CN214837636U - 一种高效的多轴联动型晶圆贴合机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高效的多轴联动型晶圆贴合机，包括底座、固定架和安装架，所述底座的顶部安装有贴合机本体，所述贴合机本体的顶部通过螺栓安装有固定架，所述固定架的内部安装有气压缸，且气压缸的输出端贯穿贴合机本体的顶部内壁，所述气压缸的输出端安装有移动杆，所述贴合机本体的底部内壁上通过螺栓安装有安装架，所述安装架的顶部安装有真空仓，所述真空仓的底部内壁上对称分布安装有工作台，所述工作台的顶部对称分布活动安装有滑动块。本实用新型通过在连接板的顶部安装有两个上压头，通过使两个上压头能够同时进行移动，对晶圆进行挤压，使贴合机能够同时对两个工位中的晶圆进行加工，从而提高了贴合机的工作效率。

Description

一种高效的多轴联动型晶圆贴合机

技术领域

本实用新型涉及晶圆贴合机技术领域，具体为一种高效的多轴联动型晶圆贴合机。

背景技术

晶圆是指半导体集成电路上制作需要用到的硅晶片一般为圆形，晶圆可以用来加工制成各种电路元件结构，在晶圆的制作领域需要通过贴合机将两片晶圆进行贴合，从而方便晶圆更好的进行使用，现有的晶圆贴合机在将两片晶圆进行贴合时，晶圆之间容易出现偏移的现象，使晶圆之间没有对齐，从而影响贴合机的加工效率。

现有的一种高效的多轴联动型晶圆贴合机存在的缺陷是：

1、传统的晶圆贴合机，现有的晶圆贴合机在将两片晶圆进行贴合时，晶圆之间容易出现偏移的现象，使晶圆之间没有对齐，从而影响贴合机的加工效率。

2、传统的晶圆贴合机只有一个工位，一次只能对一个晶圆进行加工，从而影响了晶圆的加工速率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高效的多轴联动型晶圆贴合机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高效的多轴联动型晶圆贴合机，包括底座、固定架和安装架，所述底座的顶部安装有贴合机本体，所述贴合机本体的顶部通过螺栓安装有固定架，所述固定架的内部安装有气压缸，且气压缸输出端贯穿贴合机本体的顶部内壁，所述气压缸的输出端安装有移动杆，所述贴合机本体的底部内壁上通过螺栓安装有安装架，所述安装架的顶部安装有真空仓，所述真空仓的底部内壁上对称分布安装有工作台，所述工作台的顶部对称分布活动安装有滑动块。

优选的，所述底座的底部安装有支撑腿。

优选的，所述贴合机本体的正面安装有开关门，贴合机本体的一侧安装有控制器，贴合机本体的一侧安装有排气窗，且排气窗位于控制器的上方。

优选的，所述移动杆的底端安装有连接板，且连接板位于真空仓的内部，连接板的底部安装有固定板，固定板的底部安装有上压头，上压头的底部内壁上安装有加热层，加热层的内部安装有加热棒。

优选的，所述真空仓的两侧内壁上安装有检测器，真空仓的顶部安装有密封板，真空仓的顶部安装有真空泵，真空泵的输出端安装有连接管，且连接管贯穿真空仓的内壁。

优选的，所述工作台的顶部内壁上安装有加热件，工作台的顶部安装有下压板，且下压板位于滑动块的中间，滑动块的内侧安装有垂直环。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过在真空仓的两侧安装有检测器，通过检测器可以对工作台上的晶圆进行检测，检测两片晶圆之间是否对齐，防止晶圆之间没有对齐使在贴合时出现偏差，当检测器检测出来没有对齐时，检测器会进行报警来提醒工作人员，同时还在工作台的顶部安装有滑动装置，滑动装置的顶部安装有滑动块，滑动块的内侧安装有垂直环，通过滑动块的移动可以带动垂直环进行移动，通过两侧的垂直环与两片晶圆相接触，可以使两片晶圆受到挤压的力量所重合，从而保证了晶圆在贴合时不会出现误差和偏移。

2、本实用新型通过在连接板的顶部安装有两个上压头，同时又在安装架的顶部安装有两个工作台，通过气压缸能够将气压能转化为动能，可以带动连接板进行移动，从而使两个上压头能够同时进行移动，对晶圆进行挤压，使贴合机能够同时对两个工位中的晶圆进行加工，从而提高了贴合机的工作效率，使晶圆的加工更加的快速。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型的剖视图；

图3为本实用新型的工作台结构示意图；

图4为本实用新型的连接板结构示意图；

图中：1、底座；101、支撑腿；2、贴合机本体；201、开关门；202、控制器；203、排气窗；3、固定架；301、气压缸；302、移动杆；303、连接板；304、固定板；305、上压头；306、加热层；307、加热棒；4、安装架；401、真空仓；402、检测器；403、密封板；404、真空泵；405、连接管；5、工作台；501、滑动块；502、垂直环；503、加热件；504、下压板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种高效的多轴联动型晶圆贴合机，包括底座1、固定架3和安装架4，底座1的顶部安装有贴合机本体2，贴合机本体2的顶部通过螺栓安装有固定架3，固定架3的内部安装有气压缸301，且气压缸301输出端贯穿贴合机本体2的顶部内壁，气压缸301的输出端安装有移动杆302，底座1为顶部的贴合机本体2提供安装位置，同时也起到保护的作用，用于保护贴合机本体2的底部防止贴合机本体2的底部受到损坏，贴合机本体2为晶圆的加工设备提供安装位置，固定架3起到固定的作用，能够将气压缸301进行固定，防止气压缸301在运行时出现较大幅度的晃动，气压缸301能够将气压能转化为动能，可以带动移动杆302进行移动，为贴合机的运行提供动力，移动杆302为连接板303提供安装位置，使气压装置能够带动连接板303进行移动，贴合机本体2的底部内壁上通过螺栓安装有安装架4，安装架4的顶部安装有真空仓401，真空仓401的底部内壁上对称分布安装有工作台5，工作台5的顶部对称分布活动安装有滑动块501，安装架4为真空仓401的安装提供位置，用来增加真空仓401的高度，方便晶圆的贴合，真空仓401的内部在工作时为真空状态，为晶圆的贴合提供加工条件，使晶圆可以更好的进行加工，工作台5为加热件503提供安装位置，为滑动装置提供安装位置，通过滑动块501的滑动可以带动内侧的垂直环502进行移动，为垂直环502的移动提供动力。

进一步，底座1的底部安装有支撑腿101，支撑腿101起到支撑的作用，通过支撑腿101使底座1与地面能够分离，使底座1与地面之间存在空隙，方便工作人员进行搬运。

进一步，贴合机本体2的正面安装有开关门201，贴合机本体2的一侧安装有控制器202，贴合机本体2的一侧安装有排气窗203，且排气窗203位于控制器202的上方，开关门201通过打开能够将晶圆放进到真空仓401中进行加工，关闭开关门201使晶圆能够更好的进行加工，控制器202是用来控制该装置的运行，排气窗203使内部的气体能够排出，为气体的排出提供空间。

进一步，移动杆302的底端安装有连接板303，且连接板303位于真空仓401的内部，连接板303的底部安装有固定板304，固定板304的底部安装有上压头305，上压头305的底部内壁上安装有加热层306，加热层306的内部安装有加热棒307，连接板303为起到连接的作用，通过连接板303能够将两个上压头305进行连接，使上压头305能够同时进行工作，从而提高了贴合机的工作效率，使晶圆的加工更加的快速，固定板304起到固定的作用，通过固定板304使上压头305安装的更加稳定，上压头305为加热层306提供安装位置，通过上压头305的移动能够对晶圆进行挤压，使晶圆之间可以贴合，加热层306为加热棒307提供安装位置，加热棒307在通电之后能够将电能转化为热能，能够对上压头305进行加热。

进一步，真空仓401的两侧内壁上安装有检测器402，真空仓401的顶部安装有密封板403，真空仓401的顶部安装有真空泵404，真空泵404的输出端安装有连接管405，且连接管405贯穿真空仓401的内壁，检测器402可以对工作台5上的晶圆进行检测，检测两片晶圆之间是否对齐，防止晶圆之间没有对齐使在贴合时出现偏差，密封板403起到密封的作用，防止气体进入到真空仓401的内部，影响晶圆的加工，真空泵404在通电之后能够将真空仓401内部的空气抽走，使真空仓401的内部为真空状态，连接管405起到连接作用，可以将真空泵404与真空仓401进行连接。

进一步，工作台5的顶部内壁上安装有加热件503，工作台5的顶部安装有下压板504，且下压板504位于滑动块501的中间，滑动块501的内侧安装有垂直环502，加热件503能够将电能转化为热能，为下压板504提供热量，下压板504为晶圆的放置提供位置，通过两侧的垂直环502与两片晶圆相接触，可以使两片晶圆受到挤压的力量所重合，从而保证了晶圆在贴合时不会出现误差和偏移。

工作原理：在使用高效的多轴联动型晶圆贴合机前应先检查该高效的多轴联动型晶圆贴合机是否存在影响使用的问题，首先将该高效的多轴联动型晶圆贴合机移动到需要进行使用的位置，将开关门201打开将需要贴合的晶圆放置在下压板504上，将开关门201关闭，通过控制器202来控制贴合机的运行，通过真空泵404将真空仓401内部的气体抽出，使加热装置通电将上压头305与下压板504加热，利用气压缸301将气压能转化为动能，可以带动上压头305进行移动，通过上压头305移动到晶圆的顶部对晶圆进行挤压，从而起到贴合的作用。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种高效的多轴联动型晶圆贴合机，包括底座(1)、固定架(3)和安装架(4)，其特征在于：所述底座(1)的顶部安装有贴合机本体(2)，所述贴合机本体(2)的顶部通过螺栓安装有固定架(3)，所述固定架(3)的内部安装有气压缸(301)，且气压缸(301)输出端贯穿贴合机本体(2)的顶部内壁，所述气压缸(301)的输出端安装有移动杆(302)，所述贴合机本体(2)的底部内壁上通过螺栓安装有安装架(4)，所述安装架(4)的顶部安装有真空仓(401)，所述真空仓(401)的底部内壁上对称分布安装有工作台(5)，所述工作台(5)的顶部对称分布活动安装有滑动块(501)。

2.根据权利要求1所述的一种高效的多轴联动型晶圆贴合机，其特征在于：所述底座(1)的底部安装有支撑腿(101)。

3.根据权利要求1所述的一种高效的多轴联动型晶圆贴合机，其特征在于：所述贴合机本体(2)的正面安装有开关门(201)，贴合机本体(2)的一侧安装有控制器(202)，贴合机本体(2)的一侧安装有排气窗(203)，且排气窗(203)位于控制器(202)的上方。

4.根据权利要求1所述的一种高效的多轴联动型晶圆贴合机，其特征在于：所述移动杆(302)的底端安装有连接板(303)，且连接板(303)位于真空仓(401)的内部，连接板(303)的底部安装有固定板(304)，固定板(304)的底部安装有上压头(305)，上压头(305)的底部内壁上安装有加热层(306)，加热层(306)的内部安装有加热棒(307)。

5.根据权利要求1所述的一种高效的多轴联动型晶圆贴合机，其特征在于：所述真空仓(401)的两侧内壁上安装有检测器(402)，真空仓(401)的顶部安装有密封板(403)，真空仓(401)的顶部安装有真空泵(404)，真空泵(404)的输出端安装有连接管(405)，且连接管(405)贯穿真空仓(401)的内壁。

6.根据权利要求1所述的一种高效的多轴联动型晶圆贴合机，其特征在于：所述工作台(5)的顶部内壁上安装有加热件(503)，工作台(5)的顶部安装有下压板(504)，且下压板(504)位于滑动块(501)的中间，滑动块(501)的内侧安装有垂直环(502)。

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