CN214878047U - 用于测量气浮条出气流量的工具 - Google Patents

Abstract

本公开涉及一种用于测量气浮条出气流量的工具，包括气罩、气体流量计和排气管，所述气罩具有相对设置的封闭侧和敞口侧，所述封闭侧形成有通气孔，所述气体流量计连通在所述通气孔和所述排气管之间，所述敞口侧罩接到所述气浮条上，以使得被罩设在内部的所述气浮条排出的气体流通到所述气体流量计。能够实现对于气浮条的出气流量的日常监测，且快速有效地判断出气浮条异常的位置，并及时有效的解决该堵塞位置，从而避免气浮条对玻璃基板的污染以及污染造成的废弃。

Description

用于测量气浮条出气流量的工具

技术领域

本公开涉及玻璃基板生产运输领域，具体地，涉及一种用于测量气浮条出气流量的工具。

背景技术

平板显示玻璃基板在多个工序的传输过程中，为防止玻璃基板接触物体造成基板表面污染，一般采用气浮传送方式，使用精密气浮条作为支撑，保持玻璃基板传输高度一致，从而保证玻璃基板制程的稳定。

然而，在长期使用中，因气浮条本身的结构原因存在堵塞的风险，目前在实际生产中，主要通过对气浮条的进气端的进气流量或压力进行监测，但是无法测量出气端是否工作正常，不仅无法实现日常的监测，并且当气浮条部分区域被堵塞后，玻璃基板在传输过程中就没有气流支撑，这将直接导致玻璃基板表面接触气浮条，从而导致玻璃基板表面被污染，造成玻璃基板的废弃。

实用新型内容

本公开的目的是提供一种用于测量气浮条出气流量的工具，以能够监测气浮条的出气情况。

为了实现上述目的，本公开提供一种用于测量气浮条出气流量的工具，包括气罩、气体流量计和排气管，所述气罩具有相对设置的封闭侧和敞口侧，所述封闭侧形成有通气孔，所述气体流量计连通在所述通气孔和所述排气管之间，所述敞口侧罩接到所述气浮条上，以使得被罩设在内部的所述气浮条排出的气体流通到所述气体流量计。

可选地，所述气罩与所述气浮条连接的周缘设置有密封圈。

可选地，所述气罩沿所述气浮条的长度方向延伸的最大长度与所述气浮条的长度之比为1：25-1:16。

可选地，所述气罩沿所述气浮条的宽度方向延伸的最大宽度与所述气浮条的宽度之比为2:5-1:2。

可选地，所述气体流量计分别可拆卸地连通在所述进气管和所述排气管之间。

可选地，所述气罩和所述进气管一体成型。

可选地，所述气罩构造为圆筒形。

通过上述技术方案，能够对气浮条的出气流量进行测量和监测，以便快速有效地判断出气浮条异常的位置，并及时有效的解决该堵塞位置，从而避免气浮条对玻璃基板的污染以及污染造成的废弃，同时提高玻璃基板生产稳定性和气浮条异常堵塞对策的效率。

本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：

图1是本公开实施例提供的用于测量气浮条出气流量的工具的示意图(其中气罩部分剖开)；

图2是图1的侧视图；

图3是本公开实施例提供的用于测量气浮条出气流量的工具的测量工作状态示意图。

附图标记说明

1-气罩；11-封闭侧；111-通气孔；12-敞口侧；2-气体流量计；3-排气管；4-气浮条；5-密封圈；6-进气管。

具体实施方式

以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。

根据本公开的具体实施方式，提供一种用于测量气浮条出气流量的工具，参考图1至图3所示，包括气罩1、气体流量计2和排气管3，所述气罩1具有相对设置的封闭侧11和敞口侧12，所述封闭侧11形成有通气孔111，所述气体流量计2连通在所述通气孔111和所述排气管3之间，所述敞口侧12罩接到所述气浮条4上，以使得被罩设在内部的所述气浮条4排出的气体流通到所述气体流量计2。

使用过程中，工作人员可以首先打开气体流量计2，接着将气罩1罩接到气浮条4的表面(气浮条4上间隔均匀设置有多个气孔，在测量时需保证气罩1与气浮条4的板面接触，避开气孔)，将待测量的气孔完全封闭在其内侧，同时保证在测量过程气罩1与气浮条4处于密封状态，无漏气；而后读取气体流量计2所显示的数据，即完成对于气浮条出气流量的测量。

另外，通过上述技术方案，一方面，当在生产制造过程中，若出现玻璃基板表面因接触气浮条4而导致污染时，可以根据污染区域，确定可能存在堵塞的气浮条的区域，然后对可疑区域的出气量进行全面测量，快速有效地排查出异常位置(部分区域的出气流量相较其他区域较小或者无出气流量时，说明该区域气浮条的气孔存在异常)，并及时解决该堵塞位置，避免气浮条4堵塞造成的玻璃基板生产异常以及污染造成的玻璃基板的废弃。

另一方面，还可以在日常维护期间，对气浮条4的出气流量进行日常监测，通过测量计算得出气浮条4的出气流量的正常范围，并作为日常工艺点检项进行检查，发现异常后及时解决疏通气孔，以进一步避免后续的玻璃基板生产异常。

因此，通过本公开提供的用于测量气浮条出气流量的工具，能够实现日常监测，且快速有效地判断出气浮条异常的位置，并及时有效的解决该堵塞位置，从而避免气浮条对玻璃基板的污染以及污染造成的废弃，同时提高玻璃基板生产稳定性和气浮条异常堵塞对策的效率。

参考图1所示，为了保证气罩1与气浮条4的连接密闭性，在本公开的具体实施方式中，所述气罩1与所述气浮条4连接的周缘设置有密封圈5，测量过程中，密封圈5与气浮条4处于完全贴合状态，避免出现漏气现象，保证测量准确性。

在实际生产过程中，玻璃基板是由多块间隔均匀布置的气浮条运输传送，每个气浮条4的长度较长，为了方便工作人员的测量操作和区域快速排查，参考图3所示，所述气罩1沿所述气浮条4的长度方向延伸的最大长度与所述气浮条4的长度之比为1：25-1:16。

同样地，所述气罩1沿所述气浮条4的宽度方向延伸的最大宽度与所述气浮条4的宽度之比为2:5-1:2。

换言之，本公开提供的用于测量气浮条出气流量的工具尺寸设计较小，不仅方便工作人员的测量，而且能够针对性的测量气浮条4上的部分区域出气量情况，从而能够快速定位气浮条哪部分区域出现了异常。在测量过程中，需要根据玻璃基板污染区域，确定气浮输送平台上的可疑区域，并针对该可疑区域内的气浮条进行逐一排查，最终确定存在堵塞的位置。

参考图1和图3所示，为了方便气罩1与气体流量计2的安装配合，在本公开的具体实施方式中，所述通气孔111和所述气体流量计2之间连通有进气管6，所述气体流量计2的进气口连通到所述进气管6，出气口连通到所述排气管3。具体参考图3所示，气体按照箭头指示从气浮条4流通到气罩1，再通过进气管6流通到气体流量计2，最终通过排气管3排出。

同时，为了保证气密性，可选地，所述气罩1和所述进气管6一体成型，方便制造，节省零件，实现更好地密闭。

在本公开的具体实施方式中，所述气体流量计2分别可拆卸地连通在所述进气管6和所述排气管3之间，满足方便拆装。例如可以通过法兰连接，只要能够保证气密性和连接稳固性即可。

气罩1可以根据需要构造为任何适宜的形状，可选地，气罩1构造为圆筒形，易于成型制造，且方便测量操作。

以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式，但是，本公开并不限于上述实施方式中的具体细节，在本公开的技术构思范围内，可以对本公开的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本公开的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。

Claims (8)

1.一种用于测量气浮条出气流量的工具，其特征在于，包括气罩(1)、气体流量计(2)和排气管(3)，所述气罩(1)具有相对设置的封闭侧(11)和敞口侧(12)，所述封闭侧(11)形成有通气孔(111)，所述气体流量计(2)连通在所述通气孔(111)和所述排气管(3)之间，所述敞口侧(12)罩接到所述气浮条(4)上，以使得被罩设在内部的所述气浮条(4)排出的气体流通到所述气体流量计(2)。

2.根据权利要求1所述的用于测量气浮条出气流量的工具，其特征在于，所述气罩(1)与所述气浮条(4)连接的周缘设置有密封圈(5)。

3.根据权利要求1所述的用于测量气浮条出气流量的工具，其特征在于，所述气罩(1)沿所述气浮条(4)的长度方向延伸的最大长度与所述气浮条(4)的长度之比为1：25-1:16。

4.根据权利要求1所述的用于测量气浮条出气流量的工具，其特征在于，所述气罩(1)沿所述气浮条(4)的宽度方向延伸的最大宽度与所述气浮条(4)的宽度之比为2:5-1:2。

5.根据权利要求1-4任一项所述的用于测量气浮条出气流量的工具，其特征在于，所述通气孔(111)和所述气体流量计(2)之间连通有进气管(6)，所述气体流量计(2)的进气口连通到所述进气管(6)，出气口连通到所述排气管(3)。

6.根据权利要求5所述的用于测量气浮条出气流量的工具，其特征在于，所述气体流量计(2)分别可拆卸地连通在所述进气管(6)和所述排气管(3)之间。

7.根据权利要求5所述的用于测量气浮条出气流量的工具，其特征在于，所述气罩(1)和所述进气管(6)一体成型。

8.根据权利要求1所述的用于测量气浮条出气流量的工具，其特征在于，所述气罩(1)构造为圆筒形。

Images