CN214921445U - 一种激光蚀刻机真空吸附设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种激光蚀刻机真空吸附设备包括加工箱，所述加工箱的内壁顶端固定连接有第一滑动槽，所述第一滑动槽通过第一滑动板滑动连接有第二液压杆，所述第二液压杆的底端固定连接有第二金属板，所述第二金属板的下表面中心处设置有激光蚀刻器，所述第二金属板的下表面左右两侧分别固定连接有按压机构，所述第二金属板的下表面外侧固定连接有保护管，所述保护管的底端固定连接有第一缓冲垫。本实用新型通过设置有真空泵和排气扇，可以通过排气扇将激光蚀刻处理过程中产生的碎屑进行位置改变，并通过设置有真空泵和集尘箱，可以在激光蚀刻处理过程中对碎屑进行收集，从而增加了工作效率，继而方便了工作人员的使用。

Description

一种激光蚀刻机真空吸附设备

技术领域

本实用新型涉及蚀刻技术领域，特别是涉及一种激光蚀刻机真空吸附设备。

背景技术

蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻两类，最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版，也广泛地被使用于减轻重量仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工；经过不断改良和工艺设备发展，亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。

激光蚀刻是指采用高能脉冲激光束在零件表面刻蚀出宽度为10～505μm、深度为5～1001μm的微细小槽，以改善材料表面润滑特性的技术。

但现有技术中，一种激光蚀刻机真空吸附设备在实际使用时大多采用激光蚀刻器直接对待处理的物品进行蚀刻处理，在处理结束之后再采用真空泵对处理过程中产生的碎屑进行收集，工作效率交底，从而不利于工作人员的使用，达不到预计的设计效果。

实用新型内容

本实用新型提供了一种激光蚀刻机真空吸附设备，解决了现有技术中的技术问题。

本实用新型解决上述技术问题的方案如下：一种激光蚀刻机真空吸附设备包括加工箱，所述加工箱的内壁顶端固定连接有第一滑动槽，所述第一滑动槽通过第一滑动板滑动连接有第二液压杆，所述第二液压杆的底端固定连接有第二金属板，所述第二金属板的下表面中心处设置有激光蚀刻器，所述第二金属板的下表面左右两侧分别固定连接有按压机构，所述第二金属板的下表面外侧固定连接有保护管，所述保护管的底端固定连接有第一缓冲垫；

所述加工箱的内壁底端中心处的前后两侧分别固定连接有第一液压杆，两个所述第一液压杆的顶端共同固定连接有第一金属板，所述第一金属板的上表面开设有与第一缓冲垫相对应的开槽，所述开槽的右侧固定连通有第一通气管，所述第一通气管的底端设置有真空泵，所述真空泵的右侧设置有第二通气管。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

进一步，所述按压机构包括伸缩杆，所述伸缩杆的顶端与第二金属板的下表面固定连接，所述伸缩杆的底端固定连接有第二缓冲垫。

进一步，所述伸缩杆的外壁绕接有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的顶端与第二金属板的下表面固定连接，所述缓冲弹簧的底端与第二缓冲垫的上表面固定连接。

进一步，所述第二金属板的右侧固定连通有第三通气管，所述第三通气管的顶端通过加工箱的顶端固定连通有排气扇，所述加工箱的顶端右侧开设有与第三通气管相对应的滑动通孔。

进一步，所述第二液压杆的外管后侧固定连接有第三液压杆，所述第三液压杆的后侧与加工箱的内壁后侧固定连接，所述加工箱的内壁后侧下方固定连接有第四液压杆，所述第四液压杆的顶端固定连接有第一推动板。

进一步，所述加工箱的内壁左右两侧分别固定连接有悬挂板，两个所述悬挂板的底端分别固定连接有第五液压杆，两个所述第五液压杆的底端分别固定连接有第六液压杆，两个所述第六液压杆相对的一侧分别固定连接有第二推动板。

进一步，两个所述第六液压杆向背的一侧分别通过第二滑动板滑动连接有第二滑动槽，两个所述第二滑动槽向背的一侧分别与加工箱的内壁左右两侧下方固定连接。

进一步，所述第二通气管的右侧设置有集尘箱，所述集尘箱的外壁左侧与加工箱的外壁右侧底端固定连接。

进一步，所述加工箱的左侧壁开设有进料口，所述加工箱的外壁左侧上方固定连接有固定块，所述固定块通过转轴转动连接有挡板，所述挡板螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的左端固定连接有旋钮，所述加工箱的外壁左侧下方开设有与螺纹杆相对应的螺纹孔。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种激光蚀刻机真空吸附设备，具有以下优点：

1、本实用新型通过设置有真空泵和排气扇，可以通过排气扇将激光蚀刻处理过程中产生的碎屑进行位置改变，并通过设置有真空泵和集尘箱，可以在激光蚀刻处理过程中对碎屑进行收集，从而增加了工作效率，继而方便了工作人员的使用；

2、本实用新型通过设置有保护管，可以通过保护管有效的避免碎屑四溅，从而方便了对于碎屑的收拾，继而方便了后续的清洁，方便了工作人员的使用。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本实用新型的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型一实施例提供的一种激光蚀刻机真空吸附设备的结构示意图；

图2为图1提供的一种激光蚀刻机真空吸附设备的A部分放大结构示意图；

图3为图1提供的一种激光蚀刻机真空吸附设备的B部分放大结构示意图；

图4为图1提供的一种激光蚀刻机真空吸附设备的外观结构示意图；

图5为图1提供的一种激光蚀刻机真空吸附设备的第四液压杆俯视结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、加工箱；2、第一液压杆；3、第一金属板；4、真空泵；5、集尘箱；6、第一滑动槽；7、第二液压杆；8、第二金属板；9、保护管；10、激光蚀刻器；11、伸缩杆；12、缓冲弹簧；13、第二缓冲垫；14、第一缓冲垫；15、第四液压杆；16、第一推动板；17、排气扇；18、第三通气管；19、第一通气管；20、第二通气管；21、第三液压杆；22、固定块；23、挡板；24、螺纹杆；25、旋钮；26、悬挂板；27、第五液压杆；28、第六液压杆；29、第二滑动槽；30、第二推动板。

具体实施方式

以下结合附图1-5对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

如图1-5所示，本实用新型提供了一种激光蚀刻机真空吸附设备，包括加工箱1，加工箱1的内壁顶端固定连接有第一滑动槽6，第一滑动槽6通过第一滑动板滑动连接有第二液压杆7，第二液压杆7的底端固定连接有第二金属板8，第二金属板8的下表面中心处设置有激光蚀刻器10，第二金属板8的下表面左右两侧分别固定连接有按压机构，第二金属板8的下表面外侧固定连接有保护管9，保护管9的底端固定连接有第一缓冲垫14，可以通过第一缓冲垫14很好的缓冲；

加工箱1的内壁底端中心处的前后两侧分别固定连接有第一液压杆2，两个第一液压杆2的顶端共同固定连接有第一金属板3，第一金属板3的上表面开设有与第一缓冲垫14相对应的开槽，开槽的右侧固定连通有第一通气管19，第一通气管19的底端设置有真空泵4，真空泵4的右侧设置有第二通气管20，可以通过第二通气管20很好的抽气。

优选的，按压机构包括伸缩杆11，伸缩杆11的顶端与第二金属板8的下表面固定连接，伸缩杆11的底端固定连接有第二缓冲垫13，可以通过第二缓冲垫13很好的保护待激光蚀刻的物体表面。

优选的，伸缩杆11的外壁绕接有缓冲弹簧12，缓冲弹簧12的顶端与第二金属板8的下表面固定连接，缓冲弹簧12的底端与第二缓冲垫13的上表面固定连接，可以通过第二缓冲垫13很好的缓冲卸力。

优选的，第二金属板8的右侧固定连通有第三通气管18，第三通气管18的顶端通过加工箱1的顶端固定连通有排气扇17，加工箱1的顶端右侧开设有与第三通气管18相对应的滑动通孔，可以通过排气扇17很好的除杂。

优选的，第二液压杆7的外管后侧固定连接有第三液压杆21，第三液压杆21的后侧与加工箱1的内壁后侧固定连接，加工箱1的内壁后侧下方固定连接有第四液压杆15，第四液压杆15的顶端固定连接有第一推动板16，可以通过第四液压杆15很好的推动第一推动板16。

优选的，加工箱1的内壁左右两侧分别固定连接有悬挂板26，两个悬挂板26的底端分别固定连接有第五液压杆27，两个第五液压杆27的底端分别固定连接有第六液压杆28，两个第六液压杆28相对的一侧分别固定连接有第二推动板30，可以通过第六液压杆28很好的改变第二推动板30的位置。

优选的，两个第六液压杆28向背的一侧分别通过第二滑动板滑动连接有第二滑动槽29，两个第二滑动槽29向背的一侧分别与加工箱1的内壁左右两侧下方固定连接，可以通过第二滑动槽29很好的滑动第六液压杆28。

优选的，第二通气管20的右侧设置有集尘箱5，集尘箱5的外壁左侧与加工箱1的外壁右侧底端固定连接，可以通过集尘箱5很好的收集杂物碎屑。

优选的，加工箱1的左侧壁开设有进料口，加工箱1的外壁左侧上方固定连接有固定块22，固定块22通过转轴转动连接有挡板23，挡板23螺纹连接有螺纹杆24，螺纹杆24的左端固定连接有旋钮25，加工箱1的外壁左侧下方开设有与螺纹杆24相对应的螺纹孔，可以通过螺纹杆24很好的固定挡板23的位置。

本实用新型的具体工作原理及使用方法为：在实际使用时，首先将激光蚀刻的物体放置于第一金属板3上方，接着通过固定块22移动挡板23的位置，旋动旋钮25，从而带动螺纹杆24的位置改变，接着第一液压杆2开始工作，从而带动第一金属板3的位置改变，与此同时悬挂板26下方第五液压杆27开始工作，从而带动第六液压杆28在加工箱1内壁的第二滑动槽29内滑动，接着第六液压杆28开始工作，通过第二推动板30将待激光蚀刻的物体位置进行调整，此外，第四液压杆15开始工作，通过第一推动板16对物体的位置进一步的调整，然后第三液压杆21开始工作，从而带动第二液压杆7在第一滑动槽6内滑动，接着第二液压杆7开始工作，从而带动第二金属板8和保护管9以及第一缓冲垫14的位置改变，接着伸缩杆11由于第二缓冲垫13接触到了待激光蚀刻的物体，缓冲弹簧12的状态改变，然后激光蚀刻器10开始工作，从而对物体进行激光蚀刻处理，排气扇17开始工作，通过第三通气管18将碎屑吹去，真空泵4开始工作，通过第一通气管19和第二通气管20将碎屑移至集尘箱5内进行收集。

本实用新型提供了一种激光蚀刻机真空吸附设备。

以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制；凡本行业的普通技术人员均可按说明书附图所示和以上所述而顺畅地实施本实用新型；但是,凡熟悉本专业的技术人员在不脱离本实用新型技术方案范围内，利用以上所揭示的技术内容而做出的些许更动、修饰与演变的等同变化，均为本实用新型的等效实施例；同时,凡依据本实用新型的实质技术对以上实施例所作的任何等同变化的更动、修饰与演变等，均仍属于本实用新型的技术方案的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种激光蚀刻机真空吸附设备，其特征在于，一种激光蚀刻机真空吸附设备包括加工箱(1)，所述加工箱(1)的内壁顶端固定连接有第一滑动槽(6)，所述第一滑动槽(6)通过第一滑动板滑动连接有第二液压杆(7)，所述第二液压杆(7)的底端固定连接有第二金属板(8)，所述第二金属板(8)的下表面中心处设置有激光蚀刻器(10)，所述第二金属板(8)的下表面左右两侧分别固定连接有按压机构，所述第二金属板(8)的下表面外侧固定连接有保护管(9)，所述保护管(9)的底端固定连接有第一缓冲垫(14)；

所述加工箱(1)的内壁底端中心处的前后两侧分别固定连接有第一液压杆(2)，两个所述第一液压杆(2)的顶端共同固定连接有第一金属板(3)，所述第一金属板(3)的上表面开设有与第一缓冲垫(14)相对应的开槽，所述开槽的右侧固定连通有第一通气管(19)，所述第一通气管(19)的底端设置有真空泵(4)，所述真空泵(4)的右侧设置有第二通气管(20)。

2.根据权利要求1所述一种激光蚀刻机真空吸附设备，其特征在于，所述按压机构包括伸缩杆(11)，所述伸缩杆(11)的顶端与第二金属板(8)的下表面固定连接，所述伸缩杆(11)的底端固定连接有第二缓冲垫(13)。

3.根据权利要求2所述一种激光蚀刻机真空吸附设备，其特征在于，所述伸缩杆(11)的外壁绕接有缓冲弹簧(12)，所述缓冲弹簧(12)的顶端与第二金属板(8)的下表面固定连接，所述缓冲弹簧(12)的底端与第二缓冲垫(13)的上表面固定连接。

4.根据权利要求1所述一种激光蚀刻机真空吸附设备，其特征在于，所述第二金属板(8)的右侧固定连通有第三通气管(18)，所述第三通气管(18)的顶端通过加工箱(1)的顶端固定连通有排气扇(17)，所述加工箱(1)的顶端右侧开设有与第三通气管(18)相对应的滑动通孔。

5.根据权利要求1所述一种激光蚀刻机真空吸附设备，其特征在于，所述第二液压杆(7)的外管后侧固定连接有第三液压杆(21)，所述第三液压杆(21)的后侧与加工箱(1)的内壁后侧固定连接，所述加工箱(1)的内壁后侧下方固定连接有第四液压杆(15)，所述第四液压杆(15)的顶端固定连接有第一推动板(16)。

6.根据权利要求1所述一种激光蚀刻机真空吸附设备，其特征在于，所述加工箱(1)的内壁左右两侧分别固定连接有悬挂板(26)，两个所述悬挂板(26)的底端分别固定连接有第五液压杆(27)，两个所述第五液压杆(27)的底端分别固定连接有第六液压杆(28)，两个所述第六液压杆(28)相对的一侧分别固定连接有第二推动板(30)。

7.根据权利要求6所述一种激光蚀刻机真空吸附设备，其特征在于，两个所述第六液压杆(28)向背的一侧分别通过第二滑动板滑动连接有第二滑动槽(29)，两个所述第二滑动槽(29)向背的一侧分别与加工箱(1)的内壁左右两侧下方固定连接。

8.根据权利要求1所述一种激光蚀刻机真空吸附设备，其特征在于，所述第二通气管(20)的右侧设置有集尘箱(5)，所述集尘箱(5)的外壁左侧与加工箱(1)的外壁右侧底端固定连接。

9.根据权利要求1所述一种激光蚀刻机真空吸附设备，其特征在于，所述加工箱(1)的左侧壁开设有进料口，所述加工箱(1)的外壁左侧上方固定连接有固定块(22)，所述固定块(22)通过转轴转动连接有挡板(23)，所述挡板(23)螺纹连接有螺纹杆(24)，所述螺纹杆(24)的左端固定连接有旋钮(25)，所述加工箱(1)的外壁左侧下方开设有与螺纹杆(24)相对应的螺纹孔。

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