机构(图中未示出)；转动件32间隔地设置在所述支撑件3上，并且与支撑件3转动连接；第二驱动机构与所述转动件32连接，并驱动所述转动件32转动，以传动所述待加热件4。其中，转动件32可以为滚轮；第二驱动机构为驱动电机。转动件32的个数可以设置若干个，只要保证对待加热件4的正常传输即可；转动件32实现对待加热件4的传输，保证传输过程的顺畅性。

本实用新型还提供了一种光伏生产系统，包括所述的镀膜设备。本实施例中的镀膜设备可以为PVD镀膜设备或CVD镀膜设备。

该镀膜设备在使用时，待加热件4进入至本体1内，当支撑件3上的待加热件4存满或待加热件4未满时，但是该本体1前端无等待加热的待加热件4时，待加热件4通过左侧门阀11进入，此时支撑件3上的重力感应机构31检测到待加热件4，然后将检测的电信号反馈至控制装置内，控制装置收到三个重力感应机构31反馈的电信号后，发送电信号至升降机构5，升降机构5驱动支撑件3做上升运动，即将待加热件4放置在本体1内的合适位置。控制装置控制加热机构2工作，从而对待加热件4进行加热处理，并记录加热时间，即待加热件4在本体1内的停留时间，待加热处理后，控制装置控制升降机构5做下降运动，并对应着右侧门阀12，打开右侧门阀12，第二驱动机构驱动转动件32转动，从而将加热处理后的待加热件4输送至下一道生产工序内，并进行下一道工序处理。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种镀膜设备，包括本体(1)，其特征在于，还包括：

加热机构(2)，分层设于所述本体(1)内；

支撑件(3)，具有至少两个，间隔且分层设于所述本体(1)内的竖直方向上，所述支撑件(3)适于放置待加热件(4)；

升降机构(5)，与所述支撑件(3)连接，用于驱动所述支撑件(3)做升降运动。

2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述加热机构(2)沿所述本体(1)的内壁设置，且布置位至少对应于所述支撑件(3)的可停留位。

3.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述加热机构包括至少两组红外灯管，不同组的所述红外灯管位于所述本体(1)不同的高度。

4.根据权利要求3所述的镀膜设备，其特征在于，所述本体(1)的内壁上还设有反光机构，所述反光机构的设置位置与所述红外灯管对应，用于将所述红外灯管的光能向所述支撑件(3)反射。

5.根据权利要求3所述的镀膜设备，其特征在于，所述支撑件(3)上设有重力感应机构(31)，所述重力感应机构(31)用于检测所述支撑件(3)上是否具有所述待加热件(4)。

6.根据权利要求5所述的镀膜设备，其特征在于，还包括控制装置，所述控制装置与所述重力感应机构(31)通讯连接，用于接收所述重力感应机构(31)传回的电信号，并通过所述电信号控制所述加热机构的启闭。

7.根据权利要求1-6任一项所述的镀膜设备，其特征在于，所述升降机构(5)包括：

支撑杆(51)，设于所述支撑件(3)的两端，且与所述支撑件(3)固定连接；

第一驱动机构(52)，与所述支撑杆(51)连接，用于带动所述支撑杆(51)做升降运动。

8.根据权利要求7所述的镀膜设备，其特征在于，在所述第一驱动机构(52)和所述支撑杆(51)之间设有压力检测机构(6)，所述压力检测机构(6)用于检测所述支撑杆(51)的压力变化。

9.根据权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，所述支撑件(3)上设有用于移动所述待加热件(4)的输送机构，所述输送机构包括：

转动件(32)，间隔设置在所述支撑件(3)上；

第二驱动机构，与所述转动件(32)连接，并驱动所述转动件(32)转动，以传动所述待加热件(4)。

10.一种光伏生产系统，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的镀膜设备。

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