CN214845604U - 一种高效率半导体检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及检测设备，具体公开了一种高效率半导体检测装置，所述的一种高效率半导体检测装置，包括机台，所述机台的前壁设置有送料带，所述机台的前壁设置有多个耐压绝缘测试组件，所述耐压绝缘测试组件下方设置有半导体性能测试组件。本实用新型具有在机台上设置有多个耐压绝缘检测组件，能够提高耐压绝缘检测步骤中对半导体的检测数量，从而能够提高了对半导体检测效率的优点。

Description

一种高效率半导体检测装置

技术领域

本实用新型涉及检测设备，具体涉及一种高效率半导体检测装置。

背景技术

半导体产业是当今相当重要、占比也高的产业类别，为了提高制程质量，在产线中每一个环节的检测流程则扮演关键性的角色，若能确保每一个制程步骤转换间的成品状态，有利于尽早过滤不良品，进而提高良率，同时也有助于制程参数调校、方法改善等等相关作业。

目前现有的半导体检测装置内设置的耐压绝缘检测组件对半导体检测的时间要比后续检测步骤所用到的半导体性能测试组件对半导体检测的时间要长，导致半导体性能检测组件需要等待耐压绝缘检测组件检测完毕后才能对半导体进行检测，效率低下。

实用新型内容

针对现有技术存在半导体检测设备的检测效率低下的问题，本实用新型的目的在于提供高效率半导体检测装置，具有在机台上设置有多个耐压绝缘检测组件，能够提高耐压绝缘检测步骤中对半导体的检测数量，从而能够提高了对半导体检测效率的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种高效率半导体检测装置，包括机台，其特征在于：所述机台的前壁设置有送料带，所述机台的前壁设置有多个耐压绝缘测试组件，所述耐压绝缘测试组件下方设置有半导体性能测试组件。

作为本实用新型的优选方案，所述送料带贯穿所述耐压绝缘测试组件以及所述半导体性能测试组件设置在所述机台的前壁上。

采用这样的结构，送料带能够高效率地将半导体输送至耐压绝缘测试组件以及半导体性能测试组件中，能够极大地提高了半导体的检测效率。

作为本实用新型的优选方案，所述送料带一侧设置有金属片固定座，所述金属片固定座上设置有用于测试半导体性能的金属片。

采用这样的结构，当半导体通过送料带输送至固定杆的位置时，耐压绝缘测试组件在气缸的作用下能够将半导体固定，半导体通过接触金属片能够完成测试，整个过程简单快捷，有效地提高了检测效率。

作为本实用新型的优选方案，所述耐压绝缘测试组件包括：固定架，所述固定架上设置有第一滑轨，所述第一滑轨上方设置有第一滑动座，所述第一滑动座上方设置有固定杆，所述第一滑动座的侧壁设置有连接杆，所述连接杆远离第一滑动座的一端设置有第二滑动座，所述第二滑动座与所述固定架之间设置有第二滑轨，所述第二滑动座设置在所述第二滑轨上。

采用这样的结构，第一滑动座、第二滑动座分别设置在第一滑轨、第二滑轨上，固定杆设置在第一滑动座上，通过控制气缸动作就能控制固定杆前进或者后退，从而能够将半导体固定在指定位置，进而能够对半导体进行耐压绝缘测试，通过气缸控制能够有效地提高了固定半导体的效率。

作为本实用新型的优选方案，所述机台内部设置有气缸，所述第二滑动座与所述气缸传动连接。

采用这样的结构，通过气缸能够更加方便地控制固定杆的动作，有效地提高了检测的效率。

作为本实用新型的优选方案，所述机台的前壁还设置有传感器，所述传感器与所述固定杆处于同一水平面上。

采用这样的结构，传感器与固定杆处于同一水平面上，当半导体通过送料带输送至固定杆相对应的位置时，传感器能够发出信号，气缸运作从而使固定杆固定待检测的半导体，整个过程准确并且迅速，有效地提高了检测效率。

作为本实用新型的优选方案，所述耐压绝缘测试组件与所述半导体性能测试组件之间的区域为缓冲区。

采用这样的结构，经过耐压绝缘测试的半导体会进入缓冲区等待，当后续检测装置有空位时，再由送料带输送至相对应的检测机构，使检测过程变得更加有序，从而提高了检测的效率。

作为本实用新型的优选方案，所述半导体性能测试组件包括：电容电阻测试机构、雪崩测试机构、热阻测试机构以及电性测试机构，所述缓冲区下方依次设置有电容电阻测试机构、雪崩测试机构、热阻测试机构以及电性测试机构。

采用这样的结构，待检测的半导体经过耐压绝缘检测之后依次进入电容电阻测试机构、雪崩测试机构、热阻测试机构以及电性测试机构分别进行相对应的测试，待检测的半导体能够高效率地通过不同的检测，有效地提高了检测效率。

上述高效率半导体检测装置，具有以下有益效果：机台的前壁上设置有多个耐压绝缘测试组件，能够避免了在检测过程中由于耐压绝缘测试组件不足，耐压绝缘测试步骤中所花费的时间过长，导致后续检测步骤需要等待耐压绝缘测试步骤结束后才能对半导体进行后续检测的问题，当设置有多个耐压绝缘测试组件时，能够解决后续检测步骤等待的问题，从而大大地提高了检测设备对半导体的检测效率。

附图说明

图1是本实施例一种高效率半导体检测装置的正视图。

图2是本实施例一种高效率半导体检测装置的右视图。

图3是图2中A处的放大图。

图中：1、机台；2、送料带；3、固定架；31、第一滑轨；32、第一滑动座；33、固定杆；34、连接杆；35、第二滑动座；36、第二滑轨；4、金属片固定座；5、金属片；6、传感器；7、电容电阻测试机构；8、雪崩测试机构；9、热阻测试机构；10、电性测试机构。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。附图中给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

一种高效率半导体检测装置，如图1-3所示，机台1内部设置有气缸（未图示），机台1的前壁设置三个耐压绝缘测试组件，上述耐压绝缘测试组件包括固定架3，固定架3与机台1螺栓连接，每个固定架3上均设置有第一滑轨31以及第二滑轨36，第一滑轨31上方设置有第一滑动座32，第一滑动座32上方设置有固定杆33，第二滑轨36上方设置有第二滑动座35，第二滑动座35与气缸传动连接，第一滑动座32与第二滑动座35通过连接杆34连接，每个固定杆33的左侧均设置有传感器6，上述传感器6为红外传感器6，每个固定杆33的右侧均设置有金属片固定座4，每个金属片固定座4上均设置有三片金属片5；最后一个固定架3的下方位于机台1的前壁上依次设置有电容电阻测试机构7、雪崩测试机构8、热阻测试机构9以及电性测试机构10，送料带2贯穿固定架3、电容电阻测试机构7、雪崩测试机构8、热阻测试机构9以及电性测试机构10设置在机台1的前壁上。

工作原理：送料带2将待检测的半导体输送至耐压绝缘测试组件处，当传感器6感应到当前位置有待检测的半导体时，将信号发送给机台1，机台1控制气缸运作使第一滑动座32以及第二滑动座35移动，进而使固定杆33移动以固定待检测的半导体，机体开始对半导体的耐压绝缘性能进行测试，耐压绝缘性能测试时间为600毫秒，测试完毕时送料带2将检测完的半导体依次输送至电容电阻测试机构7、雪崩测试机构8、热阻测试机构9以及电性测试机构10进行检测，电容电阻测试机构7、雪崩测试机构8、热阻测试机构9以及电性测试机构10对半导体的检测时间均为400毫秒；由于耐压绝缘性能测试时间要比其余四个检测机构的检测时间要长，所以在长时间测试过程中后续检测步骤需要等待耐压绝缘性能测试步骤，这样会浪费不必要的时间，当设置有三个耐压绝缘性能测试组件时，能够有效的加快对半导体性能的检测效率，提高了企业的生产效益。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (8)

1.一种高效率半导体检测装置，包括机台，其特征在于：所述机台的前壁设置有送料带，所述机台的前壁设置有多个耐压绝缘测试组件，所述耐压绝缘测试组件下方设置有半导体性能测试组件。

2.根据权利要求1所述的高效率半导体检测装置，其特征在于：所述送料带贯穿所述耐压绝缘测试组件以及所述半导体性能测试组件设置在所述机台的前壁上。

3.根据权利要求2所述的高效率半导体检测装置，其特征在于：所述送料带一侧设置有金属片固定座，所述金属片固定座上设置有用于测试半导体性能的金属片。

4.根据权利要求1所述的高效率半导体检测装置，其特征在于，所述耐压绝缘测试组件包括：固定架，所述固定架上设置有第一滑轨，所述第一滑轨上方设置有第一滑动座，所述第一滑动座上方设置有固定杆，所述第一滑动座的侧壁设置有连接杆，所述连接杆远离第一滑动座的一端设置有第二滑动座，所述第二滑动座与所述固定架之间设置有第二滑轨，所述第二滑动座设置在所述第二滑轨上。

5.根据权利要求4所述的高效率半导体检测装置，其特征在于，所述机台内部设置有气缸，所述第二滑动座与所述气缸传动连接。

6.根据权利要求4所述的高效率半导体检测装置，其特征在于：所述机台的前壁还设置有传感器，所述传感器与所述固定杆处于同一水平面上。

7.根据权利要求1所述的高效率半导体检测装置，其特征在于：所述耐压绝缘测试组件与所述半导体性能测试组件之间的区域为缓冲区。

8.根据权利要求7所述的高效率半导体检测装置，其特征在于：所述半导体性能测试组件包括：电容电阻测试机构、雪崩测试机构、热阻测试机构以及电性测试机构，所述缓冲区下方依次设置有电容电阻测试机构、雪崩测试机构、热阻测试机构以及电性测试机构。

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